সেমিকোরেক্স 1x2" গ্রাফাইট ওয়েফার সাসেপ্টর হল উচ্চ-সম্পাদক বহনকারী উপাদান যা বিশেষভাবে 2-ইঞ্চি ওয়েফারের জন্য তৈরি করা হয়েছে, যেগুলি সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারের এপিটাক্সিয়াল প্রক্রিয়ার জন্য উপযুক্ত। শিল্প-নেতৃস্থানীয় উপাদানের বিশুদ্ধতা, নির্ভুল প্রকৌশল বৃদ্ধির চাহিদা এবং অপ্রয়োজনীয় পরিবেশের জন্য সেমিকোরেক্স বেছে নিন।
সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার ফ্যাব্রিকেশনে, সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসের পরবর্তী ফ্যাব্রিকেশনের জন্য ওয়েফার সাবস্ট্রেটে এপিটাক্সিয়াল লেয়ার বাড়াতে হয়। যেহেতু এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধি প্রক্রিয়া তাপমাত্রা ওঠানামা এবং দূষণের জন্য অত্যন্ত সংবেদনশীল, তাই নির্ভরযোগ্য নির্বাচনওয়েফার susceptorsসমালোচনামূলকভাবে গুরুত্বপূর্ণ। ওয়েফার এপিটাক্সিয়াল প্রক্রিয়ার অপরিহার্য সহায়ক অংশ হিসাবে, মেশিনিং নির্ভুলতা, তাপ ব্যবস্থাপনা ক্ষমতা এবং দূষণ প্রতিরোধের কর্মক্ষমতা উচ্চ-মানের ওয়েফার এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধি অর্জনে গুরুত্বপূর্ণ কারণ।
অতি-সূক্ষ্ম শস্য থেকে তৈরি, বিশেষ প্রক্রিয়ার মাধ্যমে ঘন সিলিকন কার্বাইড আবরণের সাথে তাদের ম্যাট্রিক্স হিসাবে উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্রাফাইট, সেমিকোরেক্স 1x2" গ্রাফাইট ওয়েফার সাসেপ্টর নিম্নলিখিত কাজগুলি প্রদান করে:
সেমিকোরেক্স 1x2"গ্রাফাইটওয়েফার সাসেপ্টরগুলি যথার্থ মেশিনিং এবং চিকিত্সা বৈশিষ্ট্যযুক্ত, ব্যতিক্রমী পৃষ্ঠ সমতলতা এবং মাত্রিক নির্ভুলতা প্রদান করে। এটি নিশ্চিত করে যে তারা একটি উপযুক্ত অবস্থানে দৃঢ়ভাবে সুরক্ষিত এবং ওয়েফার এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধির জন্য একটি স্থিতিশীল, সমতল সমর্থন প্ল্যাটফর্ম প্রদান করে।
গ্রাফাইট এবং SiC উপাদানের চমৎকার তাপ পরিবাহিতা সহ, সেমিকোরেক্স 1x2" গ্রাফাইট ওয়েফার সাসেপ্টরগুলি অর্ধপরিবাহী পদার্থ জুড়ে দ্রুত এবং অভিন্ন তাপ বিতরণ প্রদান করে৷ তাপমাত্রার গ্রেডিয়েন্টগুলিকে কম করে, সেমিকোরেক্স 1x2" গ্রাফাইট ওয়েফার সাসেপ্টরগুলি কার্যকরভাবে অসম ইপিসেন্ট স্ট্রেস এবং মানের চাপের মতো সমস্যাগুলি এড়াতে পারে৷
ঘন সিলিকন কার্বাইড আবরণে আচ্ছাদিত, সেমিকোরেক্স 1x2" গ্রাফাইট ওয়েফার সাসেপ্টরগুলি বেশিরভাগ রাসায়নিকের বিরুদ্ধে কার্যকরভাবে প্রতিরোধী, এটিকে অত্যন্ত ক্ষয়কারী অপারেটিং পরিস্থিতিতে প্রয়োগের জন্য উপযুক্ত করে তোলে যেখানে উপাদানটি ঘন ঘন ক্ষয়কারী গ্যাস এবং রাসায়নিক বাষ্পের সংস্পর্শে আসে।
সেমিকোরেক্সসিলিকন কার্বাইড আবরণগ্রাফাইট ম্যাট্রিক্সের সাথে একটি উচ্চ বন্ধন শক্তি রয়েছে, যা উচ্চ-জারা পরিবেশের কারণে ক্ষয় এবং কণার পতনের কারণে আবরণ বিচ্ছিন্নতার কারণে সাবস্ট্রেট দূষণের ঝুঁকি উল্লেখযোগ্যভাবে এড়াতে পারে।
যদিও গ্রাফাইট ম্যাট্রিক্সগুলি চমৎকার তাপীয় স্থিতিশীলতা এবং যান্ত্রিক শক্তি প্রদর্শন করে, এটি এপিটাক্সিয়াল প্রক্রিয়ার অপারেটিং অবস্থার অধীনে ক্ষয় এবং পাল্ভারাইজেশনের প্রবণ, আনকোটেড গ্রাফাইট ম্যাট্রিক্সের জীবনকালকে ব্যাপকভাবে ছোট করে। ঘন SiC আবরণ সহ গ্রাফাইট ম্যাট্রিক্সগুলিকে সম্পূর্ণরূপে এনক্যাপসুলেট করার মাধ্যমে, আমাদের 1×2" গ্রাফাইট ওয়েফার সাসেপ্টরগুলি উচ্চতর এবং নির্ভরযোগ্য স্থায়িত্ব অর্জন করে।
Semicorex SiC আবরণ উপাদান তথ্য
|
সাধারণ বৈশিষ্ট্য |
ইউনিট |
মূল্যবোধ |
| গঠন |
/ |
FCC β ফেজ |
| ওরিয়েন্টেশন | ভগ্নাংশ (%) |
111 পছন্দের |
| বাল্ক ঘনত্ব |
g/cm³ |
3.21 |
| কঠোরতা | ভিকার কঠোরতা |
2500 |
| তাপ ক্ষমতা | J·kg⁻¹·K⁻¹ |
640 |
| তাপীয় প্রসারণ 100–600 °C (212–1112 °F) |
10⁻⁶K⁻¹ |
4.5 |
| ইয়ং এর মডুলাস |
Gpa (4pt বাঁক, 1300°C) |
430 |
| শস্য আকার |
µm |
2 - 10 |
| পরমানন্দ তাপমাত্রা |
°সে |
2700 |
| নমনীয় শক্তি |
MPa (RT 4-পয়েন্ট) |
415 |
| তাপ পরিবাহিতা |
(W/mK) |
300 |