রোবট এন্ড ইফেক্টর

রোবট এন্ড ইফেক্টর হল রোবটের হাত যা সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারগুলিকে ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণ সরঞ্জাম এবং বাহকের অবস্থানের মধ্যে স্থানান্তরিত করে। রোবট এন্ড ইফেক্টরকে অবশ্যই মাত্রাগতভাবে সুনির্দিষ্ট এবং তাপগতভাবে স্থিতিশীল হতে হবে, যেখানে মসৃণ, ঘর্ষণ-প্রতিরোধী পৃষ্ঠ থাকতে হবে যাতে ডিভাইসের ক্ষতি না করে বা কণা দূষণ তৈরি না করে নিরাপদে ওয়েফার পরিচালনা করতে পারে। আমাদের উচ্চ-বিশুদ্ধতা সিলিকন কার্বাইড (SiC) আবরণ রোবট এন্ড ইফেক্টর উচ্চতর তাপ প্রতিরোধের, এমনকি সামঞ্জস্যপূর্ণ epi স্তর বেধ এবং প্রতিরোধের জন্য তাপ অভিন্নতা, এবং টেকসই রাসায়নিক প্রতিরোধের প্রদান করে।

রোবট এন্ড ইফেক্টরের পরামিতি

রোবট এন্ড ইফেক্টরের বৈশিষ্ট্য

উচ্চ বিশুদ্ধতা SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট

উচ্চতর তাপ প্রতিরোধের এবং তাপ অভিন্নতা

একটি মসৃণ পৃষ্ঠের জন্য সূক্ষ্ম SiC স্ফটিক প্রলিপ্ত

রাসায়নিক পরিষ্কারের বিরুদ্ধে উচ্চ স্থায়িত্ব

উপাদানটি এমনভাবে ডিজাইন করা হয়েছে যাতে ফাটল এবং ডিলামিনেশন না ঘটে।