সেমিকোরেক্স পিইসিভিডি সোলার গ্রাফাইট বোট হল অপরিহার্য গ্রাফাইট ক্যারিয়ার এবং ইলেক্ট্রোড উপাদান যা প্লাজমা-বর্ধিত রাসায়নিক বাষ্প জমা (PECVD) প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহৃত হয়। চ্যালেঞ্জিং উচ্চ-তাপমাত্রা প্লাজমা অপারেটিং পরিস্থিতিতে ফিল্ম জমা (যেমন সিলিকন নাইট্রাইড অ্যান্টি-রিফ্লেক্টিভ ফিল্ম) অর্জনের জন্য সিলিকন ওয়েফার বা সৌর কোষকে সমর্থন করার জন্য এগুলি ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।
সেমিকোরেক্সPECVD সৌর গ্রাফাইট নৌকাউচ্চ বিশুদ্ধতা থেকে নির্ভুলতা তৈরি হয়আইসোস্ট্যাটিক গ্রাফাইট. সেমিকোরেক্সের প্রতিটি PECVD সোলার গ্রাফাইট বোট উচ্চ-তাপমাত্রার প্লাজমা পরিবেশে স্থিতিশীল কর্মক্ষমতা নিশ্চিত করতে সুনির্দিষ্ট যন্ত্র, মাত্রিক পরিদর্শন এবং বৈদ্যুতিক কর্মক্ষমতা পরীক্ষার মধ্য দিয়ে যায়।
PECVD প্রক্রিয়াকরণের সময়, PECVD সৌর গ্রাফাইট নৌকা PECVD প্রতিক্রিয়া চেম্বারে সিলিকন ওয়েফার বহন করে এবং RF পাওয়ার সাপ্লাইয়ের সাথে সংযুক্ত ইলেক্ট্রোড হিসাবে কাজ করে। সংলগ্ন বোট প্লেটের মধ্যে একটি বিকল্প ভোল্টেজ প্রয়োগ করা হলে, একটি বৈদ্যুতিক ক্ষেত্র প্রতিষ্ঠিত হয়। বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের প্রভাবে, প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসগুলি (যেমন সিলেন SiH₄ এবং অ্যামোনিয়া NH₃) গ্লো ডিসচার্জের মধ্য দিয়ে যায় এবং প্লাজমা তৈরি করে। প্লাজমাতে আয়ন এবং মুক্ত র্যাডিকেলগুলি পূর্ববর্তী গ্যাসগুলিকে পচিয়ে সিলিকন (Si) এবং নাইট্রোজেন (N) আয়ন তৈরি করে। এই আয়নগুলি একত্রিত হয়ে সিলিকন নাইট্রাইড (Si₃N₄) অণু তৈরি করে, যা সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠে জমা হয়ে পাতলা ফিল্ম তৈরি করে।
1. ব্যতিক্রমী তাপ স্থিতিশীলতা
সিলিকন ওয়েফারের কাছাকাছি তাপীয় প্রসারণ সহগ সহ, সেমিকর্ক্সPECVD সৌর গ্রাফাইট নৌকাগরম করার সময় নগণ্য মাত্রিক পরিবর্তন অনুভব করে, যা ওয়েফারগুলির তাপীয় চাপ-প্ররোচিত ক্ষতিকে নির্ভরযোগ্যভাবে এড়ায়।
2. উচ্চতর বৈদ্যুতিক এবং তাপ পরিবাহিতা
সেমিকোরেক্স পিইসিভিডি সৌর গ্রাফাইট বোটগুলির চমৎকার বৈদ্যুতিক পরিবাহিতা রয়েছে, যা RF কারেন্টের দ্রুত সঞ্চালন এবং অভিন্ন বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের বন্টন নিশ্চিত করে, যা স্থিতিশীল প্লাজমা উৎপাদন এবং অভিন্ন সিলিকন ওয়েফার জমার জন্য উপকারী। উপরন্তু, এর উচ্চতর তাপ পরিবাহিতা দ্রুত শীতলকরণ এবং গরম করার সুবিধা প্রদান করে, উৎপাদন দক্ষতার উন্নতি করে এবং স্থানীয়ভাবে অতিরিক্ত গরম হওয়াকে জমার গুণমানকে প্রভাবিত করা থেকে বাধা দেয়।
3. শক্তিশালী রাসায়নিক স্থায়িত্ব
প্রিমিয়াম-গ্রেড উপাদান ব্যবহারের জন্য ধন্যবাদ, সেমিকোরেক্স পিইসিভিডি সৌর গ্রাফাইট বোট প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস এবং প্লাজমার সাথে প্রতিক্রিয়ার জন্য কম প্রবণ। এই বৈশিষ্ট্যটি উল্লেখযোগ্যভাবে গ্রাফাইট বোটে ক্ষয়, বিকৃতি বা অপরিচ্ছন্নতা জমার কারণে সৃষ্ট অসম বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের বন্টন প্রতিরোধ করে, এইভাবে জমা প্রক্রিয়ার স্থায়িত্ব এবং সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠের গুণমান নিশ্চিত করে।
4. অসামান্য যান্ত্রিক শক্তি
এর অসামান্য যান্ত্রিক শক্তির সাথে, সেমিকোরেক্স পিইসিভিডি সৌর গ্রাফাইট বোটটি উচ্চ-ভলিউম ওয়েফার লোডের ওজন সহজে পরিচালনা করতে পারে। তারা সহজেই বিকৃত বা ভাঙা ছাড়াই দীর্ঘ সময়ের জন্য লোডিং এবং পরিবহনের সময় উত্পন্ন যান্ত্রিক চাপ সহ্য করতে পারে।
5. চমৎকার মাত্রিক সামঞ্জস্য
সেমিকোরেক্স পিইসিভিডি সোলার গ্রাফাইট বোট নির্ভুল যন্ত্রের মাধ্যমে সমস্ত উপাদান জুড়ে ব্যতিক্রমী মাত্রিক নির্ভুলতা অর্জন করে। এটি জমা করার সময় সিলিকন ওয়েফারকে একটি নির্দিষ্ট অবস্থানে রাখে, যা স্বয়ংক্রিয় উত্পাদনের সাথে অভিন্ন জমা এবং সামঞ্জস্যতা নিশ্চিত করে।