গ্রাফাইট সাসেপ্টর হল এমওসিভিডি সরঞ্জামের অন্যতম অপরিহার্য অংশ, ওয়েফার সাবস্ট্রেটের বাহক এবং হিটার। এর তাপীয় স্থিতিশীলতা এবং তাপীয় অভিন্নতার বৈশিষ্ট্যগুলি ওয়েফার এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধির গুণমানে একটি নিষ্পত্তিমূলক ভূমিকা পালন করে, যা সরাসরি স্তরের উপকরণগুলির অভিন্নতা এবং বিশুদ্ধতা নির্ধারণ করে, ফলস্......
আরও পড়ুনউচ্চ ভোল্টেজ ক্ষেত্রে, বিশেষ করে 20,000V এর উপরে উচ্চ-ভোল্টেজ ডিভাইসের জন্য, SiC এপিটাক্সিয়াল প্রযুক্তি এখনও বেশ কয়েকটি চ্যালেঞ্জের মুখোমুখি। প্রধান অসুবিধাগুলির মধ্যে একটি হল এপিটাক্সিয়াল স্তরে উচ্চ অভিন্নতা, বেধ এবং ডোপিং ঘনত্ব অর্জন করা। এই ধরনের উচ্চ-ভোল্টেজ ডিভাইস তৈরির জন্য, চমৎকার অভিন্নতা......
আরও পড়ুন