15" কোয়ার্টজ বেল জার

সেমিকোরেক্স 15" কোয়ার্টজ বেল জার এই চ্যালেঞ্জগুলি মোকাবেলা করার জন্য প্রকৌশলী করা হয়েছে, মধ্য থেকে বড় স্কেল ব্যাচ প্রক্রিয়াকরণের জন্য একটি উচ্চ-পারফরম্যান্স সমাধান প্রদান করে যেখানে তাপীয় অভিন্নতা এবং উপাদানের বিশুদ্ধতা সর্বাধিক ফলন করার জন্য অপরিহার্য। সেমিকন্ডাক্টর এবং পাতলা-ফিল্ম শিল্পে, অখণ্ডতা প্রক্রিয়াটির আকার বৃদ্ধি করে না। সঙ্কুচিত, একটি পরিষ্কার, স্থিতিশীল, এবং রাসায়নিকভাবে নিষ্ক্রিয় পরিবেশের জন্য প্রয়োজনীয়তা অ-আলোচনাযোগ্য হয়ে ওঠে।

1. উপাদান বিজ্ঞান: ফিউজড সিলিকার বিশুদ্ধতা

আমাদের বেল জারের ভিত্তি উচ্চ-বিশুদ্ধতাফিউজড সিলিকা (কোয়ার্টজ). স্ট্যান্ডার্ড গ্লাসের বিপরীতে, কোয়ার্টজ প্রায় সম্পূর্ণ SiO2 দ্বারা গঠিত, অনন্য বৈশিষ্ট্য প্রদান করে যা সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশনের জন্য গুরুত্বপূর্ণ:

অতি-নিম্ন দূষণ: আমাদের কোয়ার্টজ ধাতব ট্রেস উপাদানগুলিকে (যেমন Al, Fe, Na, এবং K) অংশ-প্রতি-বিলিয়ন (ppb) স্তরে কমানোর জন্য প্রক্রিয়া করা হয়। এটি উচ্চ-তাপমাত্রা চক্রের সময় ওয়েফারের মধ্যে অমেধ্যের বিস্তার রোধ করে, ডিভাইসগুলির বৈদ্যুতিক অখণ্ডতা নিশ্চিত করে।

সুপিরিয়র থার্মাল শক রেজিস্ট্যান্স: কোয়ার্টজ তাপ সম্প্রসারণের প্রায় শূন্য সহগ (CTE) ধারণ করে। এটি 15" কোয়ার্টজ বেল জারকে ফ্র্যাকচার বা কাঠামোগত ক্লান্তির ঝুঁকি ছাড়াই দ্রুত তাপমাত্রার র‌্যাম্পিং এবং নিভে যাওয়া সহ্য করতে দেয় - উচ্চ-থ্রুপুট চুল্লির জন্য একটি গুরুত্বপূর্ণ প্রয়োজনীয়তা।

চমৎকার রাসায়নিক জড়তা: কোয়ার্টজ বেশিরভাগ অ্যাসিড (হাইড্রোফ্লুরিক অ্যাসিড বাদে) এবং ক্ষয়কারী প্রক্রিয়া গ্যাসের প্রতি অত্যন্ত প্রতিরোধী, এটি নিশ্চিত করে যে আক্রমনাত্মক এচিং বা জমা চক্রের সময় চেম্বারটি ক্ষয় বা আউটগ্যাস না হয়।

2. যথার্থ প্রকৌশল এবং অপটিক্যাল স্বচ্ছতা

15" কোয়ার্টজ বেল জার ব্যাচ ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণের উদ্দেশ্যে সর্বাধিক ভলিউম এবং সর্বোত্তম গ্যাস প্রবাহ গতিশীলতা প্রদান করে। জারটিতে একটি উল্লম্ব চিমনি (এটি একটি ঘাড় নামেও পরিচিত) রয়েছে যা সর্বোত্তমভাবে গ্যাসের জন্য একটি খাঁড়ি সরবরাহ করতে বা জার থেকে একটি ভ্যাকুয়ামের মাধ্যমে গ্যাস উত্তোলনে সহায়তা করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, যা উপরের চিত্রটিতে দেখানো হয়েছে।

অপটিক্যাল ট্রান্সপারেন্সি - এর ট্রান্সমিশনের উচ্চ স্তরকোয়ার্টজ উপাদানস্পেকট্রামের অতিবেগুনী, দৃশ্যমান এবং ইনফ্রারেড অঞ্চলে তরঙ্গদৈর্ঘ্য নির্গত করা রিয়েল টাইম প্রক্রিয়াকরণের পাশাপাশি দ্রুত তাপ প্রক্রিয়াকরণের (RTP) জন্য বাহ্যিক ল্যাম্প হিটার ব্যবহারের অনুমতি দেয়।

রিইনফোর্সড সিলিং সারফেস - জারটির ঘাড়ে একটি বিশেষভাবে বিকশিত অস্বচ্ছ সাদা সীল রয়েছে (এটি একটি গ্রাউন্ড জয়েন্ট হিসাবেও উল্লেখ করা হয়) যা চুল্লি বেসপ্লেট এবং জার মধ্যে একটি হারমেটিক (এয়ার-সিলড) এবং ভ্যাকুয়াম-টাইট ইন্টারফেস প্রদান করে।

স্ট্রেস রিলিফের জন্য অ্যানিলিং - সমস্ত 15" কোয়ার্টজ বেল জার একটি কঠোর থার্মাল অ্যানিলিং প্রক্রিয়ার মধ্য দিয়ে যায় যা জারকে ফুঁ দেওয়ার বা আকৃতি দেওয়ার যান্ত্রিক প্রক্রিয়ার মাধ্যমে বয়ামের উপর স্থাপিত অভ্যন্তরীণ যান্ত্রিক চাপ থেকে মুক্তি দেওয়ার জন্য, তাই জার নীচে লোড করার সময় একটি জার স্বতঃস্ফূর্তভাবে ব্যর্থ হওয়ার সম্ভাবনা উল্লেখযোগ্যভাবে হ্রাস করে।

3. সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব-এ সমালোচনামূলক অ্যাপ্লিকেশন

আমাদের 15" কোয়ার্টজ বেল জারটি বিশেষভাবে নিম্নলিখিত উচ্চ-মূল্যের প্রক্রিয়াগুলিতে একীকরণের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে:

সিলিকন এপিটাক্সি: উচ্চ-মানের একক-ক্রিস্টাল সিলিকন স্তর বৃদ্ধির জন্য একটি স্বচ্ছ, অ-প্রতিক্রিয়াশীল পাত্র সরবরাহ করা।

প্লাজমা এনহ্যান্সড সিভিডি (পিইসিভিডি): উচ্চ অস্তরক শক্তি বজায় রেখে ক্ষয়কারী প্লাজমা পরিবেশ সহ্য করা।

ডিফিউশন এবং অক্সিডেশন: গেট অক্সাইড এবং ডোপান্ট ড্রাইভ-ইন গঠনের জন্য একটি পরিষ্কার, উচ্চ-তাপ চেম্বার হিসাবে পরিবেশন করা।

অপটিক্যাল ফাইবার প্রিফর্ম প্রোডাকশন: বিশেষ কাচের উৎপাদনে সিলিকা স্তরগুলির উচ্চ-বিশুদ্ধতা জমার জন্য আদর্শ।

সেমিকোরেক্সে, আমরা প্রতিটি বেল জারকে নির্ভুল পরীক্ষাগার সরঞ্জামের টুকরো হিসাবে পরিচালনা করি। আমাদের প্রক্রিয়ার মধ্যে রয়েছে: যাচাইকৃত ইলেকট্রনিক-গ্রেড সহ কঠোর উপাদান সোর্সিংকোয়ার্টজingots; CNC-নিয়ন্ত্রিত নাকাল এবং মসৃণতা সঙ্গে ঐতিহ্যগত কাচ-ফুঁক দক্ষতা একত্রিত যে উন্নত বানান; এবং সুনির্দিষ্ট মাত্রিক চেকের জন্য অবশিষ্ট স্ট্রেস এবং লেজার ইন্টারফেরোমেট্রি সনাক্ত করতে পোলারাইজড আলো ব্যবহার করে পুঙ্খানুপুঙ্খ পরিদর্শন।