2023-06-26
প্রক্রিয়াকরণের সময়, সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারগুলি সাধারণত একটি বিশেষ চুল্লিতে উত্তপ্ত করা উচিত। এই ধরনের চুল্লি সাধারণত লম্বা, পাতলা, নলাকার টিউব নিয়ে গঠিত। ওয়েফারগুলি চুল্লি এবং চুল্লিতে এমনভাবে স্থাপন করা হয় যে সেগুলি চুল্লি বা চুল্লির বৃত্তাকার ক্রস-সেকশন দ্বারা সংজ্ঞায়িত একটি সমতল বরাবর সাজানো হয় এবং পূর্বনির্ধারিত, সাধারণত সমানভাবে ব্যবধানে, কেন্দ্রের কেন্দ্রীয় অক্ষ বরাবর বিন্দুতে পৃথক করা হয়। চুল্লি বা চুল্লি। এই অবস্থান অর্জনের জন্য, ওয়েফারগুলি সাধারণত স্লটেড হোল্ডারগুলিতে স্থাপন করা হয়, যাকে ওয়েফার বোট বলা হয়, যা ওয়েফারগুলিকে কেন্দ্রীয় অক্ষ বরাবর সারিবদ্ধ একটি ব্যবধানযুক্ত কনফিগারেশনে রাখে।
প্রক্রিয়াকরণের জন্য ওয়েফারের ব্যাচ ধারণকারী ছোট নৌকাগুলি দীর্ঘ ক্যান্টিলিভার প্যাডেলগুলিতে স্থাপন করা হয় যার মাধ্যমে নলাকার চুল্লি এবং চুল্লি ঢোকানো এবং প্রত্যাহার করা যায়। এই ধরনের প্যাডেলগুলিতে সাধারণত একটি ফ্ল্যাট ক্যারিয়ার সেকশন থাকে যার উপর এক বা একাধিক ছোট নৌকা স্থাপন করা যায় এবং ফ্ল্যাট ক্যারিয়ার বিভাগের এক প্রান্তে অবস্থিত একটি লম্বা হাতল, যার দ্বারা প্যাডেলগুলি পরিচালনা করা যায়। একটি ট্রানজিশন অংশ সাধারণত হ্যান্ডেল এবং ক্যারিয়ার অংশের মধ্যে গঠিত হয় যাতে সেগুলি সম্পূর্ণ হয়। এছাড়াও, হ্যান্ডেলটি চুল্লি বা চুল্লির বাইরে প্রসারিত হওয়া আবশ্যক যাতে এটি এবং ওয়েফার বোটকে ম্যানিপুলেট করা যায়।
চুল্লি বা চুল্লির মধ্যে ওয়েফার জাহাজের অবস্থান গুরুত্বপূর্ণ কারণ প্রতিটি ওয়েফারের কেন্দ্র যতটা সম্ভব ফার্নেস বা চুল্লির কেন্দ্রীয় অক্ষের কাছাকাছি রাখা বাঞ্ছনীয় যাতে ওয়েফারগুলি অভিন্ন প্রক্রিয়াকরণের শর্তগুলি অর্জন করে। অতএব, ওয়েফার বহনকারী জাহাজের ওজনের কারণে প্যাডেলের বাঁককে প্যাডেল ডিজাইনে বিবেচনা করতে হবে, বিশেষ করে যেহেতু প্যাডেলটি শুধুমাত্র এক প্রান্তে সমর্থিত, অর্থাৎ চুল্লির চেম্বার থেকে বেরিয়ে আসা প্রান্তটি। অপারেশনাল ওজনের প্রয়োজনীয়তার ফলে প্যাডেল ডিজাইন বিবেচনা করার পাশাপাশি, প্যাডেলের বর্ধিত প্রান্তকে সঠিকভাবে অবস্থানে ধরে রাখার জন্য ডিজাইন করা ক্ল্যাম্পের একটি সেটও ব্যবহার করা আবশ্যক। এই ক্ল্যাম্পগুলিকে প্যাডেলটিকে একটি সুনির্দিষ্টভাবে পছন্দসই অবস্থানে রাখার জন্য বেশ শক্ত হতে হবে যখন ব্যবহার করা সহজ এবং ক্ল্যাম্পিংয়ের সময় প্যাডেলের ক্ষতি হওয়ার সম্ভাবনা কমিয়ে দেয়।
অতএব, একটি ক্যান্টিলিভার প্যাডেল প্রয়োজন ছিল যা বিদ্যমান ক্ল্যাম্পিং সিস্টেমের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ থাকাকালীন একটি ভারী লোডের সাথে ব্যবহার করা যেতে পারে। এছাড়াও একটি ক্যান্টিলিভার প্যাডেলের প্রয়োজন ছিল যা এটির সাথে ব্যবহার করা যেতে পারে এমন ওজন লোডের সম্পূর্ণ পরিসরে গ্রহণযোগ্য বিচ্যুতি বৈশিষ্ট্যগুলি প্রদর্শন করে।
গঅ্যান্টিলিভার প্যাডেল একটি CVD SiC পাতলা স্তর সহ পুনরায় ক্রিস্টাল করা সিলিকন কার্বাইড ব্যবহার করার পরামর্শ দেওয়া হয়, যা উচ্চ বিশুদ্ধতা এবং সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণের উপাদানগুলির জন্য সেরা পছন্দ।
সেমিকোরেক্স প্রদান করতে পারেউচ্চ গুনসম্পন্নক্যান্টিলিভার প্যাডেলএবংঅঙ্কন এবং কাজের পরিবেশ অনুযায়ী কাস্টমাইজড পরিষেবা।