সেমিকোরেক্স অ্যালুমিনা সিরামিক আর্ম একটি উচ্চ-বিশুদ্ধতা রোবোটিক উপাদান যা সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিংয়ে সুনির্দিষ্ট এবং দূষণ-মুক্ত ওয়েফার হ্যান্ডলিংয়ের জন্য ডিজাইন করা। সেমিকোরেক্স নির্বাচন করা কেবল উন্নত অ্যালুমিনা সিরামিক উপাদানের গুণমানই নয়, যথাযথ কারুশিল্পও নিশ্চিত করে যা সমালোচনামূলক প্রক্রিয়া পরিবেশে স্থায়িত্ব, পরিষ্কার -পরিচ্ছন্নতা এবং নির্ভরযোগ্যতার গ্যারান্টি দেয়*
সেমিকোরেক্স অ্যালুমিনা সিরামিক আর্ম একটি ইঞ্জিনিয়ারড উপাদান যা সেমিকন্ডাক্টর অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য সর্বোচ্চ স্পেসিফিকেশনে বিকশিত হয়। উচ্চ-বিশুদ্ধতা অ্যালুমিনা (আলো) থেকে তৈরি, এটি একটি রোবোটিক বাহু যা যান্ত্রিক শক্তি, তাপীয় স্থায়িত্ব এবং রাসায়নিক প্রতিরোধের একটি অনন্য সংমিশ্রণ বৈশিষ্ট্যযুক্ত। বাহুটি কেবল ওয়েফার হ্যান্ডলিংয়ের জন্য ব্যবহার করার জন্য ডিজাইন করা হয়নি তবে উন্নত বানোয়াট সাইটগুলিতে প্রক্রিয়া সহায়তা সরবরাহ করাও প্রয়োজন। এটি অবশ্যই নিশ্চিত করতে হবে যে ওয়েফারগুলি দূষণ বা ক্ষতি ছাড়াই স্থানান্তরিত, অবস্থান এবং প্রক্রিয়াজাত করা হচ্ছে; প্রক্রিয়াটির ফলন এবং নির্ভরযোগ্যতা উন্নত করা।
অ্যালুমিনাপ্রযুক্তিগত সিরামিকগুলির মধ্যে একটি যা প্রযুক্তিগত সিরামিক ক্ষেত্রে বিস্তৃত ব্যবহার খুঁজে পায়। অ্যালুমিনা তার কঠোরতা, পরিধান প্রতিরোধ এবং আক্রমণাত্মক পরিবেশে স্থিতিশীলতার জন্য পরিচিত। দূষণ প্রবর্তন না করে ওয়েফার হ্যান্ডলিং পরিচালনা করার জন্য সিরামিক বাহুর উদ্দেশ্যগুলির জন্য, এটি অ্যালুমিনার বৈশিষ্ট্যগুলি কাজে লাগাতে পারে এবং এর উচ্চ বিশুদ্ধতা এবং কণার আকারের ফলস্বরূপ ঘর্ষণের প্রতিরোধের অনেক উচ্চ স্তরের সরবরাহ করতে পারে; অতএব, এটি ওয়েফারগুলির সাথে বা অন্য কোনও ধরণের অর্ধপরিবাহী স্তরগুলির সাথে এর পুনরাবৃত্তি আন্দোলনের সময় অতিরিক্ত কণা তৈরি করবে না। এটি ঘনত্ব এবং কম পোরোসিটি যে এটি আরও বেশি কণাগুলি ভেঙে যাওয়ার সম্ভাবনাগুলিকে আরও সীমাবদ্ধ করে এবং এটি নিশ্চিত করে যে এটি সাবমিক্রন ডিভাইস হ্যান্ডলিংয়ের জন্য প্রয়োজনীয় পরিষ্কার-পরিচ্ছন্নতা থেকে বিচ্ছিন্ন না করে অর্ধপরিবাহী বিকাশের ফ্যাবগুলির অতি-পরিষ্কার প্রয়োজনীয়তাগুলি পূরণ করে।
অ্যালুমিনাএর যান্ত্রিক শক্তি ছাড়াও ব্যতিক্রমী তাপীয় স্থিতিশীলতা রয়েছে। অ্যালুমিনা সিরামিক বাহু ওয়ার্পিং, ক্র্যাকিং বা শক্তি হারাতে ছাড়াই চরম প্রক্রিয়া তাপমাত্রা সহ্য করতে পারে। এই সম্পত্তিটি এটিকে যে কোনও প্রক্রিয়া পদক্ষেপে অন্তর্ভুক্ত করার জন্য আদর্শ করে তোলে যার মধ্যে উন্নত তাপমাত্রার এক্সপোজার যেমন প্রসারণ, জারণ বা অ্যানিয়াল পদক্ষেপের অন্তর্ভুক্ত রয়েছে। তাপীয় সাইক্লিংয়ের অধীনে যান্ত্রিক অখণ্ডতা বজায় রাখার কারণে ওয়েফারগুলির একটি চ্যালেঞ্জিং প্রক্রিয়া পরিবেশে স্থানান্তরের জন্য নির্ভরযোগ্যতা উন্নত হবে।
রাসায়নিক প্রতিরোধের অ্যালুমিনা সিরামিক বাহুর আরেকটি মৌলিক ইতিবাচক। সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিংয়ে, চিকিত্সাগুলি প্রায়শই ওয়েফারগুলিতে সঞ্চালিত হয় যার মধ্যে শক্তিশালী অ্যাসিড, ক্ষারীয় এবং অন্যান্য আক্রমণাত্মক রাসায়নিক অন্তর্ভুক্ত থাকে। যদিও ধাতব উপাদানগুলি সঙ্কুচিত হতে পারে বা লেচ অমেধ্য হতে পারে, অ্যালুমিনা রাসায়নিকভাবে জড়, যা বাহু এবং এটি পরিচালনা করে এমন ওয়েফার উভয়ের অখণ্ডতা রক্ষা করে। অতএব জড়তা ভেজা পরিষ্কার বা রাসায়নিক বাষ্প জমার মতো সমালোচনামূলক প্রক্রিয়া পদক্ষেপের সময় দূষণের সম্ভাবনা হ্রাস করার সময় উপাদানটির জীবনকাল দীর্ঘায়িত করে।
অ্যালুমিনা সিরামিক আর্মটি সামঞ্জস্যতা এবং নির্ভুলতার উপর ফোকাস দিয়ে ডিজাইন করা হয়েছে। প্রতিটি বাহু স্বয়ংক্রিয় ওয়েফার হ্যান্ডলিং সরঞ্জাম এবং রোবোটিক সিস্টেমগুলির সাথে সঠিক ওয়েফার সারিবদ্ধকরণ এবং চলাচল এবং সামঞ্জস্যতা নিশ্চিত করে, আঁটসাঁট মাত্রিক সহনশীলতায় তৈরি করা হয়। মসৃণ, পালিশযুক্ত পৃষ্ঠের ফিনিসটিতে ওয়েফারটির সাথে একটি কম ঘর্ষণ ইন্টারফেস রয়েছে যা ওয়েফারটি স্ক্র্যাচ করার সম্ভাবনা হ্রাস করে, যা ওয়েফার অখণ্ডতা/পরিবেশগত পরিচ্ছন্নতা এবং ত্রুটি হার হ্রাসের জন্য প্রয়োজনীয়। এই ইঞ্জিনিয়ারড সহনশীলতাগুলি নিশ্চিত করে যে বাহু দ্রুত গতিযুক্ত উচ্চ থ্রুপুট পরিবেশে অবাধে কাজ করে এবং বাহুর জন্য মানব এবং সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয় অর্ধপরিবাহী কর্মপ্রবাহ উভয়ের জন্য অনুমতি দেয়।
অ্যালুমিনা সিরামিক বাহু কেবল রাসায়নিক এবং যান্ত্রিক কর্মক্ষমতা ছাড়িয়ে যায় এবং একাধিক স্তরে অপারেটিং দক্ষতা এবং ব্যয় সাশ্রয়কে প্রভাবিত করে। সিরামিকের প্রমাণিত টেকসই প্রকৃতিটি আর্মকে পুনরাবৃত্ত যান্ত্রিক লোডিংয়ের অধীনে ডিজাইনের দীর্ঘায়ুতার ক্ষেত্রে প্লাস্টিক বা অ্যালুমিনিয়ামের মতো যৌগিক উপকরণগুলিকে ছাড়িয়ে যাওয়ার অনুমতি দেয় এবং তাই অপারেশনাল ডাউনটাইম এবং/অথবা প্রতিস্থাপন ব্যয়ের পরিমাণ হ্রাস করে। কঠোর পরিবেশ সহ্য করার দক্ষতার মধ্যে রয়েছে পরিবেশগত পরিষ্কার -পরিচ্ছন্নতা, পাশাপাশি কম উত্পাদন বাধা তৈরি করে যা উন্নত ধারাবাহিক ওয়েফার উত্পাদন, অর্থাত্ ফলন এবং শেষ পর্যন্ত কম স্ক্র্যাপের দিকে পরিচালিত করে যা অর্ধপরিবাহী নির্মাতাদের জন্য উচ্চতর আরওআই (বিনিয়োগের উপর রিটার্ন) বাড়ে।
ব্যবহারের জন্য বিকল্পগুলিঅ্যালুমিনা সিরামিকসেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াগুলির জন্য বাহু কার্যত অন্তহীন - ভেজা বেঞ্চ, প্রসারণ চুল্লি এবং জমা দেওয়ার চেম্বারগুলির মধ্যে চলমান ওয়েফার থেকে শুরু করে সাবস্ট্রেটগুলি ব্যবহার করে পরিদর্শন এবং মেট্রোলজি সরঞ্জামগুলি পর্যন্ত। এই পণ্যটির বহুমুখিতা কেবল এটি ওয়েফার হ্যান্ডলিং অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য ব্যবহার করার অনুমতি দেয় না, তবে আরও অটোমেশন পরিস্থিতি যেখানে নির্ভুলতা, পরিষ্কার -পরিচ্ছন্নতা এবং নির্ভরযোগ্যতা প্রয়োজন সেখানেও সম্ভব। সেমিকন্ডাক্টর শিল্পটি অবিচ্ছিন্নভাবে ছোট নোডগুলির দিকে এগিয়ে চলেছে এবং ডিভাইস বানোয়াটের মধ্যে জটিলতা বৃদ্ধি করছে এবং শিল্পটি নির্ভরযোগ্য এবং অ-দূষিত হওয়া আরও ভাল হ্যান্ডলিং সমাধানগুলির দাবি অব্যাহত রেখেছে, সিরামিক রোবোটিক বাহু একটি সুস্পষ্ট পথ তৈরি করে।