সেমিকন্ডাক্টর কোয়ার্টজ বেল জার

সেমিকোরেক্স সেমিকন্ডাক্টর কোয়ার্টজ বেল জার সাধারণত সিন্থেটিক ফিউজড কোয়ার্টজ থেকে তৈরি করা হয়, এটি একটি উপাদান যা এর ব্যতিক্রমী বিশুদ্ধতা, উচ্চ-তাপমাত্রা প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং নিম্ন তাপীয় প্রসারণ বৈশিষ্ট্যের জন্য পরিচিত। এটি নিশ্চিত করে যে চেম্বারটি সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশন প্রক্রিয়ায় দূষক বা অমেধ্য প্রবর্তন করে না।

সেমিকন্ডাক্টর কোয়ার্টজ বেল জার সাধারণত নলাকার বা গম্বুজ আকৃতির হয়, সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার বা সাবস্ট্রেটগুলিকে মিটমাট করার জন্য একটি সমতল বা সামান্য বাঁকা বেস সহ। প্রক্রিয়াকরণের সময় চেম্বারের অভ্যন্তরে একটি ভ্যাকুয়াম বা নিয়ন্ত্রিত বায়ুমণ্ডল বজায় রাখার জন্য এটি একটি নির্ভুল-ইঞ্জিনিয়ারযুক্ত, বায়ুরোধী সিলিং প্রক্রিয়া, যেমন একটি ফ্ল্যাঞ্জ বা ও-রিং সিল বৈশিষ্ট্যযুক্ত।

সেমিকন্ডাক্টর কোয়ার্টজ বেল জার চমৎকার অপটিক্যাল স্পষ্টতা অফার করে, যা অপারেটরদের সঠিকতার সাথে আপস না করে বা হস্তক্ষেপ না করে চেম্বারের ভিতরে প্রক্রিয়াগুলি দৃশ্যমানভাবে পর্যবেক্ষণ করতে দেয়। কোয়ার্টজ বেশিরভাগ অ্যাসিড, বেস এবং সাধারণত সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশন প্রক্রিয়ায় ব্যবহৃত দ্রাবক থেকে রাসায়নিক আক্রমণের জন্য অত্যন্ত প্রতিরোধী। এটি চেম্বারের অখণ্ডতা নিশ্চিত করে এবং স্তরগুলির দূষণ প্রতিরোধ করে।

কোয়ার্টজের একটি উচ্চ গলনাঙ্ক এবং তাপীয় স্থিতিশীলতা রয়েছে, যা সেমিকন্ডাক্টর কোয়ার্টজ বেল জারকে বিকৃতি বা অবক্ষয় ছাড়াই জমা বা অ্যানিলিং প্রক্রিয়ার সময় উচ্চতর তাপমাত্রা সহ্য করতে দেয়।

অ্যাপ্লিকেশন:

জমা: সেমিকন্ডাক্টর কোয়ার্টজ বেল জারগুলি বিভিন্ন ডিপোজিশন কৌশল যেমন রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD), ভৌত বাষ্প জমা (PVD), এবং পারমাণবিক স্তর জমা (ALD) নির্ভুলতা এবং অভিন্নতা সহ অর্ধপরিবাহী সাবস্ট্রেটে পদার্থের পাতলা ফিল্ম জমা করতে ব্যবহৃত হয়।

এচিং: সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার থেকে বেছে বেছে উপাদান অপসারণ করতে, উচ্চ নির্ভুলতা এবং পুনরাবৃত্তিযোগ্যতার সাথে জটিল নিদর্শন এবং কাঠামো তৈরি করতে তারা প্লাজমা এচিং প্রক্রিয়াগুলিতে নিযুক্ত করা হয়।

অ্যানিলিং: বেল জারগুলি নিয়ন্ত্রিত থার্মাল ট্রিটমেন্টের জন্য সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারগুলিকে সাবজেক্ট করার জন্য অ্যানিলিং প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহার করা হয়, স্ফটিককরণ, ডোপান্ট অ্যাক্টিভেশন এবং জমা ফিল্মে স্ট্রেস রিলিফের সুবিধা দেয়।