SiC সিরামিক ভ্যাকুয়াম চক

যেহেতু তারা মুরের আইনের জন্য চেষ্টা করে, সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশন সুবিধাগুলির জন্য ওয়েফার-হোল্ডিং প্ল্যাটফর্মের প্রয়োজন যা গুরুতর যান্ত্রিক শক্তি সহ্য করতে পারে এবং সমতল থাকতে পারে, কোনও বাধা বা ডিপ ছাড়াই। Semicorex SiC সিরামিক ভ্যাকুয়াম চক ঐতিহ্যগত অ্যালুমিনা এবং স্টেইনলেস স্টীল চক প্রতিস্থাপনের জন্য নিখুঁত সমাধান প্রদান করে; তারা ওজন অনুপাতের জন্য প্রয়োজনীয় দৃঢ়তা প্রদান করবে এবং রাসায়নিকভাবে প্রতিক্রিয়া করবে না, উভয়ই 300 মিমি ওয়েফার এবং তার পরেও প্রক্রিয়াকরণের জন্য প্রয়োজনীয়।

1. sintered ঘন সিলিকন কার্বাইড (SSiC) ব্যবহার করে উপাদান সুবিধা।

আমাদের মূল উপাদানSiC সিরামিকভ্যাকুয়াম চক সিন্টার করা হয়সিলিকন কার্বাইড, একটি উপাদান তার খুব শক্তিশালী সমযোজী বন্ধন দ্বারা সংজ্ঞায়িত. আমাদের SSiC ছিদ্রযুক্ত বা প্রতিক্রিয়া-বন্ধনযুক্ত নয়; বরং, প্রায় তাত্ত্বিক ঘনত্ব (> 3.10 g/cm3) অর্জনের জন্য এটিকে > 2000 ডিগ্রি সেলসিয়াসে sintered করা হয় — সহজভাবে বলতে গেলে, ভ্যাকুয়াম চাক তৈরিতে ব্যবহৃত অন্যান্য উপকরণের তুলনায় এটি আরও শক্ত।

ব্যতিক্রমী যান্ত্রিক দৃঢ়তা.

SSiC-এর ইয়াং'স মডুলাস প্রায় 420 GPa, এইভাবে এটিকে অ্যালুমিনা (প্রায় 380 GPa) থেকে অনেক বেশি শক্ত করে তোলে। স্থিতিস্থাপকতার এই উচ্চ মডুলাসের কারণে, আমাদের চকগুলি ভ্যাকুয়াম এবং উচ্চ গতির ঘূর্ণন উভয় অবস্থাতেই স্থিতিশীল থাকবে এবং বিকৃত হবে না; তাই, ওয়েফারগুলি "আলু চিপ" (অর্থাৎ, ওয়ার্প) করবে না এবং সর্বদা তাদের সমগ্র পৃষ্ঠের এলাকা জুড়ে অভিন্ন যোগাযোগ তৈরি করবে।

তাপীয় স্থিতিশীলতা এবং কম CTE

উচ্চ-তীব্রতার UV আলো বা ঘর্ষণ-প্ররোচিত তাপ জড়িত প্রক্রিয়াগুলিতে, তাপীয় সম্প্রসারণ ওভারলে ত্রুটির কারণ হতে পারে। আমাদের SiC চকগুলি উচ্চ তাপ পরিবাহিতা (>120W/m·K) সহ 4.0 x 10^{-6}/K এর তাপ সম্প্রসারণ (CTE) এর কম সহগ ধারণ করে। এই সংমিশ্রণটি চককে দ্রুত তাপ অপসারণ করতে দেয়, দীর্ঘমেয়াদী লিথোগ্রাফি বা মেট্রোলজি চক্রের সময় মাত্রিক স্থিতিশীলতা বজায় রাখে।

2. যথার্থ প্রকৌশল এবং নকশা

পণ্যের ছবিতে দৃশ্যমান, আমাদের ভ্যাকুয়াম চকগুলিতে ঘনকেন্দ্রিক এবং রেডিয়াল ভ্যাকুয়াম চ্যানেলগুলির একটি জটিল নেটওয়ার্ক রয়েছে৷ এগুলি ওয়েফার জুড়ে অভিন্ন স্তন্যপান নিশ্চিত করার জন্য চরম নির্ভুলতার সাথে CNC-মেশিন করা হয়, স্থানীয় স্ট্রেস পয়েন্টগুলিকে কম করে যা ওয়েফার ভেঙে যেতে পারে।

সাব-মাইক্রোন সমতলতা: আমরা <1μm এর বিশ্বব্যাপী সমতলতা অর্জন করতে উন্নত হীরা গ্রাইন্ডিং এবং ল্যাপিং কৌশল ব্যবহার করি। উন্নত লিথোগ্রাফি নোডগুলিতে প্রয়োজনীয় ফোকাল গভীরতা বজায় রাখার জন্য এটি গুরুত্বপূর্ণ।

লাইটওয়েটিং (ঐচ্ছিক): স্টেপার এবং স্ক্যানারগুলিতে উচ্চ-ত্বরণের পর্যায়গুলিকে মিটমাট করার জন্য, আমরা অভ্যন্তরীণ মধুচক্র "হালকা ওজনের" কাঠামো অফার করি যা কাঠামোগত দৃঢ়তার সাথে আপস না করে ভর কমায়।

পেরিমিটার অ্যালাইনমেন্ট নচ: ইন্টিগ্রেটেড নচগুলি প্রক্রিয়া টুলের মধ্যে রোবোটিক এন্ড-ইফেক্টর এবং অ্যালাইনমেন্ট সেন্সরগুলির সাথে বিরামবিহীন একীকরণের অনুমতি দেয়।

3. সেমিকন্ডাক্টর সাপ্লাই চেইনে সমালোচনামূলক অ্যাপ্লিকেশন

আমাদের SiC সিরামিক ভ্যাকুয়াম চকগুলি এর জন্য শিল্পের মান:

ওয়েফার থিনিং এবং গ্রাইন্ডিং (CMP): প্রান্ত চিপিং ছাড়াই মাইক্রোন স্তরে ওয়েফারগুলিকে পাতলা করার জন্য প্রয়োজনীয় কঠোর সমর্থন প্রদান করা।

লিথোগ্রাফি (স্টেপারস/স্ক্যানার): অতি-সমতল "মঞ্চ" হিসাবে কাজ করা যা সাব-7nm নোডগুলির জন্য সুনির্দিষ্ট লেজার ফোকাসিং নিশ্চিত করে।

মেট্রোলজি এবং এওআই: উচ্চ-রেজোলিউশন পরিদর্শন এবং ত্রুটি ম্যাপিংয়ের জন্য ওয়েফারগুলি পুরোপুরি সমতল নিশ্চিত করা।

ওয়েফার ডাইসিং: উচ্চ-গতির যান্ত্রিক বা লেজার ডাইসিং অপারেশনের সময় স্থিতিশীল সাকশন প্রদান করা।

সেমিকোরেক্সে, আমরা বুঝতে পারি যে একটি ভ্যাকুয়াম চক তার পৃষ্ঠের অখণ্ডতার মতোই ভাল। প্রতিটি চক একটি বহু-পর্যায়ের মান নিয়ন্ত্রণ প্রক্রিয়ার মধ্য দিয়ে যায়:

লেজার ইন্টারফেরোমেট্রি: সমগ্র ব্যাস জুড়ে সমতলতা যাচাই করতে।

হিলিয়াম লিক পরীক্ষা: ভ্যাকুয়াম চ্যানেলগুলি পুরোপুরি সিল করা এবং দক্ষ তা নিশ্চিত করা।

ক্লিনরুম ক্লিনিং: শূন্য ধাতব বা জৈব দূষণ নিশ্চিত করতে ক্লাস 100 পরিবেশে প্রক্রিয়া করা হয়।

আমাদের ইঞ্জিনিয়ারিং টিম স্লট প্যাটার্ন, মাত্রা এবং মাউন্টিং ইন্টারফেস কাস্টমাইজ করতে OEM টুল নির্মাতাদের সাথে ঘনিষ্ঠভাবে কাজ করে। Semicorex বেছে নেওয়ার মাধ্যমে, আপনি এমন একটি উপাদানে বিনিয়োগ করছেন যা ডাউনটাইম কমায়, ওভারলে নির্ভুলতা উন্নত করে এবং চরম স্থায়িত্বের মাধ্যমে আপনার মালিকানার মোট খরচ কমিয়ে দেয়।