এর উচ্চ গলনাঙ্ক, অক্সিডেশন প্রতিরোধের, এবং জারা প্রতিরোধের সাথে, Semicorex SiC-কোটেড ক্রিস্টাল গ্রোথ সাসেপ্টর হল একক ক্রিস্টাল বৃদ্ধির অ্যাপ্লিকেশনে ব্যবহারের জন্য আদর্শ পছন্দ। এর সিলিকন কার্বাইড আবরণ চমৎকার সমতলতা এবং তাপ বিতরণ বৈশিষ্ট্য প্রদান করে, এটি উচ্চ-তাপমাত্রার পরিবেশের জন্য একটি আদর্শ পছন্দ করে তোলে।
সেমিকোরেক্স SiC-কোটেড ক্রিস্টাল গ্রোথ সাসেপ্টর অর্ধপরিবাহী ওয়েফারগুলিতে এপিটাক্সিয়াল স্তর গঠনের জন্য নিখুঁত পছন্দ, এর ব্যতিক্রমী তাপ পরিবাহিতা এবং তাপ বিতরণ বৈশিষ্ট্যের জন্য ধন্যবাদ। এর উচ্চ-বিশুদ্ধতা SiC আবরণ এমনকি সবচেয়ে চাহিদাপূর্ণ উচ্চ-তাপমাত্রা এবং ক্ষয়কারী পরিবেশেও উচ্চতর সুরক্ষা প্রদান করে।
আমাদের SiC-কোটেড ক্রিস্টাল গ্রোথ সাসেপ্টর সর্বোত্তম ল্যামিনার গ্যাস প্রবাহ প্যাটার্ন অর্জন করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, তাপীয় প্রোফাইলের সমানতা নিশ্চিত করে। এটি ওয়েফার চিপে উচ্চ-মানের এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধি নিশ্চিত করে কোনো দূষণ বা অমেধ্য বিস্তার প্রতিরোধ করতে সাহায্য করে।
আমাদের SiC-কোটেড ক্রিস্টাল গ্রোথ সাসেপ্টর সম্পর্কে আরও জানতে আজই আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন।
SiC-কোটেড ক্রিস্টাল গ্রোথ সাসেপ্টরের পরামিতি
CVD-SIC আবরণ প্রধান স্পেসিফিকেশন |
||
SiC-CVD বৈশিষ্ট্য |
||
ক্রিস্টাল স্ট্রাকচার |
FCC β ফেজ |
|
ঘনত্ব |
g/cm ³ |
3.21 |
কঠোরতা |
ভিকারস কঠোরতা |
2500 |
শস্য আকার |
μm |
2~10 |
রাসায়নিক বিশুদ্ধতা |
% |
99.99995 |
তাপ ক্ষমতা |
J kg-1 K-1 |
640 |
পরমানন্দ তাপমাত্রা |
℃ |
2700 |
ফেলেক্সুরাল স্ট্রেন্থ |
MPa (RT 4-পয়েন্ট) |
415 |
তরুণের মডুলাস |
Gpa (4pt বাঁক, 1300℃) |
430 |
তাপীয় সম্প্রসারণ (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
তাপ পরিবাহিতা |
(W/mK) |
300 |
SiC-কোটেড ক্রিস্টাল গ্রোথ সাসেপ্টরের বৈশিষ্ট্য
- গ্রাফাইট সাবস্ট্রেট এবং সিলিকন কার্বাইড উভয় স্তরেরই ভাল ঘনত্ব রয়েছে এবং উচ্চ তাপমাত্রা এবং ক্ষয়কারী কাজের পরিবেশে একটি ভাল প্রতিরক্ষামূলক ভূমিকা পালন করতে পারে।
- একক স্ফটিক বৃদ্ধির জন্য ব্যবহৃত সিলিকন কার্বাইড প্রলিপ্ত সাসেপ্টরের পৃষ্ঠের সমতলতা খুব বেশি।
- গ্রাফাইট সাবস্ট্রেট এবং সিলিকন কার্বাইড স্তরের মধ্যে তাপীয় সম্প্রসারণ সহগের পার্থক্য হ্রাস করুন, ক্র্যাকিং এবং ডিলামিনেশন রোধ করতে কার্যকরভাবে বন্ধন শক্তি উন্নত করুন।
- গ্রাফাইট সাবস্ট্রেট এবং সিলিকন কার্বাইড উভয় স্তরেরই উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং চমৎকার তাপ বিতরণের বৈশিষ্ট্য রয়েছে।
- উচ্চ গলনাঙ্ক, উচ্চ তাপমাত্রা অক্সিডেশন প্রতিরোধের, জারা প্রতিরোধের।