গ্রাফাইট এপিটাক্সি এবং ওয়েফার হ্যান্ডলিং প্রক্রিয়ার জন্য নিখুঁত, সেমিকোরেক্স আল্ট্রা-পিওর মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন এপিটাক্সিয়াল সাসেপ্টর ন্যূনতম দূষণ নিশ্চিত করে এবং ব্যতিক্রমীভাবে দীর্ঘ জীবন কর্মক্ষমতা প্রদান করে। আমাদের পণ্যগুলির একটি ভাল মূল্য সুবিধা রয়েছে এবং ইউরোপীয় এবং আমেরিকান বাজারের অনেকগুলিকে কভার করে৷ আমরা চীনে আপনার দীর্ঘমেয়াদী অংশীদার হওয়ার জন্য উন্মুখ।
Semicorex Monocrystalline Silicon Epitaxial Susceptor হল একটি গ্রাফাইট পণ্য যা উচ্চ বিশুদ্ধ SiC দিয়ে লেপা, যার উচ্চ তাপ এবং জারা প্রতিরোধ ক্ষমতা রয়েছে। সিভিডি সিলিকন কার্বাইড প্রলিপ্ত ক্যারিয়ার সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারগুলিতে এপিটাক্সিয়াল স্তর গঠন করে এমন প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহৃত হয়, যার উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং চমৎকার তাপ বিতরণ বৈশিষ্ট্য রয়েছে।
আমাদের মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন এপিট্যাক্সিয়াল সাসেপ্টর সর্বোত্তম ল্যামিনার গ্যাস প্রবাহ প্যাটার্ন অর্জনের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, তাপীয় প্রোফাইলের সমানতা নিশ্চিত করে। এটি ওয়েফার চিপে উচ্চ-মানের এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধি নিশ্চিত করে কোনো দূষণ বা অমেধ্য বিস্তার প্রতিরোধ করতে সাহায্য করে।
আমাদের মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন এপিটাক্সিয়াল সাসেপ্টর সম্পর্কে আরও জানতে আজই আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন।
মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন এপিটাক্সিয়াল সাসেপ্টরের পরামিতি
CVD-SIC আবরণ প্রধান স্পেসিফিকেশন |
||
SiC-CVD বৈশিষ্ট্য |
||
ক্রিস্টাল স্ট্রাকচার |
FCC β ফেজ |
|
ঘনত্ব |
g/cm ³ |
3.21 |
কঠোরতা |
ভিকারস কঠোরতা |
2500 |
শস্য আকার |
μm |
2~10 |
রাসায়নিক বিশুদ্ধতা |
% |
99.99995 |
তাপ ক্ষমতা |
J kg-1 K-1 |
640 |
পরমানন্দ তাপমাত্রা |
℃ |
2700 |
ফেলেক্সুরাল স্ট্রেন্থ |
MPa (RT 4-পয়েন্ট) |
415 |
তরুণের মডুলাস |
Gpa (4pt বাঁক, 1300℃) |
430 |
তাপীয় সম্প্রসারণ (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
তাপ পরিবাহিতা |
(W/mK) |
300 |
মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন এপিটাক্সিয়াল সাসেপ্টরের বৈশিষ্ট্য
- গ্রাফাইট সাবস্ট্রেট এবং সিলিকন কার্বাইড উভয় স্তরেরই ভাল ঘনত্ব রয়েছে এবং উচ্চ তাপমাত্রা এবং ক্ষয়কারী কাজের পরিবেশে একটি ভাল প্রতিরক্ষামূলক ভূমিকা পালন করতে পারে।
- একক স্ফটিক বৃদ্ধির জন্য ব্যবহৃত সিলিকন কার্বাইড প্রলিপ্ত সাসেপ্টরের পৃষ্ঠের সমতলতা খুব বেশি।
- গ্রাফাইট সাবস্ট্রেট এবং সিলিকন কার্বাইড স্তরের মধ্যে তাপীয় সম্প্রসারণ সহগের পার্থক্য হ্রাস করুন, ক্র্যাকিং এবং ডিলামিনেশন রোধ করতে কার্যকরভাবে বন্ধন শক্তি উন্নত করুন।
- গ্রাফাইট সাবস্ট্রেট এবং সিলিকন কার্বাইড উভয় স্তরেরই উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং চমৎকার তাপ বিতরণের বৈশিষ্ট্য রয়েছে।
- উচ্চ গলনাঙ্ক, উচ্চ তাপমাত্রা অক্সিডেশন প্রতিরোধের, জারা প্রতিরোধের।