SiC ক্যান্টিলিভার প্যাডেল

সেমিকোরেক্স এসআইসি (সিলিকন কার্বাইড) ক্যান্টিলিভার প্যাডেল একটি গুরুত্বপূর্ণ উপাদান যা সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহৃত হয়, বিশেষত ডিফিউশন এবং আরটিপি (র্যাপিড থার্মাল প্রসেসিং) এর মতো প্রক্রিয়া চলাকালীন ডিফিউশন বা এলপিসিভিডি (লো-চাপের রাসায়নিক বাষ্প জমা) চুল্লিতে। এটি এই চুল্লিগুলির প্রক্রিয়া নলের মধ্যে ওয়েফারগুলিকে সমর্থন এবং পরিবহনের উদ্দেশ্যে কাজ করে।

সেমিকোরেক্স SiC ক্যান্টিলিভার প্যাডেল প্রাথমিকভাবে সিলিকন কার্বাইড দিয়ে গঠিত, এটি একটি শক্তিশালী এবং তাপীয়ভাবে স্থিতিশীল উপাদান যা উচ্চ-তাপমাত্রা প্রতিরোধের এবং চমৎকার যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্যের জন্য পরিচিত। সেমিকন্ডাক্টর ফার্নেসের উচ্চ-তাপমাত্রা প্রক্রিয়া পরিবেশের মধ্যে সম্মুখীন হওয়া কঠোর পরিস্থিতি সহ্য করার ক্ষমতার জন্য SiC বেছে নেওয়া হয়েছে। SiC ক্যান্টিলিভার প্যাডেলের নকশা এটিকে চুল্লির প্রক্রিয়া নল পর্যন্ত প্রসারিত করার অনুমতি দেয় যখন টিউবের বাইরে এক প্রান্তে দৃঢ়ভাবে নোঙ্গর করা হয়। চুল্লির অভ্যন্তরে তাপীয় পরিবেশের সাথে হস্তক্ষেপ কম করার সময় এই নকশাটি প্রক্রিয়াজাত করা ওয়েফারগুলির জন্য স্থিতিশীলতা এবং সমর্থন নিশ্চিত করে।

SiC ক্যান্টিলিভার প্যাডেল হল সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারগুলিকে প্রসেস টিউবের মধ্যে নিরাপদে বহন করার জন্য বিভিন্ন উচ্চ-তাপমাত্রার প্রক্রিয়া যেমন ডিফিউশন এবং RTP। এর মজবুত নির্মাণ নিশ্চিত করে যে এটি অবক্ষয় বা ব্যর্থতা ছাড়াই এই প্রক্রিয়া চলাকালীন চরম তাপমাত্রা এবং রাসায়নিক পরিবেশের সম্মুখীন হতে পারে। SiC ক্যান্টিলিভার প্যাডেলগুলি সাধারণত শিল্পে ব্যবহৃত অর্ধপরিবাহী ওয়েফার আকার এবং আকারের বিস্তৃত পরিসরের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ হওয়ার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। তারা প্রায়ই নির্দিষ্ট চুল্লি কনফিগারেশন এবং প্রক্রিয়া প্রয়োজনীয়তা মিটমাট করার জন্য কাস্টমাইজযোগ্য হয়.