শুষ্ক এচিং জন্য সিলিকন উপাদান

এই বিভাগটি বিশেষভাবে সিলিকন ফোকাসিং রিং (নিম্ন ইলেক্ট্রোড) এর ভূমিকা ব্যাখ্যা করে। এটি প্লাজমা শিথের পুরুত্ব নিয়ন্ত্রণ করে, যার ফলে আয়ন বোমা হামলার অভিন্নতাকে অনুকূল করে তোলে। প্লাজমা খাপ, রক্তরস এবং জাহাজের প্রাচীরের মধ্যে অ-নিরপেক্ষ অঞ্চল, রক্তরসের মধ্যে একটি গুরুত্বপূর্ণ এবং অনন্য অঞ্চল। প্লাজমা সমান সংখ্যক ধনাত্মক আয়ন এবং ইলেকট্রন নিয়ে গঠিত। কারণ ইলেকট্রনগুলি আয়নের চেয়ে দ্রুত ভ্রমণ করে, তারা প্রথমে জাহাজের প্রাচীরে পৌঁছায়। প্লাজমাটি জাহাজের প্রাচীরের তুলনায় ইতিবাচকভাবে চার্জ করা হয়। খাপ বৈদ্যুতিক ক্ষেত্র রক্তরসের মধ্যে আয়নকে ত্বরান্বিত করে (ইতিবাচক-নেতিবাচক আকর্ষণ), আয়নগুলিতে উচ্চ শক্তি সরবরাহ করে। এই উচ্চ-শক্তি আয়ন ফ্লাক্স আবরণ, এচিং এবং স্পুটারিং সক্ষম করে।

শুষ্ক এচিং প্রতিক্রিয়া একটি প্রক্রিয়া চেম্বারের মধ্যে সঞ্চালিত হয়, যা প্রাথমিকভাবে গঠিতসিলিকন উপাদান, একটি সিলিকন নিষ্কাশন রিং, একটি সিলিকন বাইরের রিং, একটি সিলিকন শাওয়ারহেড, একটি সিলিকন ফোকাস রিং, এবং একটি সিলিকন শিল্ড রিং সহ৷

একটি শুষ্ক এচিং চেম্বারে, একটি সিলিকন ওয়েফার সাধারণত একটি সিলিকন ফোকাস রিংয়ের মধ্যে স্থাপন করা হয়। এই সংমিশ্রণটি ইতিবাচক ইলেক্ট্রোড হিসাবে কাজ করে, যা এচিং চেম্বারের নীচে অবস্থিত। একটি সিলিকন ডিস্ক ঘনবসতিপূর্ণ ক্ষুদ্র ছিদ্রযুক্ত, চেম্বারের উপরে অবস্থিত, নেতিবাচক ইলেক্ট্রোড হিসাবে কাজ করে। একটি সিলিকন বাইরের রিং উপরের ইলেক্ট্রোড এবং অন্যান্য সম্পর্কিত উপাদান সমর্থন করে। উপরের এবং নীচের ইলেক্ট্রোডগুলি রক্তরসের সাথে সরাসরি যোগাযোগ করে। যেহেতু প্লাজমা সিলিকন ওয়েফারকে খোদাই করে, এটি উপরের এবং নীচের সিলিকন ইলেক্ট্রোডগুলিকেও দূর করে দেয়। নিচের ইলেক্ট্রোড (ফোকাসিং রিং) এচিং প্রক্রিয়ার সময় ধীরে ধীরে পাতলা হতে থাকে, যখন পুরুত্ব একটি নির্দিষ্ট স্তরে পৌঁছায় তখন প্রতিস্থাপনের প্রয়োজন হয়। অধিকন্তু, উপরের ইলেক্ট্রোডের (শাওয়ারহেড) সমানভাবে বিতরণ করা গর্তগুলি প্লাজমা দ্বারা ক্ষয়প্রাপ্ত হয়, যার ফলে গর্তের আকারে তারতম্য ঘটে। একবার এই বৈচিত্রগুলি একটি নির্দিষ্ট স্তরে পৌঁছে গেলে, তাদের প্রতিস্থাপন করা দরকার। সাধারণত, প্রতি 2-4 সপ্তাহ ব্যবহারের জন্য একটি প্রতিস্থাপন চক্র প্রয়োজন।

এই বিভাগটি বিশেষভাবে সিলিকন ফোকাসিং রিং (নিম্ন ইলেক্ট্রোড) এর ভূমিকা ব্যাখ্যা করে। এটি প্লাজমা শিথের পুরুত্ব নিয়ন্ত্রণ করে, যার ফলে আয়ন বোমা হামলার অভিন্নতাকে অনুকূল করে তোলে। প্লাজমা খাপ, রক্তরস এবং জাহাজের প্রাচীরের মধ্যে অ-নিরপেক্ষ অঞ্চল, রক্তরসের মধ্যে একটি গুরুত্বপূর্ণ এবং অনন্য অঞ্চল। প্লাজমা সমান সংখ্যক ধনাত্মক আয়ন এবং ইলেকট্রন নিয়ে গঠিত। কারণ ইলেকট্রনগুলি আয়নের চেয়ে দ্রুত ভ্রমণ করে, তারা প্রথমে জাহাজের প্রাচীরে পৌঁছায়। প্লাজমাটি জাহাজের প্রাচীরের তুলনায় ইতিবাচকভাবে চার্জ করা হয়। খাপ বৈদ্যুতিক ক্ষেত্র রক্তরসের মধ্যে আয়নকে ত্বরান্বিত করে (ইতিবাচক-নেতিবাচক আকর্ষণ), আয়নগুলিতে উচ্চ শক্তি সরবরাহ করে। এই উচ্চ-শক্তি আয়ন ফ্লাক্স আবরণ, এচিং এবং স্পুটারিং সক্ষম করে।

ওয়েফারের প্রতিবন্ধকতা প্লাজমা খাপের পুরুত্বকে প্রভাবিত করে (প্রতিবন্ধকতা যত কম হবে, খাপ তত ঘন হবে)। ওয়েফারের কেন্দ্রে প্রতিবন্ধকতা প্রান্তের থেকে ভিন্ন, যার ফলে প্রান্তে অসম প্লাজমা খাপের বেধ হয়। এই অসম প্লাজমা শীথ আয়নকে ত্বরান্বিত করে কিন্তু আয়ন বোমাবাজি বিন্দুকেও বিচ্যুত করে, এচিং নির্ভুলতা হ্রাস করে। তাই, প্লাজমা শীথের বেধ নিয়ন্ত্রণ করার জন্য একটি ফোকাসিং রিং প্রয়োজন, যার ফলে আয়ন বোমাবাজির দিকটি অপ্টিমাইজ করা যায় এবং এচিং নির্ভুলতা উন্নত করা যায়।

একটি উদাহরণ হিসাবে ওয়েফারের চারপাশে ফোকাস রিং নিলে, কোয়ার্টজ, তার উচ্চ বিশুদ্ধতা সহ, কম ধাতব দূষণ অর্জনের জন্য সর্বোত্তম, এটি ফ্লোরাইড গ্যাস প্লাজমাতে দ্রুত ক্ষয়প্রাপ্ত হয়, যার ফলে একটি সংক্ষিপ্ত আয়ু হয়। এটি শুধুমাত্র খরচ বাড়ায় না কিন্তু প্রতিস্থাপনের কারণে ডাউনটাইম প্রয়োজন, সরঞ্জামের আপটাইম হ্রাস করে। সিরামিক, যথেষ্ট দীর্ঘ জীবনকাল থাকার সময়, উচ্চ-শক্তি আয়ন বোমাবাজির সংস্পর্শে আসে। স্পাটারড অ্যালুমিনিয়াম প্লাজমাতে ফ্লোরিনের সাথে বিক্রিয়া করে অ-উদ্বায়ী ফ্লোরাইড তৈরি করে (যেমন অ্যালুমিনিয়াম ফ্লোরাইড)। যদি এইগুলি অপসারণ করা না যায় এবং ডিভাইসের পৃষ্ঠে বা ওয়েফার প্রান্তে ফটোরেসিস্টে জমা করা না যায়, তবে তারা উত্পন্ন ফ্লোরাইড এবং ফটোরেসিস্টকে পরবর্তী অপসারণে বাধা দেয়, যা পণ্যের ফলনকে প্রভাবিত করে। আরও উপযুক্ত উপকরণ হল একক-ক্রিস্টাল সিলিকন বা সিলিকন কার্বাইড। যাইহোক, একক-ক্রিস্টাল সিলিকন সস্তা কিন্তু একটি ছোট জীবনকাল আছে, যখন সিলিকন কার্বাইড আরও ব্যয়বহুল কিন্তু একটি সামান্য দীর্ঘ জীবনকাল আছে। এই দুটি বিকল্পের মধ্যে ট্রেড-অফ নির্দিষ্ট পরিস্থিতিতে নির্ভর করে। উদাহরণস্বরূপ, যদি সরঞ্জামের ব্যবহার বেশি হয় এবং আপটাইম গুরুত্বপূর্ণ হয়, তাহলে সিলিকন কার্বাইড ব্যবহার করা উচিত। যদি উপাদানটির পরিধান এবং টিয়ার খরচ খুব বেশি না হয়, তাহলে একক-ক্রিস্টাল সিলিকন ব্যবহার করা উচিত।

boron nitritসিলিকন অংশ. যদি আপনার কোন জিজ্ঞাসা থাকে বা অতিরিক্ত বিবরণ প্রয়োজন, আমাদের সাথে যোগাযোগ করতে দ্বিধা করবেন না দয়া করে.

যোগাযোগের ফোন # +86-13567891907

ইমেইল: sales@semicorex.com