সেমিকোরেক্স চীনে সিলিকন কার্বাইড প্রলিপ্ত গ্রাফাইট সাসেপ্টরের একটি বড় মাপের প্রস্তুতকারক এবং সরবরাহকারী। আমরা সেমিকন্ডাক্টর ইন্ডাস্ট্রিতে ফোকাস করি যেমন সিলিকন কার্বাইড লেয়ার এবং এপিটাক্সি সেমিকন্ডাক্টর। সেমিকন্ডাক্টর ইকুইপমেন্টের জন্য আমাদের গ্যাস ইনলেট রিং এর দামের একটি ভাল সুবিধা রয়েছে এবং এটি ইউরোপ ও আমেরিকার অনেক বাজারকে কভার করে। আমরা চীনে আপনার দীর্ঘমেয়াদী অংশীদার হওয়ার জন্য উন্মুখ।
সেমিকন্ডাক্টর ইকুইপমেন্টের জন্য সেমিকোরেক্স গ্যাস ইনলেট রিং হল SiC প্রলিপ্ত, যা একটি ঘন, পরিধান-প্রতিরোধী সিলিকন কার্বাইড (SiC) আবরণ। এটিতে উচ্চ জারা এবং তাপ প্রতিরোধের বৈশিষ্ট্যের পাশাপাশি চমৎকার তাপ পরিবাহিতা রয়েছে। আমরা রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD) প্রক্রিয়া ব্যবহার করে গ্রাফাইটের উপর পাতলা স্তরে SiC প্রয়োগ করি।
সেমিকন্ডাক্টর ইকুইপমেন্টের জন্য আমাদের গ্যাস ইনলেট রিংটি সর্বোত্তম ল্যামিনার গ্যাস প্রবাহ প্যাটার্ন অর্জনের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, তাপীয় প্রোফাইলের সমানতা নিশ্চিত করে। এটি ওয়েফার চিপে উচ্চ-মানের এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধি নিশ্চিত করে কোনো দূষণ বা অমেধ্য বিস্তার প্রতিরোধ করতে সাহায্য করে।
সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামের জন্য আমাদের গ্যাস ইনলেট রিং সম্পর্কে আরও জানতে আজই আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন।
সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামের জন্য গ্যাস ইনলেট রিংয়ের পরামিতি
CVD-SIC আবরণ প্রধান স্পেসিফিকেশন |
||
SiC-CVD বৈশিষ্ট্য |
||
স্ফটিক গঠন |
FCC β ফেজ |
|
ঘনত্ব |
g/cm ³ |
3.21 |
কঠোরতা |
Vickers কঠোরতা |
2500 |
দ্রব্যের আকার |
μm |
2~10 |
রাসায়নিক বিশুদ্ধতা |
% |
99.99995 |
তাপ ধারনক্ষমতা |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
পরমানন্দ তাপমাত্রা |
℃ |
2700 |
ফেলেক্সুরাল স্ট্রেন্থ |
MPa (RT 4-পয়েন্ট) |
415 |
তরুণের মডুলাস |
Gpa (4pt বাঁক, 1300â) |
430 |
তাপীয় সম্প্রসারণ (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
তাপ পরিবাহিতা |
(W/mK) |
300 |
সেমিকন্ডাক্টর ইকুইপমেন্টের জন্য গ্যাস ইনলেট রিং এর বৈশিষ্ট্য
â উচ্চ বিশুদ্ধতা SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট
â উচ্চতর তাপ প্রতিরোধের এবং তাপীয় অভিন্নতা
â একটি মসৃণ পৃষ্ঠের জন্য সূক্ষ্ম SiC স্ফটিক প্রলিপ্ত
â রাসায়নিক পরিষ্কারের বিরুদ্ধে উচ্চ স্থায়িত্ব
â উপাদানটি এমনভাবে ডিজাইন করা হয়েছে যাতে ফাটল এবং ডিলামিনেশন না ঘটে।