অনুভূমিক চেম্বারের চুল্লি সিক বোট

সেমিকোরেক্স অনুভূমিক চেম্বারের চুল্লি এসআইসি নৌকাগুলি একটি উচ্চ ইঞ্জিনিয়ারড অংশ যা একটি অনুভূমিক চেম্বারের চুল্লীতে উচ্চ-তাপমাত্রার তাপ প্রক্রিয়াকরণের শিকার হয় এমন সময় ওয়েফার বা স্তরগুলি ধরে রাখে এবং বহন করে। ওয়েফার বোটটি উচ্চ-বিশুদ্ধতা সিক বন্ডেড দিয়ে তৈরি সিলিকন কার্বাইড (sic), যা শক্তি, তাপ স্থিতিশীলতা এবং উচ্চ রাসায়নিক প্রতিরোধের অনন্য সংমিশ্রণ সরবরাহ করে যা অর্ধপরিবাহী, ফটোভোলটাইক এবং উন্নত সিরামিক প্রক্রিয়াগুলিতে দাবি করা হয়। ওয়েফার বোটটি ওয়েফারগুলিকে অবস্থান ধরে রাখার জন্য একটি অনমনীয় কাঠামো হিসাবেও কাজ করে, মাত্রিক স্থিতিশীলতা এবং ওয়েফারগুলির যথার্থতা চরম প্রক্রিয়া তাপমাত্রার বর্ধিত এক্সপোজার দ্বারা হারিয়ে যাবে না।

সিলিকন কার্বাইডের উচ্চতর বৈশিষ্ট্যগুলি কোয়ার্টজ বা অ্যালুমিনার মতো ওয়েফার নৌকাগুলির সাধারণ উপকরণগুলির তুলনায় অনুভূমিক চেম্বারের চুল্লি সিক নৌকাগুলিকে একটি উচ্চতর পারফরম্যান্স সুবিধা সরবরাহ করে। তাপীয় চক্রের গতি বা শীতলকরণ বা চূড়ান্ততা নির্বিশেষে তাদের উচ্চ গলনাঙ্ক, তাপীয় শক প্রতিরোধের এবং যান্ত্রিক শক্তির কারণে তারা স্বল্প-মেয়াদী গরম এবং শীতল চক্রের বিরোধকে আরও ভালভাবে প্রতিরোধ করতে পারে। যেহেতু একটি অনুভূমিক চুল্লি পুরোপুরি ওয়েফারগুলির অবস্থানগুলির ধারাবাহিকতা এবং প্রক্রিয়া শর্তগুলির এক্সপোজারের উপর পুরোপুরি নির্ভর করে, তাই ওয়েফারগুলির যথাযথ প্রান্তিককরণ ধারাবাহিক প্রক্রিয়া ফলন এবং পুনরাবৃত্তিযোগ্যতার জন্য সরবরাহ করে। তাপীয় প্রসারণের স্বল্প সহগের অর্থ নৌকাটি তার জীবনকে বিকৃত করবে না এবং ওয়েফারগুলির ধরে রাখা আকৃতি এবং ব্যবধান সরবরাহ করবে না।

পুনরায় ইনস্টল করা এসআইসির সূক্ষ্ম দানযুক্ত, ঘন কাঠামো প্রক্রিয়া গ্যাস এবং উপজাতগুলি দ্বারা জারণ, জারা এবং দূষণের জন্য অসাধারণ প্রতিরোধের সরবরাহ করে। এটি নৌকাটিকে আক্রমণাত্মক বায়ুমণ্ডলে যেমন প্রসারণ, জারণ, এলপিসিভিডি এবং অ্যানিলিংয়ের প্রক্রিয়াগুলির জন্য বিশেষত সুবিধাজনক করে তোলে। এসআইসির উচ্চ রাসায়নিক জড়তা ওয়েফার পৃষ্ঠগুলির সাথে প্রতিক্রিয়াগুলি এড়ায়, এইভাবে পণ্য বিশুদ্ধতা সংরক্ষণ করে এবং চুল্লীতে পার্টিকুলেট প্রজন্মকে হ্রাস করে। এসআইসি নৌকাগুলি এমন নির্মাতাদের সহায়তা করতে পারে যাদের কঠোর পরিচ্ছন্নতার চাহিদা মেটাতে হবে, ক্লিনার প্রসেসিং পরিবেশ সরবরাহ এবং উন্নত ওয়েফার মানের সরবরাহ করা দরকার।

এই নৌকাগুলি বিভিন্ন জটিল জ্যামিতি এবং অংশ-নির্দিষ্ট মাত্রা সহ যথার্থ মেশিনিং এবং গঠনের কৌশলগুলির সাথে উত্পাদিত হতে পারে। ডিজাইনগুলি সাধারণত একটি অনুভূমিক ওরিয়েন্টেশনে ওয়েফারগুলি ধরে রাখতে একাধিক সমান্তরাল স্লট/খাঁজ ব্যবহার করে এবং পুরো ওয়েফার পৃষ্ঠটিকে তাপীয় পরিস্থিতিতে সমানভাবে প্রকাশ করে। স্লট-টু-স্লট স্পেসিং এবং কোণগুলি অন্যান্য ব্যাসের ওয়েফারগুলির সাথে ফিট করার জন্যও অনুকূলিত হতে পারে, যেমন 150 মিমি, 200 মিমি বা 300 মিমি, এবং প্রক্রিয়াজাতকরণের সময় প্রসেসিংয়ের জন্য তাপমাত্রার অভিন্নতা অর্জনের সময় সরাসরি বায়ু প্রবাহ।

অনুভূমিক চেম্বারের চুল্লি এসআইসি নৌকাগুলি কেবল স্ট্যান্ডার্ড প্রস্থানগুলিতে ডিজাইন করা যায় না, তবে এগুলি স্বয়ংক্রিয় ওয়েফার লোডারগুলির সাথে কাজ করার জন্য ডিজাইন করা যেতে পারে, যার ফলে আধুনিক উচ্চ-থ্রুপুট উত্পাদন লাইনে একটি বিরামবিহীন সংহতকরণ ঘটে। শক্তিশালী নকশাটি হ্যান্ডলিংয়ের সময় নৌকাগুলি চিপ বা ভাঙ্গার সম্ভাবনা কম করে দেবে এবং ডাউনটাইম এবং প্রতিস্থাপনের জন্য ব্যয় হ্রাস করবে।

এর তাপীয় পরিবাহিতাসিলিকন কার্বাইডওয়েফার এবং চুল্লি পরিবেশের মধ্যে দক্ষ তাপ স্থানান্তরকে সহজতর করে এমন আরও একটি মূল সুবিধা উপস্থাপন করে। সুবিধাটি হ'ল নির্মাতারা আরও অভিন্ন প্রক্রিয়াজাতকরণ শর্তগুলি অর্জন করতে এবং চক্রের সময়গুলি সংক্ষিপ্ত করতে সক্ষম হয়, যা উত্পাদন দক্ষতা বাড়িয়ে তুলতে পারে। এসআইসি নৌকাগুলি সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার বানোয়াট, সৌর কোষ উত্পাদন, বা উন্নত তাপমাত্রায় অন্যান্য উন্নত উপকরণ প্রক্রিয়াকরণের জন্য ব্যবহৃত হয় কিনা তা সামঞ্জস্যপূর্ণ এবং পুনরাবৃত্তিযোগ্য ফলাফল সরবরাহ করে।

সংক্ষেপে, অনুভূমিক চেম্বারের চুল্লি এসআইসি নৌকাগুলি একটি উচ্চ-কর্মক্ষমতা, দীর্ঘস্থায়ী এবং দূষণ-প্রতিরোধী ওয়েফার ক্যারিয়ার সহ ওয়েফার উত্পাদন করতে চাইছে এমন নির্মাতাদের জন্য একটি মূল উপাদান। এটিতে একটি যান্ত্রিক শক্তি, তাপ স্থায়িত্ব এবং রাসায়নিক জড়তা রয়েছে যা অনুভূমিক চুল্লি অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে অসম। সিলিকন কার্বাইড নৌকাগুলি বেছে নিয়ে অপারেটররা আরও ভাল প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ, উচ্চ ফলন এবং রক্ষণাবেক্ষণের কারণে অপারেশনাল বাধাগুলি হ্রাস করতে পারে। সামগ্রিকভাবে এটি আরও দক্ষ, ব্যয়বহুল কার্যকর উত্পাদন সরবরাহ করে।