Semicorex SiC সিরামিক চক একটি অত্যন্ত বিশেষায়িত উপাদান যা সেমিকন্ডাক্টর এপিটাক্সিয়াল প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহারের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, যেখানে ভ্যাকুয়াম চক হিসাবে এর ভূমিকা অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। প্রতিযোগিতামূলক মূল্যে উচ্চ-মানের পণ্য সরবরাহ করার প্রতিশ্রুতি সহ, আমরা চীনে আপনার দীর্ঘমেয়াদী অংশীদার হতে প্রস্তুত।*
Semicorex SiC সিরামিক চক সিলিকন কার্বাইড (SiC) সিরামিক দিয়ে তৈরি এবং সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনের চ্যালেঞ্জিং পরিবেশে এর অসামান্য কর্মক্ষমতার জন্য অত্যন্ত মূল্যবান। সিলিকন কার্বাইড সিরামিকগুলি তাদের ব্যতিক্রমী কঠোরতা, তাপ পরিবাহিতা এবং রাসায়নিক প্রতিরোধের জন্য পরিচিত, এগুলি সবই সেমিকন্ডাক্টর এপিটাক্সির জন্য গুরুত্বপূর্ণ। এপিটাক্সির সময়, সেমিকন্ডাক্টর উপাদানের একটি পাতলা স্তর অবিকলভাবে একটি সাবস্ট্রেটে জমা হয়, যা উচ্চ-কার্যক্ষমতা সম্পন্ন ইলেকট্রনিক ডিভাইসের উৎপাদনের একটি গুরুত্বপূর্ণ পদক্ষেপ। এই প্রক্রিয়া চলাকালীন SiC সিরামিক চক ভ্যাকুয়াম চক হিসাবে কাজ করে, ওয়েফারটি সমতল এবং স্থির থাকে তা নিশ্চিত করার জন্য একটি শক্তিশালী, স্থিতিশীল গ্রিপ দিয়ে নিরাপদে ওয়েফারটিকে ধরে রাখে। SiC সিরামিকগুলি বিকৃতি ছাড়াই উচ্চ তাপমাত্রা সহ্য করতে পারে, এগুলিকে এপিটাক্সিয়াল প্রক্রিয়াগুলির জন্য আদর্শ করে তোলে যা প্রায়শই 1000 ডিগ্রি সেলসিয়াসের বেশি তাপমাত্রা জড়িত থাকে। এই উচ্চ তাপীয় স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করে যে SiC সিরামিক চক তার কাঠামোগত অখণ্ডতা বজায় রাখতে পারে এবং চরম অবস্থার মধ্যেও ওয়েফারে একটি নির্ভরযোগ্য গ্রিপ প্রদান করতে পারে। এছাড়াও, SiC-এর চমৎকার তাপ পরিবাহিতা SiC সিরামিক চক জুড়ে দ্রুত এবং অভিন্ন তাপ বিতরণের অনুমতি দেয়, তাপীয় গ্রেডিয়েন্টগুলিকে কম করে যা এপিটাক্সিয়াল স্তরে ত্রুটির কারণ হতে পারে।
সিলিকন কার্বাইডের রাসায়নিক প্রতিরোধও সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনে একটি SiC সিরামিক চক হিসাবে এর কর্মক্ষমতাতে একটি গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে। এপিটাক্সিয়াল প্রক্রিয়ায় প্রায়ই প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস এবং আক্রমনাত্মক রাসায়নিক পরিবেশের ব্যবহার জড়িত থাকে, যা সময়ের সাথে সাথে উপাদানগুলিকে ক্ষয় বা অবনমিত করতে পারে। যাইহোক, রাসায়নিক আক্রমণের বিরুদ্ধে SiC-এর দৃঢ় প্রতিরোধ নিশ্চিত করে যে চক এই কঠোর শর্তগুলি সহ্য করতে পারে, দীর্ঘমেয়াদী স্থায়িত্ব প্রদান করে এবং একাধিক উত্পাদন চক্রের উপর তার কর্মক্ষমতা বৈশিষ্ট্য বজায় রাখে।
অধিকন্তু, SiC সিরামিকের যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্য, যেমন তাদের উচ্চ কঠোরতা এবং তাপ সম্প্রসারণের কম সহগ, ভ্যাকুয়াম চাকের মতো নির্ভুলতা প্রয়োগের জন্য তাদের আদর্শ করে তোলে। উচ্চ কঠোরতা নিশ্চিত করে যে চকটি পরিধান এবং ক্ষতির প্রতিরোধী, এমনকি বারবার ব্যবহারের সাথেও, যখন নিম্ন তাপীয় সম্প্রসারণ বিস্তৃত তাপমাত্রা পরিসীমা জুড়ে মাত্রিক স্থিতিশীলতা বজায় রাখতে সহায়তা করে। এটি সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিং-এ বিশেষভাবে গুরুত্বপূর্ণ, যেখানে চাকের মাত্রায় সামান্য পরিবর্তনও এপিটাক্সিয়াল স্তরে বিভ্রান্তি বা ত্রুটির কারণ হতে পারে।
SiC সিরামিক চাকের ডিজাইনে এমন বৈশিষ্ট্যগুলিও অন্তর্ভুক্ত করা হয়েছে যা ভ্যাকুয়াম পরিবেশে এর কার্যকারিতা বাড়ায়। ম্যানুফ্যাকচারিং প্রক্রিয়ার সময় উপাদানের অন্তর্নিহিত ছিদ্রতাকে সুনির্দিষ্টভাবে নিয়ন্ত্রণ করা যেতে পারে, যা নির্দিষ্ট ছিদ্রের আকার এবং ওয়েফারে ভ্যাকুয়াম হোল্ডকে অপ্টিমাইজ করে এমন বন্টন সহ চক তৈরি করতে দেয়। এটি নিশ্চিত করে যে ওয়েফারটি সুরক্ষিতভাবে রাখা হয়েছে, শক্তির অভিন্ন বিতরণের সাথে যা ওয়ারিং বা অন্যান্য বিকৃতি প্রতিরোধ করে যা এপিটাক্সিয়াল স্তরের গুণমানকে আপস করতে পারে।
সেমিকোরেক্স SiC সিরামিক চক এইভাবে সেমিকন্ডাক্টর এপিটাক্সিয়াল প্রক্রিয়ার একটি অপরিহার্য উপাদান, যা নির্ভুলতা এবং স্থায়িত্বের জন্য অপ্টিমাইজ করা ডিজাইনের সাথে সিলিকন কার্বাইডের অনন্য বৈশিষ্ট্যগুলিকে একত্রিত করে। চরম তাপমাত্রা সহ্য করার, রাসায়নিক আক্রমণ প্রতিরোধ করার এবং ওয়েফারের উপর একটি স্থিতিশীল গ্রিপ বজায় রাখার ক্ষমতা এটিকে উচ্চ-মানের সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসগুলির উত্পাদনে একটি অমূল্য হাতিয়ার করে তোলে। যেহেতু আরও উন্নত এবং নির্ভরযোগ্য ইলেকট্রনিক উপাদানগুলির চাহিদা বাড়তে থাকে, সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়াগুলির দক্ষতা এবং গুণমান নিশ্চিত করতে SiC সিরামিক চকের মতো বিশেষ উপাদানগুলির ভূমিকা ক্রমশ গুরুত্বপূর্ণ হয়ে উঠবে৷