CVD SiC-কোটেড ফার্নেস টিউব

Semicorex CVD SiC-কোটেডচুল্লি টিউববড় ব্যাসের প্রক্রিয়া টিউব যা সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারের উচ্চ-তাপমাত্রার চিকিত্সার জন্য একটি স্থিতিশীল প্রতিক্রিয়া চেম্বার সরবরাহ করে। এগুলি অক্সিজেন (রিঅ্যাক্ট্যান্ট গ্যাস), নাইট্রোজেন (প্রতিরক্ষামূলক গ্যাস) এবং অল্প পরিমাণে হাইড্রোজেন ক্লোরাইড ধারণকারী বায়ুমণ্ডলে কাজ করার জন্য তৈরি করা হয়, যার স্থিতিশীল অপারেটিং তাপমাত্রা প্রায় 1250 ডিগ্রি সেলসিয়াস থাকে।

Semicorex CVD SiC-কোটেড ফার্নেস টিউবের সুবিধা

1. উন্নত ছাঁচনির্মাণ প্রযুক্তি এবং নমনীয় কাস্টমাইজেশন উত্পাদন

3D প্রিন্টিং প্রযুক্তির মাধ্যমে গঠিত, SemicorexCVD SiC-কোটেড ফার্নেস টিউবগুলি কোনও দুর্বল অঞ্চল ছাড়াই একটি বিজোড়, অবিচ্ছেদ্য সিরামিক কাঠামো বৈশিষ্ট্যযুক্ত। এই ছাঁচনির্মাণ প্রযুক্তি ব্যতিক্রমী গ্যাস-টাইট সীলমোহরের গ্যারান্টি দেয়, যা কার্যকরভাবে বাহ্যিক দূষকগুলিকে প্রতিরোধ করে এবং সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণের জন্য প্রয়োজনীয় তাপমাত্রা, চাপ এবং বায়ুমণ্ডলীয় পরিবেশ বজায় রাখে।

উপরন্তু, 3D প্রিন্টিং প্রযুক্তি জটিল আকারের উৎপাদন এবং সুনির্দিষ্ট মাত্রিক নিয়ন্ত্রণকেও সমর্থন করে। কাস্টম-উৎপাদনটি গ্রাহকদের উল্লম্ব বা অনুভূমিক চুল্লিগুলির সাথে সম্পূর্ণ সামঞ্জস্যতা নিশ্চিত করতে বিভিন্ন প্রয়োজনীয়তা অনুসারে ব্যাস, দৈর্ঘ্য, প্রাচীরের বেধ এবং সহনশীলতার জন্য উপলব্ধ।

2. সূক্ষ্ম উপাদান নির্বাচন এবং পরিচ্ছন্নতা নিয়ন্ত্রণ

Semicorex CVD SiC-কোটেড ফার্নেস টিউবগুলি সাবধানে-নির্বাচিত সেমিকন্ডাক্টর-গ্রেডের উচ্চ বিশুদ্ধতা উপাদান থেকে তৈরি। তাদের ম্যাট্রিক্সের অপরিচ্ছন্নতা বিষয়বস্তু 300 PPM-এর নিচে নিয়ন্ত্রণ করা হয় এবং CVD SiC আবরণের অপরিচ্ছন্নতা 5 PPM-এর কম সীমাবদ্ধ। এই কঠোর বিশুদ্ধতা নিয়ন্ত্রণ উল্লেখযোগ্যভাবে উচ্চ-তাপমাত্রার অপারেটিং অবস্থার অধীনে ধাতব অমেধ্যগুলির কারণে সৃষ্ট ওয়েফার দূষণকে হ্রাস করে, যা চূড়ান্ত সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসগুলির ফলন এবং কর্মক্ষমতাকে ব্যাপকভাবে উন্নত করে। এছাড়াও, CVD SiC আবরণের ব্যবহার উচ্চ-তাপমাত্রা প্রতিরোধ, রাসায়নিক ক্ষয় প্রতিরোধের, এবং Semicorex CVD SiC-কোটেড ফার্নেস টিউবের তাপীয় স্থিতিশীলতা বাড়ায়, যার ফলে কঠোর পরিচালন পরিস্থিতিতে তাদের পরিষেবা জীবন ব্যাপকভাবে প্রসারিত হয়।

অনেক সুবিধা নিয়ে, Semicorex CVD SiC-কোটেড ফার্নেস টিউবগুলি সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণের জন্য একটি স্থিতিশীল, উপযুক্ত, এবং অতি-পরিচ্ছন্ন প্রতিক্রিয়া স্থান প্রদান করতে সক্ষম। চুল্লিগুলির মধ্যে সামঞ্জস্যপূর্ণ তাপমাত্রা বন্টন এবং স্থির গ্যাস বায়ুমণ্ডল, Semicorex CVD SiC-কোটেড ফার্নেস টিউব দ্বারা সম্ভব হয়েছে, আরও সঠিক ডোপিং ডিফিউশন, তাপ অক্সিডেশন, অ্যানিলিং এবং পাতলা ফিল্ম জমা করতে সাহায্য করে।