সিলিকন কার্বাইড ওয়েফার বোট

সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে, অক্সিডেশনের মধ্যে ওয়েফারটিকে উচ্চ-তাপমাত্রার পরিবেশে স্থাপন করা জড়িত যেখানে অক্সিজেন একটি অক্সাইড স্তর গঠনের জন্য ওয়েফার পৃষ্ঠ জুড়ে প্রবাহিত হয়। এটি রাসায়নিক অমেধ্য থেকে ওয়েফারকে রক্ষা করে, বর্তনীতে প্রবেশ করা থেকে লিকেজ কারেন্টকে বাধা দেয়, আয়ন ইমপ্লান্টেশনের সময় ছড়িয়ে পড়া রোধ করে এবং এচিংয়ের সময় ওয়েফার স্লিপেজ প্রতিরোধ করে, ওয়েফার পৃষ্ঠে একটি প্রতিরক্ষামূলক ফিল্ম তৈরি করে। এই ধাপে ব্যবহৃত সরঞ্জাম হল একটি জারণ চুল্লি। প্রতিক্রিয়া চেম্বারের প্রধান উপাদানগুলির মধ্যে রয়েছে একটি ওয়েফার বোট, বেস, ফার্নেস লাইনার টিউব, অভ্যন্তরীণ ফার্নেস টিউব এবং তাপ নিরোধক ব্যাফেলস। উচ্চ অপারেটিং তাপমাত্রার কারণে, প্রতিক্রিয়া চেম্বারের মধ্যে উপাদানগুলির জন্য কর্মক্ষমতা প্রয়োজনীয়তাও বেশি।

দওয়েফার নৌকাওয়েফার পরিবহন এবং প্রক্রিয়াকরণের জন্য একটি বাহক হিসাবে ব্যবহৃত হয়। এটিতে উচ্চ ইন্টিগ্রেশন, উচ্চ নির্ভরযোগ্যতা, অ্যান্টি-স্ট্যাটিক বৈশিষ্ট্য, উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধ, পরিধান প্রতিরোধ, বিকৃতি প্রতিরোধ, ভাল স্থিতিশীলতা এবং দীর্ঘ পরিষেবা জীবন এর মতো সুবিধা থাকা উচিত। যেহেতু ওয়েফার অক্সিডেশন তাপমাত্রা প্রায় 800 ℃ এবং 1300 ℃ এর মধ্যে, এবং পরিবেশে ধাতব অমেধ্যের বিষয়বস্তুর জন্য প্রয়োজনীয়তা অত্যন্ত কঠোর, ওয়েফার বোটের মতো মূল উপাদানগুলিতে শুধুমাত্র চমৎকার তাপীয়, যান্ত্রিক এবং রাসায়নিক বৈশিষ্ট্য থাকা উচিত নয়, তবে অত্যন্ত কম ধাতব অমেধ্য সামগ্রীও থাকতে হবে। সাবস্ট্রেটের উপর ভিত্তি করে, এগুলিকে কোয়ার্টজ ওয়েফার বোট, সিলিকন কার্বাইড সিরামিক ওয়েফার বোট ইত্যাদিতে ভাগ করা যেতে পারে। তবে, 7nm-এর নিচে প্রসেস নোডের অগ্রগতি এবং উচ্চ-তাপমাত্রার প্রক্রিয়া উইন্ডোগুলির সম্প্রসারণের সাথে, ঐতিহ্যগত কোয়ার্টজ বোটগুলি ধীরে ধীরে অপ্রতুল হয়ে উঠছে, আংশিক নিয়ন্ত্রণ এবং আংশিক নিয়ন্ত্রণের ক্ষেত্রে। সিলিকন কার্বাইড (SiC) বোটগুলি ধীরে ধীরে ঐতিহ্যগত কোয়ার্টজ সমাধানগুলি প্রতিস্থাপন করছে৷

1. সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিং

চিপ উত্পাদনের উচ্চ-তাপমাত্রার প্রক্রিয়াগুলিতে, যেমন অক্সিডেশন, ডিফিউশন, রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD), এবং আয়ন ইমপ্লান্টেশন, SiC বোটগুলি সিলিকন ওয়েফারগুলিকে সমর্থন করার জন্য ব্যবহৃত হয়, এটি নিশ্চিত করে যে ওয়েফারগুলি উচ্চ তাপমাত্রায় সমতল থাকে এবং জালির মিস্যালাইনমেন্ট বা বিকৃতির গ্যারান্টি দেয়, প্রিচিপিথস দ্বারা সৃষ্ট কর্মক্ষমতার গ্যারান্টি।

2. ফটোভোলটাইক শিল্প

সিলিকন কার্বাইড সিরামিকের চমৎকার যান্ত্রিক শক্তি, তাপীয় স্থিতিশীলতা, উচ্চ-তাপমাত্রা প্রতিরোধ, অক্সিডেশন প্রতিরোধ, তাপ শক প্রতিরোধ এবং রাসায়নিক জারা প্রতিরোধ ক্ষমতা রয়েছে এবং ধাতুবিদ্যা, যন্ত্রপাতি, নতুন শক্তি এবং বিল্ডিং উপকরণ রাসায়নিকের মতো জনপ্রিয় ক্ষেত্রে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। এর কার্যক্ষমতা ফটোভোলটাইক উত্পাদনের তাপীয় প্রক্রিয়াগুলির জন্যও যথেষ্ট, যেমন ডিফিউশন, এলপিসিভিডি (নিম্ন-চাপের রাসায়নিক বাষ্প জমা) এবং TOPcon কোষগুলির জন্য PECVD (প্লাজমা রাসায়নিক বাষ্প জমা)। ঐতিহ্যবাহী কোয়ার্টজ উপকরণের তুলনায়, সিলিকন কার্বাইড সিরামিক উপকরণ যা বোট সাপোর্ট, ছোট নৌকা এবং টিউবুলার পণ্যগুলি তৈরি করতে ব্যবহৃত হয় তা উচ্চতর শক্তি, ভাল তাপীয় স্থিতিশীলতা এবং উচ্চ তাপমাত্রায় কোনও বিকৃতি প্রদান করে না। তাদের আয়ুষ্কাল কোয়ার্টজের চেয়ে পাঁচ গুণেরও বেশি, রক্ষণাবেক্ষণ ডাউনটাইমের কারণে অপারেটিং খরচ এবং শক্তির ক্ষতি উল্লেখযোগ্যভাবে হ্রাস করে। এর ফলে একটি পরিষ্কার খরচের সুবিধা হয় এবং কাঁচামাল ব্যাপকভাবে পাওয়া যায়।

3. তৃতীয় প্রজন্মের সেমিকন্ডাক্টর শিল্প

ধাতব-জৈব রাসায়নিক বাষ্প জমা (MOCVD) প্রতিক্রিয়া চেম্বারে, সিলিকন কার্বাইড বোটগুলি নীলকান্তমণিকে সমর্থন করার জন্য ব্যবহার করা হয়, অ্যামোনিয়া (NH3) এর মতো ক্ষয়কারী গ্যাস পরিবেশ সহ্য করে, তৃতীয় প্রজন্মের সেমিকন্ডাক্টর উপাদানগুলির এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধিকে সমর্থন করে যেমন গ্যালিয়াম এনফিসিয়েন্সি এবং লুইউমিন নাইট্রিডের কার্যক্ষমতা। LED চিপস। সিলিকন কার্বাইড একক স্ফটিক বৃদ্ধিতে, সিলিকন কার্বাইড বোটগুলি সিলিকন কার্বাইড একক ক্রিস্টাল বৃদ্ধির চুল্লিগুলিতে বীজ স্ফটিক সমর্থন হিসাবে কাজ করে, গলিত সিলিকনের উচ্চ-তাপমাত্রার ক্ষয়কারী পরিবেশ সহ্য করে, সিলিকন কার্বাইড একক স্ফটিকের বৃদ্ধির জন্য স্থিতিশীল সমর্থন প্রদান করে এবং সিলিকন কার্বাইড সিঙ্গেল ক্রিস্টালের সিঙ্গেল ক্রিস্টাল তৈরির প্রচার করে।

সেমিকোরেক্স উচ্চ মানের SiC সিরামিক সরবরাহ করেওয়েফার নৌকা. আমাদের পণ্য উচ্চতর তাপ স্থিতিশীলতা, বর্ধিত সেবা জীবন, এবং ব্যতিক্রমী প্রক্রিয়া সামঞ্জস্য প্রদান করার জন্য ইঞ্জিনিয়ার করা হয়. কাস্টমাইজড সমাধান বা অতিরিক্ত প্রযুক্তিগত তথ্যের জন্য, অনুগ্রহ করে নির্দ্বিধায় আমাদের ইঞ্জিনিয়ারিং টিমের সাথে যোগাযোগ করুন।

ফোন: +86-13567891907

ইমেইল: sales@semicorex.com