উচ্চ শেষ ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক জন্য পৃষ্ঠ চিকিত্সা

দইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চকসেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন ক্ষেত্রে অভিন্ন ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক স্রাব, তাপ পরিবাহী এবং ওয়েফার শোষণ এবং ফিক্সেশনের মতো একাধিক কাজ করে। ESC এর মূল কাজগুলির মধ্যে একটি হল উচ্চ ভ্যাকুয়াম, শক্তিশালী প্লাজমা এবং বিস্তৃত তাপমাত্রা পরিসীমার মতো চরম অপারেটিং অবস্থার অধীনে ওয়েফারগুলিকে স্থিরভাবে শোষণ করা।

তাদের কার্যকারিতা যা প্রকৃতপক্ষে নির্ধারণ করে তা বাহ্যিক কাঠামো বা বেস উপাদান সূত্র নয়, বরং পৃষ্ঠ চিকিত্সা প্রক্রিয়া৷ পেশাদার পৃষ্ঠ চিকিত্সা ছাড়াই, অপারেশন চলাকালীন নিম্নলিখিত সমস্যার সম্মুখীন হবে:

1. প্লাজমা ক্ষয় এবং ধাতব আয়ন দূষণ

অরক্ষিত সিরামিক পৃষ্ঠতলগুলি এচিং বা সিভিডি প্রক্রিয়া সেটিংসে প্লাজমা ক্ষয়ের জন্য ঝুঁকিপূর্ণ। এই ধরনের ক্ষয় সরাসরি ধাতব আয়ন বা সিরামিক কণার নির্গত হওয়ার ফলে ওয়েফারকে দূষিত করে।

2. অসম তাপ পরিবাহিতা এবং ওয়ারপেজ বিকৃতি

রুক্ষ পৃষ্ঠ বা দুর্বল চিকিত্সার ফলে ওয়েফার এবং এর মধ্যে অসম যোগাযোগ হয়ইএসসি, তাপ সঞ্চালনে বাধা দেয় এবং সিডি অভিন্নতাকে প্রভাবিত করে।

3. অস্থির ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক শোষণ

ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চাকের পৃষ্ঠের নিরোধক কার্যকারিতা বা পরিবাহিতার ভুল নিয়ন্ত্রণ সহজেই অপর্যাপ্ত শোষণ শক্তি বা অত্যধিক শোষণের দিকে নিয়ে যেতে পারে, শেষ পর্যন্ত সরাসরি ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণের ফলনকে প্রভাবিত করে।

উচ্চ-সম্পূর্ণ ESC-এর পৃষ্ঠ প্রায়শই একটি যৌগিক বহু-স্তর কাঠামোর নকশা গ্রহণ করে, সঠিকভাবে সঠিক উচ্চ-কর্মক্ষমতা একীকরণ অর্জনের জন্য আবরণের মাধ্যমে কার্যকরী এলাকাগুলিকে নিয়ন্ত্রিত করে।

হাই-এন্ড ESC-এর সাধারণ পৃষ্ঠ চিকিত্সা প্রযুক্তি:

1.ফ্লুরোপলিমার নন-আঠালো আবরণ (যেমন PTFE এবং PFA)

এই ধরনের আবরণ বিশেষত নিম্ন-তাপমাত্রা প্রক্রিয়া পরিবেশের জন্য উপযুক্ত কারণ এর নিম্ন পৃষ্ঠের মুক্ত শক্তি, যা কার্যকরভাবে ফটোরেসিস্ট অবশিষ্টাংশের শোষণকে বাধা দেয়।

2. ডায়মন্ড-লাইক কার্বন (DLC) আবরণ

উচ্চ কঠোরতা, রক্তরস প্রতিরোধের, এবং একটি কম ঘর্ষণ সহগ সহ, এগুলি ক্ষয়-বিরোধী এবং নকশী সরঞ্জামগুলিতে অ্যান্টি-কণা বিচ্ছিন্নতা প্রয়োগের জন্য উপযুক্ত।

3. PVD পরিবাহী সিরামিক ফিল্ম (যেমন CrSiN এবং TiN)

এই ধরনের আবরণ একটি নির্দিষ্ট এলাকায় একটি স্থিতিশীল পরিবাহী পথ তৈরি করতে পারে এবং এর ফলে পৃষ্ঠের চার্জের অভিন্ন স্রাবকে সুনির্দিষ্টভাবে নিয়ন্ত্রণ করে স্থানীয় চার্জ জমা হওয়ার সমস্যাটি কার্যকরভাবে এড়াতে পারে।

4. যৌগিক তাপ পরিবাহী আবরণ (যেমন ডায়মন্ড পাউডার এবং ফ্লুরোপলিমার হাইব্রিড আবরণ)

এই ধরনের আবরণ তাপ পরিবাহিতা সহ অ-আঠালো গুণাবলীকে একত্রিত করে এবং এর সামগ্রিক কর্মক্ষমতা উচ্চ-নির্ভুলতা তাপ নিয়ন্ত্রণ ESC-এর প্রয়োগের প্রয়োজনীয়তার সাথে যথাযথভাবে মেলে।