2025-05-20
যথার্থ সিরামিকপার্টস হ'ল সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন যেমন ফোটোলিথোগ্রাফি, এচিং, পাতলা ফিল্ম ডিপোজিশন, আয়ন ইমপ্লান্টেশন, সিএমপি ইত্যাদি, যেমন বিয়ারিংস, গাইড রেল, লাইনার, ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক, যান্ত্রিক হ্যান্ডলিং অস্ত্র ইত্যাদি বিশেষত সরঞ্জামগুলির অভ্যন্তরে, তারা সমর্থন, সুরক্ষা এবং প্রোটোশনগুলির ফাংশন খেলায়।
উচ্চ-শেষ লিথোগ্রাফি মেশিনগুলিতে, উচ্চ প্রক্রিয়া যথার্থতা অর্জনের জন্য, ভাল কার্যকরী জটিলতা, কাঠামোগত স্থিতিশীলতা, তাপীয় স্থায়িত্ব এবং মাত্রিক নির্ভুলতা যেমন সিরামিক উপাদানগুলি ব্যাপকভাবে ব্যবহার করা প্রয়োজন, যেমনইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক, ভ্যাকুয়াম-চক, ব্লক, চৌম্বকীয় স্টিল কঙ্কাল জল কুলিং প্লেট, আয়না, গাইড রেল, ওয়ার্কপিস টেবিল, মাস্ক টেবিল ইত্যাদি etc.
ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক একটি বহুল ব্যবহৃত সিলিকন ওয়েফার ক্ল্যাম্পিং এবং সেমিকন্ডাক্টর উপাদান উত্পাদন ক্ষেত্রে স্থানান্তর সরঞ্জাম। এটি প্লাজমা এবং ভ্যাকুয়াম-ভিত্তিক অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়া যেমন এচিং, রাসায়নিক বাষ্প জবানবন্দি এবং আয়ন রোপনের ক্ষেত্রে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। প্রধান সিরামিক উপকরণ হ'ল অ্যালুমিনা সিরামিক এবং সিলিকন নাইট্রাইড সিরামিক। উত্পাদন অসুবিধাগুলি হ'ল জটিল কাঠামোগত নকশা, কাঁচামাল নির্বাচন এবং সিনটারিং, তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ এবং উচ্চ-নির্ভুলতা প্রক্রিয়াকরণ প্রযুক্তি।
2। মোবাইল প্ল্যাটফর্ম
লিথোগ্রাফি মেশিনের মোবাইল প্ল্যাটফর্মের উপাদান সিস্টেম ডিজাইনটি লিথোগ্রাফি মেশিনের উচ্চ নির্ভুলতা এবং উচ্চ গতির মূল চাবিকাঠি। স্ক্যানিং প্রক্রিয়া চলাকালীন উচ্চ-গতির চলাচলের কারণে মোবাইল প্ল্যাটফর্মের বিকৃতি কার্যকরভাবে প্রতিরোধ করার জন্য, প্ল্যাটফর্মের উপাদানগুলিতে উচ্চ নির্দিষ্ট দৃ ff ়তা সহ কম তাপীয় প্রসারণ উপকরণ অন্তর্ভুক্ত করা উচিত, অর্থাৎ, এই জাতীয় উপাদানের উচ্চ মডুলাস এবং কম ঘনত্বের প্রয়োজনীয়তা থাকা উচিত। তদতিরিক্ত, উপাদানগুলির একটি উচ্চ নির্দিষ্ট কঠোরতাও প্রয়োজন, যা উচ্চতর ত্বরণ এবং গতি সহ্য করার সময় পুরো প্ল্যাটফর্মটিকে একই বিকৃতি স্তর বজায় রাখতে সক্ষম করে। বিকৃতি বৃদ্ধি না করে উচ্চ গতিতে মুখোশগুলি স্যুইচ করে, থ্রুপুটটি বৃদ্ধি করা হয় এবং উচ্চ নির্ভুলতা নিশ্চিত করার সময় কাজের দক্ষতা উন্নত হয়।
পূর্বনির্ধারিত চিপ ফাংশনটি অর্জনের জন্য চিপ সার্কিট ডায়াগ্রামটি মুখোশ থেকে ওয়েফারে স্থানান্তর করার জন্য, এচিং প্রক্রিয়াটি একটি গুরুত্বপূর্ণ অংশ। এচিং সরঞ্জামগুলিতে সিরামিক উপকরণ দিয়ে তৈরি উপাদানগুলির মধ্যে মূলত চেম্বার, উইন্ডো মিরর, গ্যাস বিচ্ছুরণ প্লেট, অগ্রভাগ, ইনসুলেশন রিং, কভার প্লেট, ফোকাসিং রিং এবং ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক অন্তর্ভুক্ত।
3। চেম্বার
যেহেতু অর্ধপরিবাহী ডিভাইসগুলির সর্বনিম্ন বৈশিষ্ট্য আকার সঙ্কুচিত হতে থাকে, ওয়েফার ত্রুটিগুলির জন্য প্রয়োজনীয়তাগুলি আরও কঠোর হয়ে উঠেছে। ধাতব অমেধ্য এবং কণা দ্বারা দূষণ এড়ানোর জন্য, গহ্বরগুলিতে অর্ধপরিবাহী সরঞ্জাম গহ্বর এবং উপাদানগুলির উপকরণগুলির জন্য আরও কঠোর প্রয়োজনীয়তাগুলি সামনে রাখা হয়েছে। বর্তমানে, সিরামিক উপকরণগুলি মেশিন গহ্বরের জন্য প্রধান উপকরণ হয়ে উঠেছে।
উপাদান প্রয়োজনীয়তা (1) উচ্চ বিশুদ্ধতা এবং কম ধাতব অপরিষ্কার সামগ্রী; (২) প্রধান উপাদানগুলির স্থিতিশীল রাসায়নিক বৈশিষ্ট্য, বিশেষত হ্যালোজেন ক্ষয়কারী গ্যাসগুলির সাথে কম রাসায়নিক বিক্রিয়া হার; (3) উচ্চ ঘনত্ব এবং কয়েকটি খোলা ছিদ্র; (4) ছোট শস্য এবং কম শস্য সীমানা পর্বের সামগ্রী; (5) দুর্দান্ত যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্য এবং সহজ উত্পাদন এবং প্রক্রিয়াজাতকরণ; ()) কিছু উপাদানগুলির অন্যান্য পারফরম্যান্সের প্রয়োজনীয়তা থাকতে পারে যেমন ভাল ডাইলেট্রিক বৈশিষ্ট্য, বৈদ্যুতিক পরিবাহিতা বা তাপ পরিবাহিতা।
4. ঝরনা মাথা
এর পৃষ্ঠটি গর্তের মাধ্যমে কয়েকশো বা হাজার হাজার টিনি দিয়ে ঘন বিতরণ করা হয়, যেমন একটি সুনির্দিষ্টভাবে বোনা নিউরাল নেটওয়ার্ক, যা গ্যাস প্রবাহ এবং ইনজেকশন কোণকে সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রণ করতে পারে যাতে নিশ্চিত হয় যে প্রতিটি ইঞ্চি ওয়েফার প্রসেসিং প্রসেস গ্যাসে সমানভাবে "স্নান" করা হয়, উত্পাদন দক্ষতা এবং পণ্যের মানের উন্নতি করে।
প্রযুক্তিগত অসুবিধাগুলি পরিষ্কার -পরিচ্ছন্নতা এবং জারা প্রতিরোধের জন্য অত্যন্ত উচ্চ প্রয়োজনীয়তা ছাড়াও গ্যাস বিতরণ প্লেটের গ্যাস বিতরণ প্লেটের ছোট ছোট গর্তগুলির অ্যাপারচারের ধারাবাহিকতায় এবং ছোট গর্তগুলির অভ্যন্তরীণ প্রাচীরের বুর্সের ধারাবাহিকতার উপর কঠোর প্রয়োজনীয়তা রয়েছে। যদি অ্যাপারচার আকার সহনশীলতা এবং ধারাবাহিকতা স্ট্যান্ডার্ড বিচ্যুতি খুব বড় হয় বা কোনও অভ্যন্তরীণ প্রাচীরের উপর বুরস থাকে তবে জমা হওয়া ফিল্ম স্তরের বেধটি আলাদা হবে, যা সরঞ্জাম প্রক্রিয়া ফলনকে সরাসরি প্রভাবিত করবে।
5. ফোকাস রিং
ফোকাস রিংয়ের কাজটি হ'ল ভারসাম্যযুক্ত প্লাজমা সরবরাহ করা, যার জন্য সিলিকন ওয়েফারের অনুরূপ পরিবাহিতা প্রয়োজন। অতীতে, ব্যবহৃত উপাদানগুলি মূলত পরিবাহী সিলিকন ছিল, তবে ফ্লুরিনযুক্ত প্লাজমা সিলিকনের সাথে অস্থির সিলিকন ফ্লোরাইড উত্পন্ন করতে প্রতিক্রিয়া জানাবে, যা তার পরিষেবা জীবনকে ব্যাপকভাবে সংক্ষিপ্ত করে, ফলে ঘন ঘন উপাদানগুলির প্রতিস্থাপন এবং উত্পাদন দক্ষতা হ্রাস পায়। এসআইসির একক-স্ফটিক এসআইয়ের সাথে একই রকম পরিবাহিতা রয়েছে এবং প্লাজমা এচিংয়ের প্রতি আরও ভাল প্রতিরোধের রয়েছে, তাই এটি রিংগুলিকে ফোকাস করার জন্য উপাদান হিসাবে ব্যবহার করা যেতে পারে।
সেমিকোরেক্স উচ্চমানের প্রস্তাব দেয়সিরামিক অংশঅর্ধপরিবাহী শিল্পে। আপনার যদি কোনও অনুসন্ধান থাকে বা অতিরিক্ত বিশদ প্রয়োজন হয় তবে দয়া করে আমাদের সাথে যোগাযোগ করতে দ্বিধা করবেন না।
যোগাযোগ ফোন # +86-13567891907
ইমেল: বিক্রয়@sememorex.com