SiC-কোটেড গ্রাফাইট MOCVD সাসেপ্টর

SiC-কোটেড গ্রাফাইট MOCVD সাসেপ্টরধাতু-জৈব রাসায়নিক বাষ্প জমা (MOCVD) সরঞ্জামগুলিতে ব্যবহৃত অপরিহার্য উপাদান, যা ওয়েফার সাবস্ট্রেটগুলিকে ধরে রাখা এবং গরম করার জন্য দায়ী। তাদের উচ্চতর তাপ ব্যবস্থাপনা, রাসায়নিক প্রতিরোধের, এবং মাত্রিক স্থিতিশীলতার সাথে, SiC-কোটেড গ্রাফাইট MOCVD সাসেপ্টরগুলিকে উচ্চ-মানের ওয়েফার সাবস্ট্রেট এপিটাক্সির জন্য সর্বোত্তম বিকল্প হিসাবে বিবেচনা করা হয়।

ওয়েফার ফ্যাব্রিকেশনে,এমওসিভিডিউন্নত সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস তৈরির জন্য ওয়েফার সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে এপিটাক্সিয়াল স্তর তৈরি করতে প্রযুক্তি ব্যবহার করা হয়। যেহেতু এপিটাক্সিয়াল স্তরগুলির বৃদ্ধি একাধিক কারণ দ্বারা প্রভাবিত হয়, তাই ওয়েফার সাবস্ট্রেটগুলি সরাসরি জমা করার জন্য MOCVD সরঞ্জামগুলিতে স্থাপন করা যায় না। এসআইসি-কোটেড গ্রাফাইট এমওসিভিডি সাসেপ্টরগুলিকে ওয়েফার সাবস্ট্রেটগুলিকে ধরে রাখতে এবং গরম করার জন্য প্রয়োজন, যা এপিটাক্সিয়াল স্তরগুলির বৃদ্ধির জন্য স্থিতিশীল তাপীয় অবস্থা তৈরি করে। অতএব, SiC-কোটেড গ্রাফাইট MOCVD সাসেপ্টরগুলির কার্যকারিতা সরাসরি পাতলা ফিল্ম উপকরণগুলির অভিন্নতা এবং বিশুদ্ধতা নির্ধারণ করে, যা পরবর্তীতে উন্নত সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসগুলির উত্পাদনকে প্রভাবিত করে।

সেমিকোরেক্স বেছে নেয়উচ্চ বিশুদ্ধতা গ্রাফাইটএর SiC-কোটেড গ্রাফাইট MOCVD সাসেপ্টরগুলির জন্য ম্যাট্রিক্স উপাদান হিসাবে এবং তারপর একইভাবে গ্রাফাইট ম্যাট্রিক্সের সাথে প্রলেপ দেয়সিলিকন কার্বাইডসিভিডি প্রযুক্তির মাধ্যমে আবরণ। প্রচলিত প্রযুক্তির তুলনায়, CVD প্রযুক্তি উল্লেখযোগ্যভাবে সিলিকন কার্বাইড আবরণ এবং গ্রাফাইট ম্যাট্রিক্সের মধ্যে বন্ধন শক্তিকে উন্নত করে, যার ফলে শক্তিশালী আনুগত্য সহ একটি ঘন আবরণ তৈরি হয়। এমনকি দাবি করা উচ্চ-তাপমাত্রার ক্ষয়কারী বায়ুমণ্ডলের মধ্যেও, সিলিকন কার্বাইড আবরণ দীর্ঘ সময়ের জন্য তার কাঠামোগত অখণ্ডতা এবং রাসায়নিক স্থিতিশীলতা বজায় রাখে, কার্যকরভাবে ক্ষয়কারী গ্যাস এবং গ্রাফাইট ম্যাট্রিক্সের মধ্যে সরাসরি যোগাযোগ প্রতিরোধ করে। এটি কার্যকরভাবে গ্রাফাইট ম্যাট্রিক্সের ক্ষয় এড়ায় এবং ওয়েফার সাবস্ট্রেট এবং এপিটাক্সিয়াল স্তরগুলিকে বিচ্ছিন্ন এবং দূষিত করা থেকে গ্রাফাইট কণাগুলিকে প্রতিরোধ করে, সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস তৈরির পরিচ্ছন্নতা এবং ফলন নিশ্চিত করে।

Semicorex এর SiC-কোটেড গ্রাফাইট MOCVD সাসেপ্টর এর সুবিধা

1. চমৎকার জারা প্রতিরোধের

2. উচ্চ তাপ পরিবাহিতা

3. উচ্চতর তাপ স্থায়িত্ব

4. তাপ সম্প্রসারণের কম সহগ

5. ব্যতিক্রমী তাপ শক প্রতিরোধের

6. উচ্চ পৃষ্ঠ মসৃণতা

7. স্থায়ী সেবা জীবন