TaC আবরণ গাইড রিং

এর ফাংশনTaC আবরণ গাইড রিং:

সুনির্দিষ্ট গ্যাস প্রবাহ নিয়ন্ত্রণ:TaC আবরণ গাইড রিং কৌশলগতভাবে MOCVD চুল্লির গ্যাস ইনজেকশন সিস্টেমের মধ্যে অবস্থিত। এর প্রাথমিক কাজ হল পূর্ববর্তী গ্যাসের প্রবাহকে নির্দেশ করা এবং সাবস্ট্রেট ওয়েফার পৃষ্ঠ জুড়ে তাদের অভিন্ন বন্টন নিশ্চিত করা। অভিন্ন এপিটাক্সিয়াল স্তর বৃদ্ধি এবং পছন্দসই উপাদান বৈশিষ্ট্য অর্জনের জন্য গ্যাস প্রবাহ গতিবিদ্যার উপর এই সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণ অপরিহার্য।

তাপ ব্যবস্থাপনা:TaC আবরণ গাইড রিং উত্তপ্ত সাসেপ্টর এবং সাবস্ট্রেটের কাছাকাছি থাকার কারণে প্রায়শই উচ্চ তাপমাত্রায় কাজ করে। TaC-এর চমৎকার তাপ পরিবাহিতা তাপকে কার্যকরভাবে ছড়িয়ে দিতে সাহায্য করে, স্থানীয়ভাবে অতিরিক্ত গরম হওয়া প্রতিরোধ করে এবং প্রতিক্রিয়া অঞ্চলের মধ্যে একটি স্থিতিশীল তাপমাত্রা প্রোফাইল বজায় রাখে।

MOCVD তে TaC এর সুবিধা:

চরম তাপমাত্রা প্রতিরোধের:TaC সমস্ত পদার্থের মধ্যে সর্বোচ্চ গলনাঙ্কগুলির একটি, 3800°C অতিক্রম করে। 

অসামান্য রাসায়নিক জড়তা:TaC MOCVD-তে ব্যবহৃত প্রতিক্রিয়াশীল পূর্বসূরি গ্যাস, যেমন অ্যামোনিয়া, সিলেন এবং বিভিন্ন ধাতু-জৈব যৌগ থেকে জারা এবং রাসায়নিক আক্রমণের ব্যতিক্রমী প্রতিরোধ প্রদর্শন করে।

TaC এবং SiC এর জারা প্রতিরোধের তুলনা

নিম্ন তাপ সম্প্রসারণ:তাপ সম্প্রসারণের TaC এর নিম্ন সহগ MOCVD প্রক্রিয়া চলাকালীন তাপমাত্রার ওঠানামার কারণে মাত্রিক পরিবর্তনগুলিকে কমিয়ে দেয়। 

উচ্চ পরিধান প্রতিরোধের:TaC এর কঠোরতা এবং স্থায়িত্ব MOCVD সিস্টেমের মধ্যে গ্যাসের ধ্রুবক প্রবাহ এবং সম্ভাব্য কণা পদার্থ থেকে পরিধান এবং ছিঁড়ে যাওয়ার জন্য চমৎকার প্রতিরোধ প্রদান করে। 

MOCVD পারফরম্যান্সের জন্য সুবিধা:

MOCVD সরঞ্জামগুলিতে Semicorex TaC লেপ নির্দেশিকা রিং ব্যবহার উল্লেখযোগ্যভাবে অবদান রাখে:

উন্নত এপিটাক্সিয়াল স্তর অভিন্নতা:TaC আবরণ গাইড রিং দ্বারা সহজলভ্য সুনির্দিষ্ট গ্যাস প্রবাহ নিয়ন্ত্রণ অভিন্ন অগ্রদূত বন্টন নিশ্চিত করে, যার ফলে সামঞ্জস্যপূর্ণ বেধ এবং সংমিশ্রণ সহ উচ্চ অভিন্ন এপিটাক্সিয়াল স্তর বৃদ্ধি পায়।

উন্নত প্রক্রিয়া স্থিতিশীলতা:TaC-এর তাপীয় স্থিতিশীলতা এবং রাসায়নিক জড়তা MOCVD চেম্বারের মধ্যে আরও স্থিতিশীল এবং নিয়ন্ত্রিত প্রতিক্রিয়া পরিবেশে অবদান রাখে, প্রক্রিয়ার বৈচিত্র্য হ্রাস করে এবং প্রজননযোগ্যতা উন্নত করে।

বর্ধিত সরঞ্জাম আপটাইম:TaC আবরণ গাইড রিং এর স্থায়িত্ব এবং বর্ধিত জীবনকাল ঘন ঘন প্রতিস্থাপনের প্রয়োজনীয়তা হ্রাস করে, রক্ষণাবেক্ষণ ডাউনটাইম কমিয়ে দেয় এবং MOCVD সিস্টেমের কর্মক্ষমতা সর্বাধিক করে।