কোয়ার্টজ ফার্নেস টিউব

সেমিকোরেক্স কোয়ার্টজ ফার্নেস টিউব, ওয়েফার বোট, সিলিকন একক ক্রিস্টাল বৃদ্ধির জন্য কোয়ার্টজ ক্রুসিবল সবই উচ্চ-বিশুদ্ধতা দিয়ে তৈরিকোয়ার্টজ উপাদানl কোয়ার্টজ সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়, উচ্চ-বিশুদ্ধতা কোয়ার্টজ ওয়েফার ফ্যাব্রিকেশনে গুরুত্বপূর্ণ ব্যবহারযোগ্য। সেমিকন্ডাক্টর ফিল্ডে কোয়ার্টজ অংশগুলির প্রধান লক্ষ্য বাজার হল ওয়েফার ফ্যাব্রিকেশনে প্রসারণ এবং এচিং প্রক্রিয়া, দুটি প্রধান বিভাগে বিভক্ত করা যেতে পারে: উচ্চ-তাপমাত্রার অংশ এবং নিম্ন-তাপমাত্রার অংশ।

1. উচ্চ-তাপমাত্রার অংশগুলি হল কোয়ার্টজ ফার্নেস টিউব, ওয়েফার বোট, বোট হোল্ডার এবং ইত্যাদি। তাদের উচ্চ-তাপমাত্রার পরিবেশে সিলিকন ওয়েফারের সাথে প্রত্যক্ষ বা পরোক্ষভাবে যোগাযোগ করতে হবে, প্রধানত তাপ প্রক্রিয়াকরণের মাধ্যমে উত্পাদিত কোয়ার্টজ গ্লাস উপাদান দিয়ে তৈরি।

2. নিম্ন-তাপমাত্রার অংশগুলি এচিং প্রক্রিয়ায় কোয়ার্টজ রিং, এবং ক্যাসেট সহ, পরিষ্কারের প্রক্রিয়ায় ট্যাঙ্ক পরিষ্কার করা। এগুলি প্রধানত নিম্ন-তাপমাত্রার পরিবেশে ব্যবহৃত হয়, যা মূলত ফিউজড কোয়ার্টজ গ্লাস দিয়ে তৈরি, ঠান্ডা প্রক্রিয়াকরণের মাধ্যমে উত্পাদিত হয়।

উচ্চ-তাপমাত্রার অঞ্চলের উপাদানগুলি আরও দ্রুত ব্যবহার করা হয়, তবে সেগুলি সাধারণত মাল্টি-ওয়েফার সিস্টেমে ব্যবহৃত হয় (একটি ক্যারিয়ার একাধিক সিলিকন ওয়েফার ধারণ করে), যখন নিম্ন-তাপমাত্রার অঞ্চলের উপাদানগুলি আরও ধীরে ধীরে খাওয়া হয়, তবে সেগুলি একক-ওয়েফার সিস্টেমে ব্যবহৃত হয় (একটি ক্যারিয়ার একটি সিলিকন ওয়েফার ধারণ করে); অতএব, উভয়ের জন্য সামগ্রিক বাজারের আকার তুলনামূলকভাবে একই।

চুল্লি হল সেই এলাকা যেখানে ওয়েফারগুলি উচ্চ-তাপমাত্রা গরম করার প্রক্রিয়ার মধ্য দিয়ে যায়, কোয়ার্টজ ফার্নেস টিউব, চুল্লি এবং বেশ কয়েকটি হিটার দ্বারা গঠিত, এটি অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াকরণে ছড়িয়ে পড়া, অক্সিডেশন, আরটিপি প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যাপকভাবে প্রয়োগ করা হয়। চুল্লি প্রধানত অনুভূমিক এবং উল্লম্ব প্রকারে বিভক্ত:. একটি অনুভূমিক চুল্লিতে, ওয়েফারগুলি একটি কোয়ার্টজ বোটে স্থাপন করা হয়, যা ঘুরে একটি SiC ক্যারিয়ারে স্থাপন করা হয়। এছাড়াও সামনে এবং পিছনে অভিযোজিত baffles আছে. ক্যারিয়ারকে কোয়ার্টজ ফার্নেস টিউবে ধাক্কা দেওয়া হয় এবং ওয়েফারগুলি একটি ধ্রুবক তাপমাত্রা অঞ্চলে প্রতিক্রিয়া সহ্য করে। একটি উল্লম্ব চুল্লিতে, ওয়েফারগুলি একটি কোয়ার্টজ টাওয়ারে স্থাপন করা হয় এবং তারপর ধীরে ধীরে প্রক্রিয়াকরণের জন্য কোয়ার্টজ ফার্নেস টিউবে উত্থাপিত হয়।

উপরের প্রক্রিয়াগুলির সাথে জড়িত উচ্চ তাপমাত্রার কারণে, বারবার এবং দীর্ঘায়িত ব্যবহারের পরে কোয়ার্টজ ফার্নেস টিউবের মারাত্মক বিকৃতি এবং পতন রোধ করার জন্য, একটি কোয়ার্টজ ফার্নেস টিউব যা বিকৃতি এবং ধসে প্রতিরোধী এবং উত্পাদনের সময় দীর্ঘ পরিষেবা জীবন ব্যবহার করা উচিত।

এখানে এর সুবিধা রয়েছেকোয়ার্টজচুল্লি নল:

1. উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধের. কোয়ার্টজ গ্লাসের একটি নরমকরণ বিন্দু প্রায় 1730 ℃ এবং 1150 ℃ এ বর্ধিত সময়ের জন্য ব্যবহার করা যেতে পারে, একটি স্বল্পমেয়াদী সর্বোচ্চ তাপমাত্রা 1450 ℃ পৌঁছে।

2. জারা প্রতিরোধের. হাইড্রোফ্লুরিক অ্যাসিড ব্যতীত, উচ্চ-বিশুদ্ধতা কোয়ার্টজ খুব কমই অন্যান্য অ্যাসিডিক পদার্থের সাথে রাসায়নিকভাবে বিক্রিয়া করে। উচ্চ তাপমাত্রায়, এটি সালফিউরিক অ্যাসিড, নাইট্রিক অ্যাসিড, হাইড্রোক্লোরিক অ্যাসিড, অ্যাকোয়া রেজিয়া, নিরপেক্ষ লবণ, কার্বন এবং সালফার থেকে ক্ষয় সহ্য করতে পারে। এর অ্যাসিড প্রতিরোধ ক্ষমতা সিরামিকের 30 গুণ এবং স্টেইনলেস স্টিলের 150 গুণ।  এর রাসায়নিক স্থিতিশীলতা, বিশেষ করে উচ্চ তাপমাত্রায়, অন্য কোনো প্রকৌশল উপাদানের সাথে তুলনা করা যায় না।

3. ভাল তাপ স্থায়িত্ব. উচ্চ-বিশুদ্ধতা কোয়ার্টজের তাপ সম্প্রসারণের একটি অত্যন্ত কম গুণাঙ্ক রয়েছে এবং তা তীব্র তাপমাত্রা পরিবর্তন সহ্য করতে পারে।  উচ্চ-বিশুদ্ধতার কোয়ার্টজকে প্রায় 1100℃ এ গরম করে তারপর ঘরের তাপমাত্রার পানিতে ডুবিয়ে রাখলে এটি ভেঙে যাবে না।

4. ভাল আলো সংক্রমণ কর্মক্ষমতা. উচ্চ-বিশুদ্ধতা কোয়ার্টজের অতিবেগুনী থেকে ইনফ্রারেড পর্যন্ত সমগ্র বর্ণালী জুড়ে ভাল আলো সংক্রমণ কর্মক্ষমতা রয়েছে। দৃশ্যমান আলো ট্রান্সমিট্যান্স 93% এর উপরে, এবং অতিবেগুনী বর্ণালীতে, সর্বাধিক ট্রান্সমিট্যান্স 80% এর উপরে পৌঁছাতে পারে।

5. ভাল বৈদ্যুতিক নিরোধক কর্মক্ষমতা. উচ্চ-বিশুদ্ধতা কোয়ার্টজের প্রতিরোধ ক্ষমতা সাধারণ কোয়ার্টজ কাচের চেয়ে দশ হাজার গুণ বেশি, এটি একটি চমৎকার বৈদ্যুতিক নিরোধক উপাদান তৈরি করে, এমনকি উচ্চ তাপমাত্রায়ও ভাল বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্যের অধিকারী।