2025-01-02
কিভাবে করেআয়ন ইমপ্লান্টationকাজ?
সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনে, আয়ন ইমপ্লান্টেশনের মধ্যে আর্সেনিক বা বোরনের মতো নির্দিষ্ট অপরিষ্কার পরমাণুগুলিকে ইনজেক্ট করার জন্য উচ্চ-শক্তি ত্বরণকারী ব্যবহার করা জড়িত।সিলিকন স্তর. সিলিকন, পর্যায় সারণীতে 14 তম স্থানে অবস্থান করে, প্রতিবেশী পরমাণুর সাথে এর চারটি বাইরের ইলেকট্রন ভাগ করে সমযোজী বন্ধন গঠন করে। এই প্রক্রিয়াটি সিলিকনের বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্যগুলিকে পরিবর্তন করে, ট্রানজিস্টর থ্রেশহোল্ড ভোল্টেজগুলি সামঞ্জস্য করে এবং উত্স এবং ড্রেন কাঠামো গঠন করে।
একজন পদার্থবিজ্ঞানী একবার সিলিকন জালিতে বিভিন্ন পরমাণুর প্রবর্তনের প্রভাব নিয়ে চিন্তা করেছিলেন। আর্সেনিক যোগ করে, যার মধ্যে পাঁচটি বাইরের ইলেকট্রন রয়েছে, একটি ইলেকট্রন মুক্ত থাকে, সিলিকনের পরিবাহিতা বাড়ায় এবং এটিকে এন-টাইপ সেমিকন্ডাক্টরে রূপান্তরিত করে। বিপরীতভাবে, বোরন প্রবর্তন, মাত্র তিনটি বাইরের ইলেকট্রন সহ, একটি ধনাত্মক গর্ত তৈরি করে, যার ফলে একটি পি-টাইপ অর্ধপরিবাহী হয়। সিলিকন জালিতে বিভিন্ন উপাদান একত্রিত করার এই পদ্ধতিটি আয়ন ইমপ্লান্টেশন নামে পরিচিত।
এর উপাদানগুলো কিআয়ন ইমপ্লান্টেশনযন্ত্রপাতি?
আয়ন ইমপ্লান্টেশন ইকুইপমেন্টে কয়েকটি মূল উপাদান থাকে: একটি আয়ন উৎস, একটি বৈদ্যুতিক ত্বরণ সিস্টেম, একটি ভ্যাকুয়াম সিস্টেম, একটি বিশ্লেষণ চুম্বক, একটি মরীচি পথ, একটি পোস্ট-এক্সিলারেশন সিস্টেম এবং একটি ইমপ্লান্টেশন চেম্বার। আয়ন উত্সটি অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ, কারণ এটি ইতিবাচক আয়ন তৈরি করতে পরমাণু থেকে ইলেকট্রনগুলিকে ছিনিয়ে নেয়, যা একটি আয়ন মরীচি গঠনের জন্য বের করা হয়।
এই মরীচিটি একটি ভর বিশ্লেষণ মডিউলের মধ্য দিয়ে যায়, অর্ধপরিবাহী পরিবর্তনের জন্য পছন্দসই আয়নগুলিকে বেছে বেছে আলাদা করে। ভর বিশ্লেষণের পর, উচ্চ-বিশুদ্ধতা আয়ন রশ্মিকে ফোকাস করা হয় এবং আকৃতি দেওয়া হয়, প্রয়োজনীয় শক্তিতে ত্বরান্বিত করা হয় এবং একইভাবে স্ক্যান করা হয়সেমিকন্ডাক্টর সাবস্ট্রেট. উচ্চ-শক্তি আয়নগুলি উপাদানের মধ্যে প্রবেশ করে, জালিতে এম্বেড করে, যা কিছু নির্দিষ্ট অ্যাপ্লিকেশনের জন্য উপকারী ত্রুটি তৈরি করতে পারে, যেমন চিপস এবং ইন্টিগ্রেটেড সার্কিটগুলিতে অঞ্চলগুলিকে বিচ্ছিন্ন করা। অন্যান্য অ্যাপ্লিকেশানগুলির জন্য, অ্যানিলিং চক্রগুলি ক্ষতি মেরামত করতে এবং ডপান্ট সক্রিয় করতে ব্যবহৃত হয়, উপাদান পরিবাহিতা বৃদ্ধি করে।
আয়ন ইমপ্লান্টেশনের নীতিগুলি কী কী?
আয়ন ইমপ্লান্টেশন হল সেমিকন্ডাক্টরে ডোপেন্ট প্রবর্তনের একটি কৌশল, যা ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট ফ্যাব্রিকেশনে গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে। প্রক্রিয়া জড়িত:
আয়ন পরিশোধন: উৎস থেকে উৎপন্ন আয়ন, বিভিন্ন ইলেকট্রন এবং প্রোটন সংখ্যা বহন করে, একটি ধনাত্মক/নেতিবাচক আয়ন রশ্মি গঠনের জন্য ত্বরান্বিত হয়। কাঙ্ক্ষিত আয়ন বিশুদ্ধতা অর্জনের জন্য চার্জ-থেকে-ভর অনুপাতের উপর ভিত্তি করে অমেধ্য ফিল্টার করা হয়।
আয়ন ইনজেকশন: ত্বরিত আয়ন রশ্মি লক্ষ্য স্ফটিক পৃষ্ঠের একটি নির্দিষ্ট কোণে নির্দেশিত হয়, সমানভাবে বিকিরণ করেওয়েফার. পৃষ্ঠ ভেদ করার পরে, আয়নগুলি সংঘর্ষের মধ্য দিয়ে যায় এবং জালির মধ্যে ছড়িয়ে পড়ে, অবশেষে একটি নির্দিষ্ট গভীরতায় বসতি স্থাপন করে, উপাদানের বৈশিষ্ট্যগুলিকে পরিবর্তন করে। ভৌত বা রাসায়নিক মুখোশ ব্যবহার করে প্যাটার্নযুক্ত ডোপিং অর্জন করা যেতে পারে, নির্দিষ্ট সার্কিট এলাকার সুনির্দিষ্ট বৈদ্যুতিক পরিবর্তনের অনুমতি দেয়।
ডোপান্টের প্রত্যাশিত গভীরতা বন্টন মরীচির শক্তি, কোণ এবং ওয়েফারের উপাদান বৈশিষ্ট্য দ্বারা নির্ধারিত হয়।
এর সুবিধা এবং সীমাবদ্ধতা কিআয়ন ইমপ্লান্টেশন?
সুবিধা:
ডোপ্যান্টের বিস্তৃত পরিসর: সুনির্দিষ্ট আয়ন নির্বাচন দ্বারা উচ্চ বিশুদ্ধতা নিশ্চিত করে পর্যায় সারণীর প্রায় সমস্ত উপাদান ব্যবহার করা যেতে পারে।
সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণ: আয়ন রশ্মির শক্তি এবং কোণ সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রিত হতে পারে, যাতে ডোপ্যান্টের সুনির্দিষ্ট গভীরতা এবং ঘনত্ব বন্টন করা যায়।
নমনীয়তা: আয়ন ইমপ্লান্টেশন ওয়েফারের দ্রবণীয়তার সীমা দ্বারা সীমাবদ্ধ নয়, অন্যান্য পদ্ধতির তুলনায় উচ্চ ঘনত্বের অনুমতি দেয়।
ইউনিফর্ম ডোপিং: বড়-এরিয়া ইউনিফর্ম ডোপিং অর্জনযোগ্য।
তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ: ইমপ্লান্টেশনের সময় ওয়েফারের তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা যেতে পারে।
সীমাবদ্ধতা:
অগভীর গভীরতা: সাধারণত পৃষ্ঠ থেকে প্রায় এক মাইক্রনের মধ্যে সীমাবদ্ধ।
খুব অগভীর ইমপ্লান্টেশনে অসুবিধা: কম শক্তির রশ্মি নিয়ন্ত্রণ করা কঠিন, প্রক্রিয়ার সময় এবং খরচ বৃদ্ধি পায়।
জালির ক্ষতি: আয়নগুলি জালির ক্ষতি করতে পারে, ডোপ্যান্টগুলি মেরামত এবং সক্রিয় করার জন্য ইমপ্লান্টেশন-পরবর্তী অ্যানিলিং প্রয়োজন।
উচ্চ খরচ: সরঞ্জাম এবং প্রক্রিয়া খরচ উল্লেখযোগ্য।
সেমিকোরেক্স-এ আমরা বিশেষজ্ঞমালিকানাধীন CVD আবরণ সহ গ্রাফাইট/সিরামিকসআয়ন ইমপ্লান্টনের সমাধান, যদি আপনার কোন জিজ্ঞাসা থাকে বা অতিরিক্ত বিবরণের প্রয়োজন হয়, অনুগ্রহ করে আমাদের সাথে যোগাযোগ করতে দ্বিধা করবেন না।
যোগাযোগের ফোন: +86-13567891907
ইমেইল: sales@semicorex.com