কোয়ার্টজ সাসেপ্টর সাপোর্ট

সেমিকোরেক্স কোয়ার্টজ সাসেপ্টর সাপোর্ট বিশেষভাবে সেমিকন্ডাক্টর এপিটাক্সিয়াল ফার্নেসের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। এর উচ্চ-বিশুদ্ধতা উপকরণ এবং সুনির্দিষ্ট কাঠামো প্রতিক্রিয়া চেম্বারের মধ্যে ট্রে বা নমুনা ধারকদের সঠিক উত্তোলন এবং অবস্থান নিয়ন্ত্রণ সক্ষম করে। সেমিকোরেক্স উন্নত প্রক্রিয়াকরণ প্রযুক্তি এবং কঠোর মান নিয়ন্ত্রণের মাধ্যমে উচ্চ-শূন্য, উচ্চ-তাপমাত্রা, এবং অত্যন্ত ক্ষয়কারী সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়া পরিবেশে প্রতিটি সমর্থন উপাদানের দীর্ঘমেয়াদী কর্মক্ষমতা স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করে কাস্টমাইজড উচ্চ-বিশুদ্ধতা কোয়ার্টজ সমাধান প্রদান করতে পারে।*

অনুসন্ধান পাঠান

পণ্যের বর্ণনা

সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনের কঠোর পরিবেশে, একটি উচ্চ-ফলন ব্যাচ এবং একটি ব্যয়বহুল ব্যর্থতার মধ্যে পার্থক্য প্রায়শই ওয়েফার অবস্থানের মাইক্রোস্কোপিক নির্ভুলতার মধ্যে থাকে। সেমিকোরেক্স কোয়ার্টজ সাসেপ্টর সাপোর্ট শ্যাফ্ট (সাধারণত এপিটাক্সিয়াল কোয়ার্টজ শ্যাফ্ট হিসাবে উল্লেখ করা হয়) রাসায়নিক বাষ্প জমা (সিভিডি) এবং এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধির প্রক্রিয়াগুলির আক্ষরিক মেরুদণ্ড হিসাবে কাজ করে। চরম তাপীয় গ্রেডিয়েন্ট এবং রাসায়নিক এক্সপোজার সহ্য করার জন্য প্রকৌশলী, এই উপাদানটি তরল, উল্লম্ব চলাচল এবং সাসেপ্টর বা ওয়েফার ক্যারিয়ারের ঘূর্ণনের জন্য গুরুত্বপূর্ণ।

এপিটাক্সিয়াল প্রসেসে কোয়ার্টজের ভূমিকা

এপিটাক্সিয়াল প্রক্রিয়ার জন্য প্রায়শই তাপমাত্রা 1000 ডিগ্রি সেলসিয়াসের বেশি এবং এমনকি সামান্য ধাতব দূষণ থেকে মুক্ত পরিবেশ প্রয়োজন। স্ট্যান্ডার্ড উপকরণ এই অবস্থার অধীনে ব্যর্থ বা outgas হবে. আমাদের কোয়ার্টজ সাসেপ্টর সাপোর্ট অতি-উচ্চ-বিশুদ্ধতা সিন্থেটিক ফিউজড সিলিকা থেকে তৈরি করা হয়, নিশ্চিত করে:

ব্যতিক্রমী তাপীয় স্থিতিশীলতা:তাপীয় শকের উচ্চ প্রতিরোধ, দ্রুত গরম এবং শীতল চক্রের সময় ক্র্যাকিং প্রতিরোধ করে।

রাসায়নিক জড়তা:সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারের অখণ্ডতা বজায় রেখে অগ্রদূত গ্যাস এবং পরিষ্কারের এজেন্টগুলির সাথে অ-প্রতিক্রিয়াশীল।

ন্যূনতম দূষণ:প্রতি মিলিয়ন (পিপিএম) অংশে অশুদ্ধতার মাত্রা পরিমাপ করে, এটি অবাঞ্ছিত উপাদানগুলির সাথে বায়ুমণ্ডলকে "ডোপিং" প্রতিরোধ করে।

quartz machined

মূল ফাংশন এবং প্রযুক্তিগত সুবিধা

কোয়ার্টজ সাসেপ্টর সাপোর্টের প্রাথমিক কাজ হল সাসেপ্টরের উল্লম্ব এবং ঘূর্ণনশীল আন্দোলনকে সহজতর করা - যে প্লেটটি সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার ধারণ করে।

1. যথার্থ উল্লম্ব পজিশনিং

একটি সাধারণ চুল্লিতে, ওয়েফার পৃষ্ঠ এবং গ্যাস ইনলেটের মধ্যে দূরত্ব ফিল্মের অভিন্নতা নির্ধারণ করে। আমাদের কোয়ার্টজ শ্যাফ্টগুলি সাব-মিলিমিটার সহনশীলতায় মেশিন করা হয়। এটি সরঞ্জামের গতি নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থাকে নিখুঁত পুনরাবৃত্তিযোগ্যতার সাথে সাসেপ্টরকে বাড়াতে বা কমানোর অনুমতি দেয়, এটি নিশ্চিত করে যে উত্পাদন চালানোর প্রতিটি ওয়েফার অভিন্ন গ্যাস-প্রবাহ গতিশীলতার অভিজ্ঞতা লাভ করে।

2. বিজোড় গতি এবং স্থানান্তর

উচ্চ-ভলিউম ম্যানুফ্যাকচারিং (HVM) এর দক্ষতা ওয়েফার পরিচালনার গতির উপর নির্ভর করে। শীট-টাইপ ডিজাইন এবং সাপোর্ট শ্যাফ্টের শক্তিশালী কাঠামোগত পাঁজর নিশ্চিত করে যে এটি ভারী গ্রাফাইটের ওজন বহন করতে পারে বাসিলিকন কার্বাইড (SiC) প্রলিপ্ত সাসেপ্টরনত বা কম্পন ছাড়া এই স্থিতিশীলতা বিভিন্ন প্রসেসিং চেম্বার বা ওয়ার্কস্টেশনের মধ্যে নমুনা দ্রুত স্থানান্তরের জন্য অপরিহার্য, ডাউনটাইম কমিয়ে।

3. অপ্টিমাইজড তাপ নিরোধক

যদিও সাসেপ্টর অবশ্যই গরম হতে হবে, নীচের যান্ত্রিক উপাদানগুলিকে প্রায়শই ঠান্ডা থাকতে হবে।কোয়ার্টজএকটি প্রাকৃতিক তাপ নিরোধক হিসাবে কাজ করে। শ্যাফটের ফাঁপা, টিউব-সদৃশ কাঠামো তাপ সঞ্চালনের পথকে হ্রাস করে, চুল্লির গোড়ায় অবস্থিত মোটর এবং ভ্যাকুয়াম সিলগুলিকে রক্ষা করে।

সম্পত্তি	মান
উপাদান	উচ্চ-বিশুদ্ধতা মিশ্রিত কোয়ার্টজ (SiO2 > 99.99%)
অপারেটিং টেম্প	1200°C পর্যন্ত (একটানা)
সারফেস ফিনিশ	পালিশ
ডিজাইনের ধরন	ত্রিমুখী সাসেপ্টর সাপোর্ট / শ্যাফট-টাইপ
আবেদন	MOCVD, CVD, Epitaxy, এবং ডিফিউশন ফার্নেস