ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চাকের গঠন (ESC)

আইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক (ESC)এচিং, ডিপোজিশন বা পলিশিংয়ের মতো প্রক্রিয়া চলাকালীন সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারগুলিকে জায়গায় রাখতে ব্যবহৃত একটি ডিভাইস। এটি চাকের পৃষ্ঠে ওয়েফারকে আকর্ষণ এবং নিরাপদে ধরে রাখতে একটি ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক ক্ষেত্র তৈরি করে কাজ করে, ওয়েফার পরিচালনার সময় স্থিতিশীলতা এবং সুনির্দিষ্ট প্রান্তিককরণ প্রদান করে। প্রক্রিয়া নির্ভুলতা এবং ওয়েফার হ্যান্ডলিং দক্ষতা উন্নত করতে ইএসসিগুলি সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।

একটি প্রচলিত বাস্তব চিত্রইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক (ESC)চিত্রে চিত্রিত করা হয়েছে। মডেলগুলির মধ্যে প্রাথমিক পার্থক্যটি ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চাকের পৃষ্ঠের অন্তরক স্তর উপাদানের মধ্যে রয়েছে। চিত্রে, গাঢ় রঙ অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইডের প্রতিনিধিত্ব করে, যখন সাদা রঙ অ্যালুমিনিয়াম অক্সাইডের প্রতিনিধিত্ব করে। এর গঠনইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চকবিভিন্ন অংশ নিয়ে গঠিত:

1. **অন্তরক স্তর**: এই স্তরটি ওয়েফারের সংস্পর্শে থাকে, সাধারণত অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড বা অ্যালুমিনিয়াম অক্সাইড সিরামিক থেকে তৈরি হয় তাদের চমৎকার যান্ত্রিক শক্তি, উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধের, এবং ভাল তাপ পরিবাহিতা।

2. **ইজেক্টর পিন এবং হি গ্যাস হোল**: ইজেক্টর পিনটি ওয়েফার স্থানান্তর করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। যখন ওয়েফারটি এচিং চেম্বারে প্রবেশ করে, তখন ইজেক্টর পিনটি এটিকে সমর্থন করার জন্য উঠে আসে এবং তারপরে এটি ওয়েফারটিকে ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চাকের পৃষ্ঠে স্থাপন করার জন্য নিচে নেমে আসে। ইজেক্টর পিনের সাধারণত একটি ফাঁপা কাঠামো থাকে, যা ওয়েফারকে ঠান্ডা করতে সাহায্য করার জন্য হিলিয়াম গ্যাস চালু করতে দেয়।

3. **ব্যাক হি ফ্লো চ্যানেল**: এই উপাদানটি তাপ অপচয় বাড়ায় এবং ওয়েফারের শোষণকে সহজ করে।

4. **ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক ইলেকট্রোড**: এই ইলেক্ট্রোডটি একটি বৈদ্যুতিক ক্ষেত্র তৈরি করে যা ওয়েফারটিকে জায়গায় রাখার জন্য প্রয়োজনীয় ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক বল তৈরি করে। সাধারণত, ইলেক্ট্রোডটি প্ল্যানার হয় এবং হয় ভিতরে এম্বেড করা হয় বা অন্তরক উপাদানের উপর জমা করা হয়। সাধারণত ব্যবহৃত পরিবাহী উপকরণগুলির মধ্যে অ্যালুমিনিয়াম, তামা এবং টংস্টেন অন্তর্ভুক্ত।

5. **কুলিং ওয়াটার এবং হিটিং ইলেকট্রোড সঞ্চালন**: এই উপাদানগুলি প্রাথমিকভাবে ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চাকের সামগ্রিক তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের জন্য দায়ী। ওয়েফারের জন্য একটি স্থিতিশীল তাপমাত্রা বজায় রাখতে হিটিং ইলেক্ট্রোড এবং সঞ্চালিত শীতল জল একসাথে কাজ করে। শুধুমাত্র সঞ্চালিত শীতল জলের উপর নির্ভর করলে এচিং প্রক্রিয়া চলাকালীন উত্পন্ন তাপ পরিচালনা করতে অক্ষমতা হতে পারে, সম্ভাব্যভাবে প্রক্রিয়াটির স্থিতিশীলতার সাথে আপস করতে পারে।  

সেমিকোরেক্স উচ্চ মানের অফার করেইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক (ESC). আপনার যদি কোন জিজ্ঞাসা থাকে বা অতিরিক্ত বিবরণ প্রয়োজন, আমাদের সাথে যোগাযোগ করতে দ্বিধা করবেন না দয়া করে.

যোগাযোগের ফোন # +86-13567891907

ইমেইল: sales@semicorex.com