ব্যারেল সাসেপ্টর সিলিকন কার্বাইড প্রলিপ্ত গ্রাফাইট

সেমিকোরেক্স ব্যারেল সাসেপ্টর সিলিকন কার্বাইড প্রলিপ্ত গ্রাফাইট একটি বিশেষ উপাদান যা এপিটাক্সি প্রক্রিয়ায়, বিশেষ করে ওয়েফার বহনে ব্যবহারের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। এই ব্যারেল সাসেপ্টর সিলিকন কার্বাইড প্রলিপ্ত গ্রাফাইট গ্রাফাইট উপাদান থেকে তৈরি করা হয়েছে, যা উচ্চ তাপমাত্রায় তার চমৎকার তাপ পরিবাহিতা এবং স্থিতিশীলতার জন্য পরিচিত। এর কার্যকারিতা এবং স্থায়িত্ব বাড়ানোর জন্য, গ্রাফাইট পৃষ্ঠ সিলিকন কার্বাইড (SiC) এর একটি স্তর দিয়ে লেপা হয়।

ব্যারেল সাসেপ্টর সিলিকন কার্বাইড প্রলিপ্ত গ্রাফাইটের সিলিকন কার্বাইড আবরণ এই প্রসঙ্গে বেশ কয়েকটি গুরুত্বপূর্ণ উদ্দেশ্যে কাজ করে। প্রথমত, এটি অন্তর্নিহিত গ্রাফাইট সাবস্ট্রেটকে সুরক্ষার একটি অতিরিক্ত স্তর সরবরাহ করে, এটিকে রাসায়নিক বিক্রিয়া এবং পরিধান থেকে রক্ষা করে যা এপিটাক্সি প্রক্রিয়ার সময় ঘটতে পারে। দ্বিতীয়ত, SiC আবরণ ব্যারেল সাসেপ্টর সিলিকন কার্বাইড প্রলিপ্ত গ্রাফাইটের তাপীয় বৈশিষ্ট্য বাড়ায়, ওয়েফারগুলির দক্ষ এবং অভিন্ন গরম করতে সক্ষম করে। সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারগুলিতে সামঞ্জস্যপূর্ণ এবং উচ্চ-মানের এপিটাক্সিয়াল স্তরগুলি অর্জনের জন্য এই অভিন্ন গরম করা অপরিহার্য।

ব্যারেল সাসেপ্টর সিলিকন কার্বাইড প্রলিপ্ত গ্রাফাইটের নকশাটি এপিটাক্সি প্রক্রিয়া জুড়ে একাধিক ওয়েফারকে নিরাপদে ধরে রাখতে এবং পরিবহন করার জন্য অপ্টিমাইজ করা হয়েছে। এর ব্যারেল-সদৃশ কাঠামো অপারেশন চলাকালীন সঠিক তাপ বিতরণ এবং তাপ স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করার সাথে সাথে ওয়েফারগুলি সহজে লোড এবং আনলোড করার অনুমতি দেয়।

সামগ্রিকভাবে, ব্যারেল সাসেপ্টর সিলিকন কার্বাইড প্রলিপ্ত গ্রাফাইট এপিটাক্সি সরঞ্জামের একটি গুরুত্বপূর্ণ উপাদান উপস্থাপন করে, যা উন্নত সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসগুলির উত্পাদনের জন্য প্রয়োজনীয় নির্ভরযোগ্যতা, স্থায়িত্ব এবং সুনির্দিষ্ট তাপ নিয়ন্ত্রণ প্রদান করে।