TaC- প্রলিপ্ত সীল রিং

সেমিকোরেক্স TaC-প্রলিপ্ত সীল রিং প্লাজমা এচ কেমিস্ট্রি (যেমন, ফ্লোরিন, ক্লোরিন, ব্রোমিন), ডোপ্যান্টস (যেমন, বোরন, ফসফরাস), আরামদায়ক (যেমন, বোরন, ফসফরাস), অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়ায় নিযুক্ত বিস্তৃত ক্ষয়কারী গ্যাস এবং রাসায়নিকের জন্য অসামান্য জড়তা প্রদর্শন করে। পরিষ্কার এজেন্ট। এই জড়তা সীলের অবক্ষয় এবং সংবেদনশীল প্রক্রিয়া চেম্বারের দূষণ প্রতিরোধ করে।

এবং একটি গলনাঙ্ক 3800°C অতিক্রম করে, TaC-কোটেড সীল রিং ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণের সময় উচ্চতর তাপমাত্রায় এর কাঠামোগত অখণ্ডতা এবং যান্ত্রিক শক্তি বজায় রাখে। এটি উচ্চ-তাপমাত্রা অ্যানিলিং, ডিপোজিশন এবং এচিং প্রক্রিয়ার সময় নির্ভরযোগ্য সিলিং কার্যকারিতা নিশ্চিত করে।

TaC-কোটেড সীল রিং এর চরম কঠোরতা এবং কম ঘর্ষণ সহগ পরিধান, স্ক্র্যাচিং এবং ঘর্ষণে ব্যতিক্রমী প্রতিরোধ প্রদান করে। এটি গতিশীল সিলিং অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে গুরুত্বপূর্ণ যেখানে বারবার গতি বা ওয়েফার এবং অন্যান্য উপাদানগুলির সাথে যোগাযোগ কণা তৈরি এবং সীল ব্যর্থতার দিকে পরিচালিত করতে পারে।

TaC-কোটেড সীল রিং খুব কম আউটগ্যাসিং রেট প্রদর্শন করে, এমনকি উচ্চ তাপমাত্রায়ও, উচ্চ-ভ্যাকুয়াম অ্যাপ্লিকেশনের জন্য তাদের আদর্শ করে তোলে। এটি প্রক্রিয়ার বিশুদ্ধতা নিশ্চিত করে এবং সংবেদনশীল ওয়েফার পৃষ্ঠে অবাঞ্ছিত দূষক জমা হওয়া প্রতিরোধ করে।

সেমিকন্ডাক্টর অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে নির্দিষ্ট সুবিধা:

বর্ধিত সীল জীবনকাল:TaC-কোটেড সীল রিং উল্লেখযোগ্যভাবে রাসায়নিক আক্রমণ, তাপীয় অবক্ষয়, এবং যান্ত্রিক পরিধানে উচ্চতর প্রতিরোধ প্রদান করে সিলের জীবনকাল বৃদ্ধি করে। এটি সীল প্রতিস্থাপনের ফ্রিকোয়েন্সি হ্রাস করে, ডাউনটাইম এবং রক্ষণাবেক্ষণ খরচ কমিয়ে দেয়।

উন্নত প্রক্রিয়া ফলন এবং ওয়েফার গুণমান:TaC-কোটেড সীল রিং এর জড় প্রকৃতি কণা তৈরি এবং দূষণকে কমিয়ে দেয়, যা উচ্চ প্রক্রিয়ার ফলন এবং উন্নত ওয়েফার গুণমানের দিকে পরিচালিত করে। এটি কঠোর ত্রুটি সহনশীলতা সহ উচ্চ-কর্মক্ষমতা সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসগুলির উত্পাদনের জন্য গুরুত্বপূর্ণ।

উন্নত সরঞ্জাম আপটাইম এবং উত্পাদনশীলতা:দীর্ঘ সীল জীবনকাল এবং হ্রাস রক্ষণাবেক্ষণ প্রয়োজনীয়তা সরঞ্জাম আপটাইম এবং সামগ্রিক উত্পাদনশীলতা বৃদ্ধিতে অবদান রাখে। আউটপুট সর্বাধিক করার জন্য এবং উচ্চ-ভলিউম সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনের চাহিদা মেটানোর জন্য এটি অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ।