ছিদ্রযুক্ত অ্যালুমিনা ভ্যাকুয়াম চক

সেমিকোরেক্স পোরাস অ্যালুমিনা ভ্যাকুয়াম চক হল ভ্যাকুয়াম সাকশন নীতি ব্যবহার করে পণ্যগুলিকে ঠিক করার ক্যারিয়ার প্ল্যাটফর্ম, স্থানান্তর ভ্যাকুয়ামের অংশটি সাধারণত অ্যালুমিনা ছিদ্রযুক্ত সিরামিক প্লেট। ছিদ্রযুক্ত সিরামিক প্লেটটি ভিত্তির কাউন্টারসাঙ্ক গর্তে তৈরি করা হয়, এর ঘেরটি বেসের সাথে বন্ধন এবং সিল করা হয় এবং বেসটি ঘন সিরামিক বা ধাতব পদার্থ দ্বারা মেশিন করা হয়। কাজের পরিবেশে মাইনাস চাপের অধীনে, চকটি বায়ু আঁকতে সিরামিক প্লেটের ভিতরে ছিদ্রযুক্ত কাঠামোর মাধ্যমে ভ্যাকুয়াম পাম্পের সাথে সংযুক্ত থাকে, যার ফলে ওয়েফারের নীচের অংশটি একটি ভ্যাকুয়াম এলাকা তৈরি করে যা বাহ্যিক বায়ুমণ্ডলীয় চাপের চেয়ে অনেক কম। শক্তিশালী চাপের পার্থক্যের প্রভাবে, ওয়েফারটি চাকের পৃষ্ঠের সাথে দৃঢ়ভাবে সংযুক্ত থাকে। সাধারণত, ওয়েফারের নীচে ভ্যাকুয়াম ডিগ্রি যত বেশি হবে, চক এবং ওয়ার্কপিসের মধ্যে আনুগত্য তত শক্ত হবে এবং শোষণ শক্তি তত বেশি হবে।

সেমিকন্ডাক্টর এবং মাইক্রোইলেক্ট্রনিক্স শিল্পে, নির্ভুলতা কেবল একটি প্রয়োজনীয়তা নয় - এটি একটি মান। ছিদ্রযুক্ত অ্যালুমিনা ভ্যাকুয়াম চক (একটি সিরামিক ভ্যাকুয়াম চক নামেও পরিচিত) একটি গুরুত্বপূর্ণ উপাদান যা লিথোগ্রাফি, পরিদর্শন এবং ডাইসিং প্রক্রিয়ার সময় সূক্ষ্ম স্তরগুলির জন্য অভিন্ন, নন-ম্যারিং সাকশন প্রদানের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে।

একটি ছিদ্রযুক্ত অ্যালুমিনা ভ্যাকুয়াম চক কি?

প্রথাগত ধাতব চকগুলির বিপরীতে যা স্তন্যপান তৈরি করতে মেশিনযুক্ত খাঁজ ব্যবহার করে, একটি ছিদ্রযুক্ত সিরামিক চক একটি বিশেষ মাইক্রোস্কোপিক ছিদ্র কাঠামো ব্যবহার করে। এটি ওয়ার্কপিসের পুরো পৃষ্ঠ জুড়ে ভ্যাকুয়াম চাপকে সমানভাবে বিতরণ করার অনুমতি দেয়, "ডিম্পলিং" বা বিকৃতি রোধ করে যা প্রায়শই খাঁজযুক্ত নকশার সাথে দেখা যায়।

মূল প্রযুক্তিগত বিশেষ উল্লেখ

এই উপাদানগুলির কার্যকারিতা বোঝার জন্য, আমরা উচ্চ-বিশুদ্ধতা Al2O3 এর উপাদান বৈশিষ্ট্যগুলি দেখি:

কেন ঐতিহ্যগত উপকরণের চেয়ে ছিদ্রযুক্ত অ্যালুমিনা বেছে নিন?

1. উচ্চতর সমতলতা এবং অভিন্নতা

মাইক্রোস্কোপিক ছিদ্র কাঠামো নিশ্চিত করে যে ভ্যাকুয়াম বল যোগাযোগ এলাকার 100% প্রয়োগ করা হয়েছে। শিল্পের তথ্য অনুসারে, ইউনিফর্ম সাকশন প্রথাগত গ্রুভড স্টেইনলেস স্টিল চাকের তুলনায় ওয়েফার স্ট্রেসকে 40% পর্যন্ত কমিয়ে দেয়।

2. উচ্চ তাপ স্থায়িত্ব

অ্যালুমিনা সিরামিকের তাপ সম্প্রসারণের (CTE) সহগ কম থাকে। উচ্চ-তাপমাত্রা প্রক্রিয়াকরণ বা লেজার-ভিত্তিক পরিদর্শনে, চক তার মাত্রা বজায় রাখে, নিশ্চিত করে যে ফোকাস গভীরতা স্থির থাকে।

3. ESD এবং দূষণ নিয়ন্ত্রণ

উচ্চ-বিশুদ্ধতা অ্যালুমিনা রাসায়নিকভাবে নিষ্ক্রিয় এবং প্রাকৃতিকভাবে জারা প্রতিরোধী। তদুপরি, বিশেষায়িত "ব্ল্যাক অ্যালুমিনা" বা অ্যান্টি-স্ট্যাটিক আবরণগুলি ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক ডিসচার্জ (ESD) প্রতিরোধ করতে প্রয়োগ করা যেতে পারে, যা কিছু পরিবেশে প্রায় 25% সেমিকন্ডাক্টরের ফলন ক্ষতির জন্য দায়ী।

হাই-টেক ম্যানুফ্যাকচারিং এ প্রাথমিক অ্যাপ্লিকেশন

সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার প্রসেসিং

প্রাথমিক ব্যবহারের ক্ষেত্রে ফটোলিথোগ্রাফি এবং ওয়েফার প্রোবিং। চরম সমতলতা (<2μm) নিশ্চিত করে যে ওয়েফারটি উন্নত অপটিক্যাল সিস্টেমের সরু গভীরতার-ক্ষেত্রের মধ্যে থাকে।

থিন-ফিল্ম সোলার সেল উৎপাদন

নমনীয় বা অত্যন্ত পাতলা স্তরগুলির জন্য, ঐতিহ্যগত ভ্যাকুয়াম চ্যানেলগুলি শারীরিক ক্ষতির কারণ হতে পারে। ছিদ্রযুক্ত সিরামিকের "শ্বাসযোগ্য" পৃষ্ঠটি একটি মৃদু বায়ু কুশন বা সাকশন প্লেট হিসাবে কাজ করে, ভঙ্গুর স্তরগুলিকে রক্ষা করে।

অপটিক্যাল লেন্স নাকাল

ছিদ্রযুক্ত অ্যালুমিনা নির্ভুলতা গ্রাইন্ডিংয়ের সময় লেন্সগুলি ধরে রাখতে ব্যবহৃত হয়, যেখানে কোনও কম্পন বা অসম চাপের ফলে অপটিক্যাল বিকৃতি ঘটে।

প্রায়শই জিজ্ঞাসিত প্রশ্ন (FAQ)

প্রশ্ন 1: আপনি কীভাবে একটি ছিদ্রযুক্ত অ্যালুমিনা ভ্যাকুয়াম চক পরিষ্কার করবেন?

উত্তর: স্তন্যপান বজায় রাখার জন্য পরিষ্কার করা গুরুত্বপূর্ণ। আমরা ডিওনাইজড জল বা বিশেষ দ্রাবকগুলিতে অতিস্বনক পরিষ্কার করার পরামর্শ দিই। কারণ অ্যালুমিনা রাসায়নিকভাবে স্থিতিশীল, এটি বেশিরভাগ অ্যাসিড বা ক্ষারীয় ক্লিনার সহ্য করতে পারে। ছিদ্র থেকে আর্দ্রতা অপসারণের জন্য চকটি শুকনো বেক করা হয়েছে তা নিশ্চিত করুন।

প্রশ্ন 2: ছিদ্রের আকার নির্দিষ্ট সাবস্ট্রেটের জন্য কাস্টমাইজ করা যেতে পারে?

উঃ হ্যাঁ। ছোট ছিদ্রগুলি (প্রায় 10μm - 20μm) অতি-পাতলা ফিল্মের জন্য "প্রিন্ট-থ্রু" প্রতিরোধ করতে ভাল, যখন বড় ছিদ্রগুলি ভারী বা আরও ছিদ্রযুক্ত ওয়ার্কপিসের জন্য উচ্চ বায়ুপ্রবাহ সরবরাহ করে।

প্রশ্ন 3: সর্বাধিক অপারেটিং তাপমাত্রা কি?

উত্তর: যখন সিরামিক নিজেই 1500℃ এর বেশি তাপমাত্রা সহ্য করতে পারে, তখন ভ্যাকুয়াম চক সমাবেশ (সিল এবং হাউজিং সহ) সাধারণত বন্ধন পদ্ধতির উপর নির্ভর করে 250℃ থেকে 400℃ পর্যন্ত রেট করা হয়।