ছিদ্রযুক্ত সিক চক

সেমিকোরেক্স পোরস সিক চক একটি সিরামিক অংশ যা পরিদর্শন, পরীক্ষা এবং লিথোগ্রাফির মতো প্রক্রিয়া পদক্ষেপের মাধ্যমে সেমিকন্ডাক্টর অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য ওয়েফার সাবস্ট্রেটগুলির নিরাপদ, দক্ষ পরিচালনার জন্য নির্ভুলতার সাথে একত্রিত হয়েছে। চকটি মাইক্রো-পোরস সিলিকন কার্বাইড সিরামিক (এসআইসি) দ্বারা উত্পাদিত হয়। এসআইসিতে যান্ত্রিক শক্তি, রাসায়নিক প্রতিরোধের এবং তাপীয় স্থায়িত্বের বৈশিষ্ট্য রয়েছে যা কাটিং-এজ সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন পরিবেশের জন্য প্রয়োজনীয়।

ছিদ্রযুক্ত সিক চক এর একটি প্রয়োজনীয় বৈশিষ্ট্য হ'ল এর অনন্য মাইক্রোস্ট্রাকচার, যা 35%-40%এর পোরোসিটি প্রদর্শন করে। ছকের পোরোসিটি শক্তভাবে নিয়ন্ত্রিত হওয়ার সাথে সাথে, ওভারলাইং ডিজাইনটি ভ্যাকুয়াম সাকশনকে চকচকে জুড়ে সমানভাবে বিতরণ করতে দেয় যা সাধারণত সূক্ষ্ম ওয়েফার সাবস্ট্রেটগুলির জন্য ধারাবাহিক স্থিতিশীল এবং অ-যোগাযোগের সমর্থন উত্পন্ন করে: সিলিকন বা গাএন, এবং অন্যান্য যৌগিক সেমিকন্ডাক্টরগুলির জন্য।  ভ্যাকুয়াম সাকশন মোড উভয় কণা দূষণ এবং যান্ত্রিক ক্ষতি এড়িয়ে চলে, যার ফলে প্রক্রিয়া চলাকালীন ওয়েফার অখণ্ডতা সংরক্ষণ করে।

ছকের সিরামিক বডিটি মূলত উচ্চ বিশুদ্ধতা এসআইসি, অন্যান্য সিরামিকগুলি যেমন অ্যালুমিনা (আল 2 ও 3) সহ সম্ভাব্যভাবে প্রয়োগের উপর নির্ভর করে সীমিত সংখ্যক কার্যকরী স্তরগুলির জন্য ব্যবহৃত হয়। উপাদানের গবেষণা এবং বিকাশের ফলে ছিদ্রের আকার এবং বিতরণটি ওয়েফার আকার এবং প্রক্রিয়া শর্তের উপর নির্ভর করে বায়ু প্রবাহ এবং হোল্ডিং ফোর্স ডিজাইন করতে পরিচালিত হতে দেয়। যদি পাতলা ওয়েফারগুলিতে শূন্যতা নিয়ন্ত্রণ করা গুরুত্বপূর্ণ হয় তবে ছোট ছিদ্রের আকারটি অন্তর্ভুক্ত করা হবে। দ্রুত প্রবাহের হারের জন্য যেখানে উপযুক্ত, বৃহত্তর ছিদ্র আকার ব্যবহার করা হবে।

ছিদ্রযুক্ত এসআইসি চাকগুলি পরিবর্তনশীল ছিদ্র আকার, সিরামিক রচনাগুলি এবং ফায়ারিংয়ের শর্তগুলির ফলস্বরূপ রঙের বিভিন্নতা প্রদর্শন করে। সিলিকন কার্বাইডের রঙ ধূসর বা কালো হওয়ায় সিক ছকগুলি কালো বা গা dark ় ধূসর হয়ে থাকে, তবে বড় অ্যালুমিনা সামগ্রীর সাথে চকগুলি সাদা রঙের অফ-হোয়াইট হতে থাকে। রঙের বৈকল্পিকগুলি পণ্যটির কার্য সম্পাদনে কোনও প্রভাব ফেলে না এবং কেবলমাত্র ইঞ্জিনিয়ারড বৈশিষ্ট্যগুলি উপস্থাপন করে যা নির্দিষ্ট অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য নির্দিষ্ট গ্রাহকের প্রয়োজনীয়তা মেনে চলার জন্য তৈরি করা হয়েছিল।

হাই-এন্ড ওয়েফার প্রসেসিং সরঞ্জামগুলিতে, তাপ স্থায়িত্ব এবং রাসায়নিক জড়তা দুটি সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ বৈশিষ্ট্য। সিলিকন কার্বাইড জারা গ্যাস এবং তাপ সাইক্লিংয়ের জন্য দুর্দান্ত প্রতিরোধ সরবরাহ করে। ছিদ্রযুক্ত এসআইসি চক সফলভাবে ভ্যাকুয়াম চেম্বার এবং প্লাজমা এচ সরঞ্জামগুলিতে কাজ করে এবং এটি দ্রুত পরিবর্তিত তাপমাত্রার সাথে ভাল পারফরম্যান্স অব্যাহত রাখে। ছকের চঞ্চল স্থিতিশীলতা বজায় রাখার তাদের দক্ষতা নিশ্চিত করে যে ওয়েফার একই স্থানে রয়েছে, যদিও সঠিকতার প্রয়োজনীয়তাগুলি ডাইমেনশনাল স্থিতিশীলতায় অবদান রাখার প্রক্রিয়াটির উপর নির্ভর করে সাব-মাইক্রনের নীচে থাকতে পারে।

সেমিকোরেক্স ছিদ্রযুক্ত এসআইসি চকগুলি অনুমোদিত গঠন এবং সিনটারিং পদ্ধতিগুলি ব্যবহার করে তৈরি করা হয় যা অভিন্ন পোরোসিটি, উচ্চ নমনীয় শক্তি এবং কম তাপীয় প্রসারণ সরবরাহ করে। নির্ভরযোগ্য এবং পুনরাবৃত্তিযোগ্য পণ্য নিশ্চিত করার জন্য প্রতিটি চক ছিদ্র কাঠামো, ফ্ল্যাটনেস এবং ভ্যাকুয়াম পারফরম্যান্সের জন্য পরিদর্শন করা হয়। কাস্টম ডিজাইনগুলি নির্দিষ্ট ওয়েফার আকার এবং সিস্টেম ইন্টিগ্রেশন প্রয়োজনীয়তা যেমন ব্যাক-সাইড গ্যাস প্রবাহ চ্যানেল বা মাউন্টিং বৈশিষ্ট্যগুলি সমন্বিত করতেও উপলব্ধ।

উপসংহারে, ছিদ্রযুক্ত এসআইসি চক একটি উচ্চ নির্ভরযোগ্যতা সাবস্ট্রেট সমর্থন সিস্টেম যা যথার্থ ওয়েফার প্রসেসিংয়ের প্রয়োজনীয়তার সাথে একত্রে কাজ করার জন্য যত্ন সহকারে ডিজাইন করা হয়েছে। একটি উচ্চ ভ্যাকুয়াম হোল্ডিং ক্ষমতা, কাস্টমাইজযোগ্য ছিদ্র কাঠামো এবং অসামান্য উপাদান স্থায়িত্ব সহ, এটি আজকের অর্ধপরিবাহী বানোয়াট লাইনে একটি অপরিহার্য পণ্য।