সেমিকোরেক্স এসআইসি ক্যান্টিলিভার প্যাডেলগুলি উচ্চ-তাপমাত্রার পরিবেশে স্থিতিশীল ওয়েফার হ্যান্ডলিংয়ের জন্য ডিজাইন করা সেমিকন্ডাক্টর তাপীয় প্রক্রিয়াকরণ সরঞ্জামগুলিতে ব্যবহৃত উচ্চ-পারফরম্যান্স সিলিকন কার্বাইড ক্যান্টিলিভার প্যাডেলগুলি। সেমিকোরেক্স নির্বাচন করা মানে আপনার প্রতিটি সমালোচনামূলক প্রক্রিয়া স্থিতিশীল এবং নির্ভরযোগ্য কিনা তা নিশ্চিত করার জন্য উচ্চ-বিশুদ্ধতা উপকরণ, দুর্দান্ত তাপীয় স্থিতিশীলতা এবং শিল্প-নেতৃস্থানীয় নির্ভুলতা উত্পাদন প্রযুক্তি বেছে নেওয়া।*
সেমিকোরেক্স এসআইসি ক্যান্টিলিভার প্যাডেলগুলি উচ্চ-পারফরম্যান্স উপাদান যা সেমিকন্ডাক্টর তাপীয় প্রক্রিয়াকরণ সরঞ্জামগুলিতে (এলপিসিভিডি, পিইসিভিডি, জারণ এবং প্রসারণ চুল্লি) ওয়েফার হ্যান্ডলিং এবং ওয়েফার ট্রান্সপোর্টের জন্য সুনির্দিষ্টভাবে ডিজাইন করা হয়েছে। এই ক্যান্টিলিভার প্যাডেলগুলি ওয়েফারগুলির জন্য একটি প্ল্যাটফর্ম সরবরাহ করে এবং সমর্থনের একটি প্রয়োজনীয় ফর্ম সরবরাহ করে যা কঠোর উচ্চ-তাপমাত্রার প্রক্রিয়াগুলির মাধ্যমে ভঙ্গুর ওয়েফারগুলির স্থিতিশীল এবং নির্ভরযোগ্য পরিবহন নিশ্চিত করে (প্রায়শই 1200 ডিগ্রি সেন্টিগ্রেডের বেশি)। ক্যান্টিলিভার প্যাডেলগুলি উচ্চ বিশুদ্ধতা সিলিকন কার্বাইড (এসআইসি) থেকে তৈরি করা হয় যা অর্ধপরিবাহী বানোয়াট পরিবেশের জন্য যান্ত্রিক স্থায়িত্ব, তাপ স্থিতিশীলতা এবং অ্যান্টি-কোরোসিভ বৈশিষ্ট্য সরবরাহ করে।
সিলিকন কার্বাইড হ'ল একটি সুপার-প্রিমিয়াম সিরামিক উপাদান যা দুর্দান্ত তাপ পরিবাহিতা, কম তাপীয় প্রসারণ এবং রাসায়নিকভাবে প্রতিকূল পরিবেশে নির্ভরযোগ্যভাবে সম্পাদন করার ক্ষমতা সহ। ক্যান্টিলিভার প্যাডেলগুলিতে সিলিকন কার্বাইড তাপীয় ওয়ারপিং হ্রাস করতে সহায়তা করতে পারে
এবং আন্দোলন যা ওয়েফারগুলি সমতল এবং তাদের নামমাত্র প্রক্রিয়াজাতকরণ অবস্থানে রাখে। ক্যান্টিলিভার প্যাডেলগুলির প্রসঙ্গে ওয়েফারের তাপীয় স্থিতিশীলতা বিশেষত উন্নত নোড ডিভাইসগুলি উত্পাদন করার সময় কণা দূষণ এবং যান্ত্রিক চলাচলের সমস্যাগুলি হ্রাস করার জন্য গুরুত্বপূর্ণ। এই সমস্যাগুলির ফলে ফলন হ্রাস বা ব্যয়বহুল পুনরায় কাজ এবং ওয়েফারগুলির প্রতিস্থাপন হতে পারে।
এসআইসি ক্যান্টিলিভার প্যাডেলগুলির একচেটিয়া রূপটি যান্ত্রিক দৃ ust ়তা এবং তাপীয় অভিন্নতার উন্নতি করে এবং জয়েন্টগুলি এবং দুর্বল পয়েন্টগুলি দূর করে যা সাধারণত কম্পোজিটগুলিতে বিদ্যমান থাকতে পারে। তদ্ব্যতীত, প্যাডেলগুলির পৃষ্ঠের সমাপ্তি নির্দিষ্টভাবে নিয়ন্ত্রিত হয় এবং সাধারণত কণা প্রজন্মকে হ্রাস করতে একটি নিকটতম আয়না-মানের দিকে পালিশ করা হয় এবং এটি খুব ক্লিনরুম শ্রেণীর অনুগত।
অক্সিজেন, বাষ্প এবং অন্যান্য প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস জড়িত বিস্তৃতি এবং জারণ প্রক্রিয়াগুলিতে; প্রচলিত উপকরণগুলি সময়ের সাথে সাথে মেল্টডাউন বা বিকৃত হতে পারে। এসআইসির অন্তর্নিহিত রাসায়নিক জড় সম্পত্তি নিশ্চিত করে যে প্যাডেলগুলি অস্থিতিশীল উপকরণ ব্যবহারের কারণে প্রক্রিয়াটিতে দূষিত হবে না এবং আরও স্থিতিশীল প্রক্রিয়া এবং নির্ভরযোগ্য ফলাফলগুলিতে অবদান রাখে। এসআইসি ক্যান্টিলিভার প্যাডেলগুলির কাঠামোগত অখণ্ডতা গরম এবং শীতল করার দ্রুত সাইক্লিং সত্ত্বেও স্থিতিশীল থাকে। অতএব, তারা প্রচুর হ্রাস রক্ষণাবেক্ষণ বা অংশ প্রতিস্থাপন ডাউনটাইম সহ দীর্ঘ অপারেশনাল পরিষেবা জীবন সরবরাহ করে।
এছাড়াও, এসআইসি প্যাডেলগুলির হ্রাস ভর এবং হালকা ওজন দ্রুত তাপীয় প্রতিক্রিয়ার জন্য অনুমতি দেয়; এর ফলে দ্রুত তাপীয় র্যাম্প-আপ এবং শীতল-ডাউন সময়গুলি উত্পাদনশীলতা এবং শক্তি দক্ষতার জন্য অবদান রাখার অনুমতি দেয়, অর্ধপরিবাহী উত্পাদনের প্রতিযোগিতামূলক আড়াআড়িগুলিতে সমস্ত বড় মেট্রিক।
এসআইসি ক্যান্টিলিভার প্যাডেলগুলি 100 মিমি থেকে 300 মিমি এবং আরও বড় আকারের বিভিন্ন চুল্লি ডিজাইন এবং ওয়েফার আকারগুলি সমন্বিত করার জন্য ডিজাইন করা এবং উত্পাদিত বিভিন্ন কনফিগারেশন এবং আকারগুলিতে সরবরাহ করা যেতে পারে। OEMS এবং সরঞ্জাম সংহতকারীরা সামনের দিকের এবং ব্যাক-এন্ড প্রক্রিয়া উভয় ক্ষেত্রেই মোতায়েনের জন্য সময়ের সাথে সাথে এসআইসি প্যাডেলগুলির ধারাবাহিকতা এবং নির্ভরযোগ্যতার প্রশংসা করে।
সেমিকোরেক্স উপাদান বিশুদ্ধতা, মাইক্রোস্ট্রাকচার এবং মাত্রিক সহনশীলতার উপর টাইট কন্ট্রোল সহ প্রিমিয়াম এসআইসি ক্যান্টিলিভার প্যাডেলগুলি সরবরাহ করে। আমাদের উন্নত প্রক্রিয়া ক্ষমতা, সেমিকন্ডাক্টর তাপীয় গতিবিদ্যা সম্পর্কে আমাদের জ্ঞানের সাথে, আমাদের এই বৈশিষ্ট্যগুলির সাথে প্যাডেলগুলি উত্পাদন করতে দেয় যা স্থিতিশীলতা, পরিষ্কার -পরিচ্ছন্নতা এবং স্থায়িত্বের জন্য শিল্পের মান পূরণ করে বা অতিক্রম করে। যখন এটি সঠিক এবং নির্ভরযোগ্য হওয়া দরকার, তখন সেমিকোরেক্স হ'ল মানসম্পন্ন এসআইসি উপাদানগুলির জন্য যাওয়ার জায়গা।