অর্ধপরিবাহী শাওয়ারহেডস

দ্যগ্যাস বিতরণ প্লেট, প্রায়শই একটি "শাওয়ারহেড" হিসাবে পরিচিত, এটি একটি প্রচলিত শাওয়ারহেডের সাথে সাদৃশ্যপূর্ণ হতে পারে তবে এর দাম কয়েক হাজারে পৌঁছতে পারে, একটি সাধারণ বাথরুমের ঝরনার তুলনায় উল্লেখযোগ্যভাবে বেশি।

গ্যাস বিতরণ প্লেটের পৃষ্ঠে কয়েকশো বা এমনকি হাজার হাজার ক্ষুদ্র, সুনির্দিষ্টভাবে সাজানো গর্ত রয়েছে, যা সূক্ষ্ম বোনা নিউরাল নেটওয়ার্কের অনুরূপ। এই নকশাটি গ্যাস প্রবাহ এবং ইনজেকশন কোণগুলির সঠিক নিয়ন্ত্রণের অনুমতি দেয়, এটি নিশ্চিত করে যে ওয়েফার প্রসেসিং অঞ্চলের প্রতিটি অংশ প্রক্রিয়া গ্যাসে সমানভাবে "স্নান" হয়। এটি কেবল উত্পাদন দক্ষতা বাড়ায় না তবে পণ্যের মানও উন্নত করে।

গ্যাস বিতরণ প্লেট পরিষ্কার, এচিং এবং জমা দেওয়ার মতো মূল প্রক্রিয়াগুলির সাথে অবিচ্ছেদ্য। এটি সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াগুলির যথার্থতা এবং চূড়ান্ত পণ্যগুলির গুণমানকে সরাসরি প্রভাবিত করে, এটি বিভিন্ন গ্যাস বিতরণ অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে এটি একটি গুরুত্বপূর্ণ উপাদান হিসাবে তৈরি করে।

ওয়েফার প্রতিক্রিয়া প্রক্রিয়া চলাকালীন, পৃষ্ঠতলশাওয়ারহেডমাইক্রোপোরস (অ্যাপারচার 0.2-6 মিমি) দিয়ে ঘনভাবে আচ্ছাদিত। সুনির্দিষ্টভাবে ডিজাইন করা চ্যানেল কাঠামো এবং গ্যাসের পথের মাধ্যমে, বিশেষ প্রক্রিয়া গ্যাসকে ইউনিফর্ম গ্যাস প্লেটের হাজার হাজার ছোট গর্তের মধ্য দিয়ে যেতে হবে এবং তারপরে ওয়েফার পৃষ্ঠে সমানভাবে জমা করা উচিত। ওয়েফারের বিভিন্ন অঞ্চলে ফিল্ম স্তরটির উচ্চ অভিন্নতা এবং ধারাবাহিকতা নিশ্চিত করা দরকার। অতএব, পরিষ্কার -পরিচ্ছন্নতা এবং জারা প্রতিরোধের জন্য অত্যন্ত উচ্চ প্রয়োজনীয়তা ছাড়াও, গ্যাস বিতরণ প্লেটের গ্যাস বিতরণ প্লেটের ছোট গর্তগুলির অ্যাপারচারের ধারাবাহিকতার উপর এবং ছোট গর্তগুলির অভ্যন্তরীণ প্রাচীরের বুর্সের ধারাবাহিকতার উপর কঠোর প্রয়োজনীয়তা রয়েছে। যদি অ্যাপারচার আকার সহনশীলতা এবং ধারাবাহিকতা স্ট্যান্ডার্ড বিচ্যুতি খুব বড় হয় বা কোনও অভ্যন্তরীণ প্রাচীরের উপর বুরস থাকে তবে জমা হওয়া ফিল্ম স্তরের বেধটি আলাদা হবে, যা সরঞ্জামগুলির প্রক্রিয়া ফলনকে সরাসরি প্রভাবিত করবে।

গ্যাস বিতরণ প্লেটের উপাদানগুলি কখনও কখনও ভঙ্গুর উপাদান (যেমন একক স্ফটিক সিলিকন, কোয়ার্টজ গ্লাস, সিরামিক), যা বাহ্যিক শক্তির ক্রিয়াকলাপের অধীনে ভাঙ্গা সহজ। এটি মাইক্রোপোরের ব্যাসের 50 বারের মধ্যে একটি অতি-গভীর গর্তও এবং কাটিয়া পরিস্থিতি সরাসরি পর্যবেক্ষণ করা যায় না। তদ্ব্যতীত, কাটিয়া তাপটি সংক্রমণ করা সহজ নয় এবং চিপ অপসারণ কঠিন এবং চিপ ব্লকের কারণে ড্রিল বিটটি সহজেই ভেঙে যায়। অতএব, এর প্রক্রিয়াজাতকরণ এবং প্রস্তুতি খুব কঠিন।

এছাড়াও, প্লাজমা-সহায়তায় প্রক্রিয়াগুলিতে (যেমন পিইসিভিডি এবং শুকনো এচিং), শাওয়ার হেড, ইলেক্ট্রোডের অংশ হিসাবে, প্লাজমার অভিন্ন বন্টন প্রচারের জন্য একটি আরএফ বিদ্যুৎ সরবরাহের মাধ্যমে একটি অভিন্ন বৈদ্যুতিক ক্ষেত্র তৈরি করতে হবে, যার ফলে এচিং বা জমা দেওয়ার অভিন্নতার উন্নতি করা উচিত।

যেহেতু অর্ধপরিবাহী উত্পাদন প্রক্রিয়াতে ব্যবহৃত গ্যাসগুলি উচ্চ তাপমাত্রা, উচ্চ চাপ বা ক্ষয়কারী হতে পারে, তাই ঝরনাটি সাধারণত জারা-প্রতিরোধী উপকরণ দিয়ে তৈরি হয়। প্রকৃত উত্পাদনে, বিভিন্ন ব্যবহারের পরিস্থিতি এবং প্রকৃত প্রয়োজনীয় নির্ভুলতার কারণে, গ্যাস বিতরণ প্লেটটি এর উপাদান রচনা অনুসারে নিম্নলিখিত দুটি বিভাগে বিভক্ত করা যেতে পারে:

(1) ধাতব গ্যাস বিতরণ প্লেট

ধাতব গ্যাস বিতরণ প্লেটের উপকরণগুলির মধ্যে রয়েছে অ্যালুমিনিয়াম অ্যালো, স্টেইনলেস স্টিল এবং নিকেল ধাতু, যার মধ্যে সর্বাধিক ব্যবহৃত ধাতব গ্যাস বিতরণ প্লেট উপাদান অ্যালুমিনিয়াম খাদ, কারণ এটিতে ভাল তাপ পরিবাহিতা এবং শক্তিশালী জারা প্রতিরোধের রয়েছে। এটি ব্যাপকভাবে উপলব্ধ এবং প্রক্রিয়া করা সহজ।

(২) নন-ধাতব গ্যাস বিতরণ প্লেট

নন-ধাতব গ্যাস বিতরণ প্লেটের উপকরণগুলির মধ্যে রয়েছে একক স্ফটিক সিলিকন, কোয়ার্টজ গ্লাস এবং সিরামিক উপকরণ। এর মধ্যে সাধারণত ব্যবহৃত সিরামিক উপকরণগুলি হ'ল সিভিডি-সিস, অ্যালুমিনা সিরামিকস, সিলিকন নাইট্রাইড সিরামিকস ইত্যাদি।

সেমিকোরেক্স উচ্চমানের প্রস্তাব দেয়সিভিডি এসআইসি শাওয়ারহেডসঅর্ধপরিবাহী শিল্পে। আপনার যদি কোনও অনুসন্ধান থাকে বা অতিরিক্ত বিশদ প্রয়োজন হয় তবে দয়া করে আমাদের সাথে যোগাযোগ করতে দ্বিধা করবেন না।

যোগাযোগ ফোন # +86-13567891907

ইমেল: বিক্রয়@sememorex.com