SiC সিরামিক প্যাডেল

Semicorex SiC সিরামিক প্যাডেল হল একটি উন্নত অংশ যা অক্সিডেশন এবং ডিফিউশনের মতো উচ্চ-তাপমাত্রার সেমিকন্ডাক্টর ফার্নেস অ্যাপ্লিকেশনের জন্য তৈরি করা হয়েছিল। প্যাডেল উচ্চ তাপমাত্রায় ওয়েফারগুলিকে ধরে রাখতে এবং সরানোর জন্য ক্যান্টিলিভার সমর্থন হিসাবে কাজ করে। Semicorex SiC সিরামিক প্যাডেল উচ্চ-তাপমাত্রার প্রক্রিয়াগুলিতে উচ্চ-বিশুদ্ধতা, উচ্চ-শক্তির সিরামিক উপাদান দেয় যা উত্পাদন প্রক্রিয়ার মাধ্যমে নির্ভরযোগ্যতা, স্থিতিশীলতা এবং কর্মক্ষমতা দাবি করে।

প্যাডেল উচ্চ বিশুদ্ধতা থেকে উত্পাদিত হয়সিলিকন কার্বাইড (SiC), বিশেষভাবে একটি সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়ার কঠিন তাপ এবং রাসায়নিক পরিবেশ সহ্য করার জন্য প্রণীত। যখন ওয়েফারগুলিকে জারণ এবং প্রসারণের মাধ্যমে চিকিত্সা করা হয়, ওয়েফারটি 1000 ডিগ্রি সেন্টিগ্রেডের বেশি তাপমাত্রার সাথে সাথে অক্সিজেন, বাষ্প বা ডোপান্ট বায়ুমণ্ডলের মতো প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসের সংস্পর্শে আসে। এই তাপমাত্রায়, কাঠামোগত অখণ্ডতা উপাদানের বিশুদ্ধতার উপর নির্ভর করবে।

SiC সিরামিক প্যাডেলগুলির আরেকটি গুরুত্বপূর্ণ বৈশিষ্ট্য হল উচ্চ তাপমাত্রায় তাদের দুর্দান্ত কর্মক্ষমতা। SiC-এর গলনাঙ্ক 2700+C হওয়ার কারণে, উচ্চ তাপমাত্রার সংস্পর্শে এলে প্যাডেলগুলি শক্তি এবং যান্ত্রিক স্থিতিশীলতা বজায় রাখে

সময়ের সাথে peratures. তাপীয় সম্পত্তি উত্পাদন পরিবেশে দীর্ঘ পরিষেবা জীবন প্রদান করার সময় বারবার গরম এবং শীতল চক্রের সময় উপাদানের ওয়ারপিং এবং ক্র্যাকিং সীমাবদ্ধ করে।

সেমিকন্ডাক্টরগুলির প্রক্রিয়াকরণ একটি অতি-পরিচ্ছন্ন পরিবেশের দাবি করে কারণ এমনকি অমেধ্যের পরিমাণও যন্ত্রের ফলন এবং আচরণকে প্রভাবিত করতে পারে। প্যাডেলগুলিতে ব্যবহৃত SiC উপাদানটিতে একটি রাসায়নিকভাবে বাষ্প জমা (CVD) SiC আবরণ রয়েছে যা ধাতব দূষণকে হ্রাস করার সময় ব্যতিক্রমীভাবে উচ্চ উপাদানের বিশুদ্ধতা প্রচার করে। SiC সিরামিক প্যাডেল তাদের পুরো জীবনকালের জন্য পরিষ্কার এবং স্থিতিশীল থাকে। ক্যান্টিলিভার সমর্থন করে, চুল্লি থেকে সন্নিবেশ এবং অপসারণের সময় প্যাডেলগুলিকে ওয়েফার ক্যারিয়ার বা নৌকাগুলির জন্য একটি নিরাপদ সমর্থন প্রদান করতে হবে। কারণSiCএর অন্তর্নিহিত শক্তি এবং অনমনীয়তা, তারা ন্যূনতম বিচ্যুতি সহ ভাল লোড-ভারিং বৈশিষ্ট্যের অধিকারী, যা সঠিক ওয়েফার পরিচালনা এবং প্রান্তিককরণের জন্য অপরিহার্য। অক্সিডেশন এবং ডিফিউশন ফার্নেসগুলিতে, ক্ষয়কারী বায়ুমণ্ডলগুলি সময়ের সাথে সাথে ঐতিহ্যগত উপকরণগুলিকে আক্রমণ করতে পারে এবং অবনমিত করতে পারে, তবে SiC এর রাসায়নিক স্থিতিশীলতা বজায় রাখার ক্ষমতা রয়েছে, প্যাডেলের ব্যবহারযোগ্য জীবনকে প্রসারিত করে। এর ফলে রক্ষণাবেক্ষণ এবং প্রতিস্থাপন খরচ নাটকীয়ভাবে কমে যায়, যেহেতু প্যাডেলগুলি প্রায়ই প্রতিস্থাপন বা মেরামত করার প্রয়োজন হয় না।

কর্মক্ষমতা ছাড়াও, নির্দিষ্ট সরঞ্জাম এবং প্রক্রিয়াগুলির জন্য প্যাডেলগুলি কাস্টমাইজ করার ক্ষেত্রে নমনীয়তা রয়েছে। মাত্রা, সহনশীলতা, এবং পৃষ্ঠের ফিনিসগুলি ফার্নেস ডিজাইন এবং অন্য কোনও ওয়েফার হ্যান্ডলিং সিস্টেমের মধ্যে ফিট নিশ্চিত করার জন্য নমনীয় করা যেতে পারে। সিরামিকের নির্ভুল যন্ত্রের সাথে উচ্চ মাত্রার মাত্রিক নির্ভুলতা অর্জন করার ক্ষমতা জটিল জ্যামিতি পূরণের জন্য প্যাডেল তৈরি করার অনুমতি দেবে। বৈশিষ্ট্যগুলির এই সম্পূর্ণ পরিসরটি বিদ্যমান উত্পাদন লাইনগুলিতে বিরামবিহীন অপারেশন এবং সহজ একীকরণ প্রদানের উদ্দেশ্যে করা হয়েছে।

SiC সিরামিকউচ্চ বিশুদ্ধতা, তাপীয় স্থিতিশীলতা, যান্ত্রিক শক্তি এবং রাসায়নিক প্রতিরোধের সংমিশ্রণ সহ প্যাডেলগুলি অর্ধপরিবাহী অক্সিডেশন এবং প্রসারণ প্রক্রিয়ায় অপরিহার্য উপাদান। ওয়েফার স্থানান্তরের জন্য একটি স্থিতিশীল, পরিষ্কার প্ল্যাটফর্ম প্রদান করে, তারা সরাসরি ফলন, প্রক্রিয়ার সামঞ্জস্যতা এবং সামগ্রিক উত্পাদন দক্ষতাতে অবদান রাখে।