বিভিন্ন ধরণের চুল্লির মধ্যে কাঠামোগত পার্থক্য

প্রতিক্রিয়া চেম্বার কনফিগারেশনের উপর ভিত্তি করে, তাপ চিকিত্সা সরঞ্জাম (ফার্নেস টিউব সরঞ্জাম) প্রধানত তিনটি বিভাগে বিভক্ত: উল্লম্ব চুল্লি টিউব, অনুভূমিক চুল্লি টিউব, এবং দ্রুত তাপ প্রক্রিয়াকরণ (RTP) চুল্লি।

উল্লম্ব ফার্নেস টিউবে উল্লম্বভাবে সাজানো কোয়ার্টজ টিউব থাকে, যেখানে ওয়েফারগুলি গরম করার জন্য টিউবের চারপাশে রাখা হয়। তাদের প্রধান সুবিধাগুলি হল অভিন্ন তাপমাত্রা বন্টন, সুনির্দিষ্ট বায়ুমণ্ডল নিয়ন্ত্রণ, উচ্চ স্বয়ংক্রিয়তা, কম কণা দূষণ, ছোট পায়ের ছাপ, এবং ব্যাচ প্রক্রিয়াকরণের জন্য সমর্থন (বিশেষত 12-ইঞ্চি ওয়েফারের জন্য উপযুক্ত), এগুলিকে বর্তমানে উপলব্ধ মূলধারার সরঞ্জাম করে তুলেছে। 2024 সালে বিশ্বব্যাপী বাজারের আকার $3.2 বিলিয়ন পৌঁছেছে (SEMI ডেটা)। তাদের অসুবিধাগুলির মধ্যে রয়েছে সহজ গ্যাস-তরল পৃথকীকরণ, এবং মাঝারিটির নিম্নমুখী প্রবাহের ফলে ফার্নেস টিউবটি জ্বলতে পারে।

অনুভূমিক ফার্নেস টিউবগুলিতে অনুভূমিকভাবে কোয়ার্টজ টিউব স্থাপন করা হয়, যা একবারে 100-200 ওয়েফার প্রক্রিয়াজাত করে। তাদের সুবিধার মধ্যে রয়েছে ফার্নেস টিউবের মধ্যে অভিন্ন গ্যাস-তরল প্রবাহ এবং আরও সুনির্দিষ্ট তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ। তাদের অসুবিধাগুলির মধ্যে একটি বৃহত্তর পদচিহ্ন এবং উচ্চ-অ্যালয় স্টিলের মধ্যবর্তী টিউব সমর্থনের উচ্চ খরচ অন্তর্ভুক্ত। কাঠামোগতভাবে, অনুভূমিক ফার্নেস টিউবগুলি প্রক্রিয়াকরণের জন্য অনুভূমিক টিউবের মধ্যে উল্লম্বভাবে ওয়েফারগুলিকে রাখে।

র‍্যাপিড থার্মাল অ্যানিলিং (RTP) চুল্লিগুলি একক ওয়েফারকে দ্রুত গরম করতে হ্যালোজেন ইনফ্রারেড ল্যাম্প ব্যবহার করে, দ্রুত গরম এবং শীতল করার হার অফার করে যা চেম্বারের তাপমাত্রা পরিবর্তন না করে শুধুমাত্র ওয়েফারের তাপমাত্রা পরিবর্তন করে। এগুলি ছোট-ব্যাচ দ্রুত অ্যানিলিংয়ের জন্য উপযুক্ত তবে ব্যাপক উত্পাদনের জন্য নয়।

ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণে, অনুভূমিক ফার্নেস টিউবগুলি ওয়েফারটিকে একটি কোয়ার্টজ বোটে রাখে, যা ফলস্বরূপ একটি সিলিকন কার্বাইড (SiC) সমর্থন ফ্রেমের উপর থাকে। সাপোর্ট ফ্রেমটিকে তারপর কোয়ার্টজ ফার্নেস টিউবে ঠেলে দেওয়া হয়, যেখানে ওয়েফারটি একটি ধ্রুবক-তাপমাত্রার অঞ্চলে প্রতিক্রিয়ার মধ্য দিয়ে যায়। উল্লম্ব চুল্লি টিউব, অন্যদিকে, একটি কোয়ার্টজ টাওয়ারে ওয়েফার রাখুন এবং প্রক্রিয়াকরণের জন্য ধীরে ধীরে কোয়ার্টজ ফার্নেস টিউবের মধ্যে বাড়ান। প্রতিক্রিয়ার পরে, নমন বা ভাঙ্গন রোধ করতে ওয়েফারটি ধীরে ধীরে নামানো হয়।

সেমিকোরেক্স উচ্চ মানের কাস্টমাইজ সরবরাহ করেকোয়ার্টজ চুল্লি চুল্লি. আমাদের পণ্য উচ্চতর তাপ স্থিতিশীলতা, বর্ধিত সেবা জীবন, এবং ব্যতিক্রমী প্রক্রিয়া সামঞ্জস্য প্রদান করার জন্য ইঞ্জিনিয়ার করা হয়. কাস্টমাইজড সমাধান বা অতিরিক্ত প্রযুক্তিগত তথ্যের জন্য, অনুগ্রহ করে নির্দ্বিধায় আমাদের ইঞ্জিনিয়ারিং টিমের সাথে যোগাযোগ করুন।

ফোন: +86-13567891907

ইমেইল: sales@semicorex.com