ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক (ESC) কি?

সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিংয়ে, এচিং প্রক্রিয়ার নির্ভুলতা এবং স্থায়িত্ব সর্বাধিক গুরুত্বপূর্ণ। উচ্চ-মানের এচিং অর্জনের একটি গুরুত্বপূর্ণ কারণ হল প্রক্রিয়া চলাকালীন ট্রেতে ওয়েফারগুলি পুরোপুরি সমতল হয় তা নিশ্চিত করা। যেকোনো বিচ্যুতি অসম আয়ন বোমাবাজির দিকে নিয়ে যেতে পারে, যার ফলে অবাঞ্ছিত কোণ এবং এচিং হারে তারতম্য ঘটতে পারে। এই চ্যালেঞ্জ মোকাবেলা করার জন্য, প্রকৌশলী বিকশিত হয়েছেইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক (ESCs), যা উল্লেখযোগ্যভাবে এচিং গুণমান এবং স্থিতিশীলতা উন্নত করেছে। এই নিবন্ধটি ESC-এর নকশা এবং কার্যকারিতা নিয়ে আলোচনা করে, একটি মূল দিকের উপর ফোকাস করে: ওয়েফার আনুগত্যের পিছনে ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক নীতিগুলি।

ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক ওয়েফার আনুগত্য

এর পেছনের নীতিইএসসিএকটি ওয়েফারকে নিরাপদে ধরে রাখার ক্ষমতা এর ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক ডিজাইনের মধ্যে রয়েছে। দুটি প্রাথমিক ইলেক্ট্রোড কনফিগারেশন ব্যবহৃত হয়ইএসসিs: একক-ইলেকট্রোড এবং ডুয়াল-ইলেকট্রোড ডিজাইন।

একক-ইলেক্ট্রোড ডিজাইন: এই ডিজাইনে, পুরো ইলেক্ট্রোডটি সমানভাবে ছড়িয়ে পড়েইএসসিপৃষ্ঠ কার্যকর হলেও, এটি মাঝারি স্তরের আনুগত্য শক্তি এবং ক্ষেত্রের অভিন্নতা প্রদান করে।

ডুয়াল-ইলেকট্রোড ডিজাইন: ডুয়াল-ইলেকট্রোড ডিজাইন, তবে, একটি শক্তিশালী এবং আরও অভিন্ন ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক ক্ষেত্র তৈরি করতে ইতিবাচক এবং নেতিবাচক উভয় ভোল্টেজ ব্যবহার করে। এই নকশাটি উচ্চতর আনুগত্য শক্তি সরবরাহ করে এবং নিশ্চিত করে যে ওয়েফারটি ESC পৃষ্ঠ জুড়ে শক্তভাবে এবং সমানভাবে রাখা হয়েছে।

যখন একটি ডিসি ভোল্টেজ ইলেক্ট্রোডগুলিতে প্রয়োগ করা হয়, তখন ইলেক্ট্রোড এবং ওয়েফারের মধ্যে একটি ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক ক্ষেত্র তৈরি হয়। এই ক্ষেত্রটি অন্তরক স্তরের মধ্য দিয়ে প্রসারিত হয় এবং ওয়েফারের পিছনের অংশের সাথে যোগাযোগ করে। বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের কারণে ওয়েফার পৃষ্ঠের চার্জগুলি পুনরায় বিতরণ বা মেরুকরণ হয়। ডোপড সিলিকন ওয়েফারের জন্য, মুক্ত চার্জগুলি বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের প্রভাবের অধীনে চলে যায় - ধনাত্মক চার্জগুলি ঋণাত্মক ইলেক্ট্রোডের দিকে যায় এবং নেতিবাচক চার্জগুলি ধনাত্মক ইলেক্ট্রোডের দিকে চলে যায়। আনডোপড বা ইনসুলেটিং ওয়েফারের ক্ষেত্রে, বৈদ্যুতিক ক্ষেত্র অভ্যন্তরীণ চার্জের সামান্য স্থানচ্যুতি ঘটায়, ডাইপোল তৈরি করে। ফলস্বরূপ ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক বল দৃঢ়ভাবে চাকের সাথে ওয়েফারকে মেনে চলে। কুলম্বের সূত্র এবং বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের শক্তি ব্যবহার করে এই শক্তির শক্তি আনুমানিক করা যেতে পারে।