সেমিকোরেক্স বিভিন্ন ধরনের 4H এবং 6H SiC ওয়েফার সরবরাহ করে। আমরা বহু বছর ধরে সিলিকন কার্বাইড পণ্যের প্রস্তুতকারক এবং সরবরাহকারী। আমাদের 4 ইঞ্চি এন-টাইপ SiC সাবস্ট্রেটের একটি ভাল দামের সুবিধা রয়েছে এবং বেশিরভাগ ইউরোপীয় এবং আমেরিকান বাজারকে কভার করে। আমরা চীনে আপনার দীর্ঘমেয়াদী অংশীদার হওয়ার জন্য উন্মুখ।
সেমিকোরেক্সের একটি সম্পূর্ণ সিলিকন কার্বাইড(SiC) ওয়েফার পণ্যের লাইন রয়েছে, যার মধ্যে রয়েছে 4H এবং 6H সাবস্ট্রেট সহ N-টাইপ, P-টাইপ এবং উচ্চ বিশুদ্ধতা সেমি-ইনসুলেটিং ওয়েফার, এগুলি এপিটাক্সির সাথে বা ছাড়াই হতে পারে। 4-ইঞ্চি এন-টাইপ SiC (সিলিকন কার্বাইড) সাবস্ট্রেট হল এক ধরনের উচ্চ-মানের ওয়েফার যা একটি এন-টাইপ ডোপিং সহ সিলিকন কার্বাইডের একক স্ফটিক থেকে তৈরি।
4 ইঞ্চি এন-টাইপ এসআইসি সাবস্ট্রেট প্রধানত নতুন শক্তির যানবাহন, উচ্চ-ভোল্টেজ ট্রান্সমিশন এবং সাবস্টেশন, সাদা পণ্য, উচ্চ-গতির ট্রেন, বৈদ্যুতিক মোটর, ফটোভোলটাইক ইনভার্টার, স্পন্দিত পাওয়ার সাপ্লাই এবং অন্যান্য ক্ষেত্রে ব্যবহৃত হয়, যা সরঞ্জাম হ্রাস করার সুবিধা রয়েছে। শক্তি হ্রাস, সরঞ্জামের নির্ভরযোগ্যতা উন্নত করা, সরঞ্জামের আকার হ্রাস করা এবং সরঞ্জামের কার্যকারিতা উন্নত করা এবং পাওয়ার ইলেকট্রনিক ডিভাইস তৈরিতে অপরিবর্তনীয় সুবিধা রয়েছে।
আইটেম |
উৎপাদন |
গবেষণা |
ডামি |
ক্রিস্টাল পরামিতি |
|||
পলিটাইপ |
4H |
||
সারফেস ওরিয়েন্টেশন ত্রুটি |
<11-20 >4±0.15° |
||
বৈদ্যুতিক পরামিতি |
|||
ডোপান্ট |
n-টাইপ নাইট্রোজেন |
||
প্রতিরোধ ক্ষমতা |
0.015-0.025ohm·cm |
||
যান্ত্রিক পরামিতি |
|||
ব্যাস |
99.5 - 100 মিমি |
||
পুরুত্ব |
350±25 μm |
||
প্রাথমিক সমতল অভিযোজন |
[1-100]±5° |
||
প্রাথমিক সমতল দৈর্ঘ্য |
32.5±1.5 মিমি |
||
মাধ্যমিক সমতল অবস্থান |
প্রাথমিক ফ্ল্যাট থেকে 90° CW ±5°। সিলিকন ফেস আপ |
||
মাধ্যমিক সমতল দৈর্ঘ্য |
18±1.5 মিমি |
||
টিটিভি |
≤5 μm |
≤10 μm |
≤20 μm |
এলটিভি |
≤2 μm(5mm*5mm) |
≤5 μm(5mm*5mm) |
যে |
নম |
-15μm ~ 15μm |
-35μm ~ 35μm |
-45μm ~ 45μm |
ওয়ার্প |
≤20 μm |
≤45 μm |
≤50 μm |
সামনের (সি-ফেস) রুক্ষতা (AFM) |
Ra≤0.2nm (5μm*5μm) |
||
গঠন |
|||
মাইক্রোপাইপ ঘনত্ব |
≤1 ea/cm2 |
≤5 ea/cm2 |
≤10 ea/cm2 |
ধাতব অমেধ্য |
≤5E10 পরমাণু/cm2 |
যে |
|
বিপিডি |
≤1500 ea/cm2 |
≤3000 ea/cm2 |
যে |
টিএসডি |
≤500 ea/cm2 |
≤1000 ea/cm2 |
যে |
সামনের গুণমান |
|||
সামনে |
এবং |
||
সারফেস ফিনিস |
সি-ফেস সিএমপি |
||
কণা |
≤60ea/ওয়েফার (আকার≥0.3μm) |
যে |
|
আঁচড় |
≤2ea/মিমি। ক্রমবর্ধমান দৈর্ঘ্য ≤ ব্যাস |
ক্রমবর্ধমান দৈর্ঘ্য≤2*ব্যাস |
যে |
কমলার খোসা/পিট/দাগ/দাগ/ফাটল/দূষণ |
কোনোটিই নয় |
যে |
|
এজ চিপস/ইন্ডেন্টস/ফ্র্যাকচার/হেক্স প্লেট |
কোনোটিই নয় |
যে |
|
পলিটাইপ এলাকা |
কোনোটিই নয় |
ক্রমবর্ধমান এলাকা≤20% |
ক্রমবর্ধমান এলাকা≤30% |
সামনে লেজার চিহ্নিতকরণ |
কোনোটিই নয় |
||
ব্যাক কোয়ালিটি |
|||
ফিরে শেষ |
সি-ফেস সিএমপি |
||
আঁচড় |
≤5ea/মিমি, ক্রমবর্ধমান দৈর্ঘ্য≤2*ব্যাস |
যে |
|
পিছনের ত্রুটি (এজ চিপস/ইন্ডেন্ট) |
কোনোটিই নয় |
||
পিঠের রুক্ষতা |
Ra≤0.2nm (5μm*5μm) |
||
পিছনে লেজার চিহ্নিতকরণ |
1 মিমি (উপরের প্রান্ত থেকে) |
||
প্রান্ত |
|||
প্রান্ত |
চেম্ফার |
||
প্যাকেজিং |
|||
প্যাকেজিং |
ভিতরের ব্যাগ নাইট্রোজেন দিয়ে ভরা হয় এবং বাইরের ব্যাগ ভ্যাকুয়াম করা হয়। মাল্টি-ওয়েফার ক্যাসেট, এপি-রেডি। |
||
*দ্রষ্টব্য: "NA" মানে কোন অনুরোধ নেই উল্লেখ করা আইটেমগুলি সেমি-এসটিডি উল্লেখ করতে পারে। |