ছিদ্রযুক্ত SiC ভ্যাকুয়াম চক

সেমিকোরেক্স ছিদ্রযুক্ত SiCভ্যাকুয়াম চকঅপরিহার্য উপাদান, যা উন্নত সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহার করতে সক্ষম, যেমন ওয়েফার পাতলা করা, ডাইসিং, গ্রাইন্ডিং, পলিশিং, ফটোলিথোগ্রাফি, এচিং। তাদের শোষণ প্ল্যাটফর্মটি একটি ছিদ্রযুক্ত SiC সিরামিক প্লেট দিয়ে তৈরি করা হয়েছে যেখানে অসংখ্য সমানভাবে বিতরণ করা মাইক্রোন-স্কেল ছিদ্র রয়েছে। সামঞ্জস্যপূর্ণ ছিদ্র ব্যাস এবং ব্যতিক্রমী থ্রু-হোল রেট সহ, সেমিকোরেক্স ছিদ্রযুক্ত SiC ভ্যাকুয়াম চাকগুলি ভ্যাকুয়াম উচ্ছেদের জন্য একটি মসৃণ গ্যাস পথ সরবরাহ করে। অপারেশন চলাকালীন, চক এবং ওয়েফারের মধ্যে স্থিতিশীল এবং অভিন্ন নেতিবাচক চাপ তৈরি হয়, যা উচ্চ-দক্ষ ভ্যাকুয়াম ক্ল্যাম্পিং এবং সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারের মুক্তির অনুমতি দেয়।

সেমিকোরেক্স ছিদ্রযুক্ত SiC ভ্যাকুয়াম চাকের সুবিধা 

1. ব্যতিক্রমী প্রক্রিয়াকরণ নির্ভুলতা

উন্নত সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিংয়ে প্রক্রিয়াকৃত সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারগুলি অত্যন্ত পাতলা, তাই সামান্য বাঁকানো, কম্পন বা অসম স্থানীয় চাপের কারণেও লিথোগ্রাফির মতো জটিল প্রক্রিয়াগুলিতে ওয়েফার ভেঙে যাওয়া, ওয়ারিং এবং নির্ভুলতা হ্রাস হতে পারে। সেমিকোরেক্সছিদ্রযুক্ত SiCভ্যাকুয়াম চকগুলি উচ্চ-নির্ভুলতা গ্রাইন্ডিং এবং পলিশিংয়ের মাধ্যমে প্রক্রিয়া করা হয়, Ra ＜ 0.1 μm এর একটি নিখুঁত পৃষ্ঠের রুক্ষতা অর্জন করে। এটি সেমিকোরেক্স ছিদ্রযুক্ত SiC ভ্যাকুয়াম চকগুলিকে উচ্চ-নির্ভুল সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনের জন্য একটি অপ্টিমাইজ করা অপারেশনাল পৃষ্ঠ সরবরাহ করতে সক্ষম করে।

2. উচ্চ পরিচ্ছন্নতা এবং উচ্চ জারা প্রতিরোধের

সম্পূর্ণরূপে কঠোর সেমিকন্ডাক্টর পরিচ্ছন্নতার মানগুলি পূরণ করতে, সেমিকোরেক্স উচ্চ-তাপমাত্রা সিন্টারিংয়ের মাধ্যমে উচ্চ-বিশুদ্ধতা সিলিকন কার্বাইড কাঁচামাল সহ ছিদ্রযুক্ত SiC ভ্যাকুয়াম চাক তৈরি করে। এটি নিশ্চিত করে যে চকগুলি কণা ঝরানো এবং স্থানান্তরযোগ্য ধাতব দূষণ থেকে মুক্ত। SiC-এর চমৎকার রাসায়নিক স্থিতিশীলতা থেকে উপকৃত হয়ে, Semicorex ছিদ্রযুক্ত SiC ভ্যাকুয়াম চকগুলি কঠোর ক্ষয়কারী পরিবেশ সহ্য করতে সক্ষম এবং কোনও অতিরিক্ত উপ-পণ্য তৈরি করে না, যা উচ্চ-গ্রেডের পরিষ্কার সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশন প্রক্রিয়াগুলির জন্য অত্যন্ত উপযুক্ত করে তোলে।

3. চমৎকার স্থায়িত্ব এবং দীর্ঘমেয়াদী স্থায়িত্ব

প্রোডাকশন লাইনে ব্যবহৃত ভ্যাকুয়াম চকগুলিকে অবশ্যই হাজার হাজার শোষণ এবং মুক্তি চক্রের পাশাপাশি দীর্ঘমেয়াদী তাপমাত্রার ওঠানামা সহ্য করতে হবে। এটি ভ্যাকুয়াম চাকের উপাদান কর্মক্ষমতার উপর অত্যন্ত উচ্চ প্রয়োজনীয়তা আরোপ করে। সেমিকোরেক্স ছিদ্রযুক্ত SiC ভ্যাকুয়াম চাকের বৈশিষ্ট্যগুলি অসামান্য উপাদান কঠোরতা এবং স্থিতিশীল তাপীয় সম্প্রসারণের সাথে পরিধান প্রতিরোধের বৈশিষ্ট্য রয়েছে। এগুলি উচ্চ-তাপমাত্রার পরিস্থিতিতে কোনও ক্রিম বা কর্মক্ষমতা হ্রাস দেখায় না, যা উল্লেখযোগ্যভাবে তাদের পরিষেবা জীবনকে প্রসারিত করে এবং উপাদান রক্ষণাবেক্ষণ এবং প্রতিস্থাপনের ফ্রিকোয়েন্সি হ্রাস করে।