2023-06-19
সিলিকন-অন-ইনসুলেটর (SOI) ন্যানোটেকনোলজি যুগে বিদ্যমান মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন উপকরণ প্রতিস্থাপনের অন্যতম সমাধান হিসাবে স্বীকৃত এবং এটি মুরের আইন প্রবণতা বজায় রাখার জন্য একটি প্রধান হাতিয়ার। সিলিকন-অন-ইনসুলেটর, একটি সাবস্ট্রেট প্রযুক্তি যা ঐতিহ্যবাহী বাল্ক সাবস্ট্রেট সিলিকনকে একটি "ইঞ্জিনিয়ারড" সাবস্ট্রেট দিয়ে প্রতিস্থাপন করে, সামরিক এবং স্পেস ইলেকট্রনিক্স সিস্টেমের মতো বিশেষ অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে 30 বছরেরও বেশি সময় ধরে ব্যবহার করা হয়েছে, যেখানে SOI এর চমৎকার কারণে অনন্য সুবিধা রয়েছে বিকিরণ প্রতিরোধের এবং উচ্চ গতির বৈশিষ্ট্য।
SOI উপকরণগুলি SOI প্রযুক্তির বিকাশের ভিত্তি, এবং SOI প্রযুক্তির বিকাশ SOI উপকরণগুলির ক্রমাগত অগ্রগতির উপর নির্ভর করে। স্বল্প-মূল্যের, উচ্চ-মানের SOI উপকরণের অভাব SOI প্রযুক্তির বৃহৎ আকারের শিল্প উৎপাদনে প্রবেশের জন্য প্রাথমিক বাধা হয়ে দাঁড়িয়েছে। সাম্প্রতিক বছরগুলিতে, SOI উপাদান প্রস্তুতি প্রযুক্তির পরিপক্কতার সাথে, SOI প্রযুক্তির বিকাশকে সীমাবদ্ধ করে এমন উপাদান সমস্যাটি ধীরে ধীরে সমাধান করা হচ্ছে, যা শেষ পর্যন্ত দুটি ধরণের SOI উপাদান প্রস্তুতি প্রযুক্তি অন্তর্ভুক্ত করে, যথা, স্পারেশন-বাই-অক্সিজেন ইমপ্লান্টেশন (SIMOX) এবং বন্ধন প্রযুক্তি। বন্ডিং প্রযুক্তির মধ্যে রয়েছে ঐতিহ্যবাহী বন্ড এবং ইচ ব্যাক (BESOI) প্রযুক্তি এবং স্মার্ট-কাট প্রযুক্তি যা হাইড্রোজেন আয়ন ইনজেকশন এবং বন্ডিং এর সমন্বয়ে প্রস্তাবিত এম. ব্রুয়েল, ফ্রান্সে SOITEC-এর অন্যতম প্রতিষ্ঠাতা, সেইসাথে সিমবন্ড SOI উপাদান প্রস্তুতির সমন্বয়। 2005 সালে ডাঃ মেং চেন দ্বারা প্রস্তাবিত অক্সিজেন বিচ্ছিন্নতা এবং বন্ধন। নতুন প্রযুক্তি অক্সিজেন ইনজেকশন বিচ্ছিন্নতা এবং বন্ধনকে একত্রিত করে।