সিলিকন কার্বাইড ওয়েফার বোট কতটা গুরুত্বপূর্ণ?

সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে, ফটোলিথোগ্রাফি এবং এচিং-এর মতো মূল প্রক্রিয়ার সরঞ্জাম ছাড়াও, অন্য ধরনের মৌলিক উপাদান প্রক্রিয়ার স্থিতিশীলতায় গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে:ওয়েফার নৌকা.

বিশেষ করে সাম্প্রতিক বছরগুলিতে, উচ্চ-তাপমাত্রার প্রক্রিয়া এবং তৃতীয়-প্রজন্মের সেমিকন্ডাক্টরগুলির বিকাশের সাথে, সিলিকন কার্বাইড ওয়েফার বোটগুলি, সিলিকন কার্বাইড দিয়ে তৈরি, শান্তভাবে শিল্পের মান হয়ে উঠছে।

সুতরাং, অর্ধপরিবাহী উত্পাদনে এই আপাতদৃষ্টিতে নগণ্য উপাদানটি কী ভূমিকা পালন করে?

01 একটি ওয়েফার বোটের মৌলিক কার্যাবলী

একটি ওয়েফার বোট হল একটি প্রক্রিয়া ক্যারিয়ার যা ওয়েফার ধরে রাখতে ব্যবহৃত হয়, প্রাথমিকভাবে উচ্চ-তাপমাত্রা প্রক্রিয়াকরণ সরঞ্জামগুলিতে ব্যবহৃত হয়।

সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়ায়, ওয়েফারগুলি একাধিক তাপ প্রক্রিয়াকরণ পদক্ষেপের মধ্য দিয়ে যায়, যেমন প্রসারণ, অক্সিডেশন, অ্যানিলিং এবং রাসায়নিক বাষ্প জমা (সিভিডি)। এই প্রক্রিয়াগুলির সময়, ওয়েফারগুলি সাধারণত ফার্নেস টিউব সরঞ্জামগুলিতে ব্যাচ-প্রসেস করা হয় এবং ওয়েফার বোট নিম্নলিখিত ফাংশনগুলি পরিবেশন করে:

- একাধিক ওয়েফার সমর্থন করে এবং একটি স্থিতিশীল ব্যবধান বজায় রাখে

- উচ্চ-তাপমাত্রার পরিবেশে ওয়েফারগুলির অবস্থানগত স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করা

- সরঞ্জামের সাথে একত্রে অভিন্ন গ্যাস প্রবাহ নিশ্চিত করা

ওয়েফার বোটের গঠন এবং উপাদান বৈশিষ্ট্য সরাসরি তাপ ক্ষেত্রের বিতরণ এবং প্রক্রিয়ার সামঞ্জস্যকে প্রভাবিত করে।

02 সিলিকন কার্বাইড বোটগুলির কাঠামোগত বৈশিষ্ট্য

সিলিকন কার্বাইড নৌকাসাধারণত একটি ফ্রেম নকশা নিয়োগ করে, উচ্চ কাঠামোগত স্থিতিশীলতা প্রদান করে। সাধারণ বৈশিষ্ট্য অন্তর্ভুক্ত:

- সুনির্দিষ্ট ওয়েফার অবস্থানের জন্য মাল্টি-লেয়ার স্লট গঠন

- ওয়েফারের মধ্যে সহজে গ্যাস প্রবাহের জন্য ডিজাইন ওপেন করুন

- উচ্চ তাপমাত্রায় বিকৃতি ঝুঁকি কমাতে উচ্চ-কঠোরতা ফ্রেম

সরঞ্জামের ধরণের উপর নির্ভর করে, নৌকাগুলি উল্লম্ব বা অনুভূমিক কাঠামো হিসাবে ডিজাইন করা যেতে পারে এবং বিভিন্ন ওয়েফার আকারকে সমর্থন করে (যেমন, 6-ইঞ্চি, 8-ইঞ্চি, 12-ইঞ্চি)।

03 উপাদান নির্বাচন: কেনসিলিকন কার্বাইড?

যেহেতু সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াগুলি উচ্চ তাপমাত্রা এবং উচ্চতর পরিচ্ছন্নতার দিকে বিকশিত হয়, তাই কোয়ার্টজ এবং অ্যালুমিনার মতো ঐতিহ্যগত উপকরণগুলি ক্রমবর্ধমান অপর্যাপ্ত। বিপরীতে, সিলিকন কার্বাইড বিভিন্ন কর্মক্ষমতা মাত্রায় সুবিধা প্রদান করে।

1. উচ্চ-তাপমাত্রা প্রতিরোধ: সিলিকন কার্বাইড আনুমানিক 1200℃ থেকে 1400℃ তাপমাত্রা পরিসরে ভাল কাঠামোগত স্থিতিশীলতা প্রদর্শন করে। নির্দিষ্ট উচ্চ-বিশুদ্ধতা বা বিশেষ প্রক্রিয়া অবস্থার অধীনে, এটি এমনকি উচ্চ তাপমাত্রা পরিবেশে ব্যবহার করা যেতে পারে। এটি উচ্চ তাপমাত্রায় ধাতব পদার্থের মতো গলে যাওয়া বা উল্লেখযোগ্য নরম হওয়ার ঘটনা প্রদর্শন করে না।

2. উচ্চ তাপ পরিবাহিতা: সিলিকন কার্বাইড উচ্চ তাপ পরিবাহিতা ধারণ করে, যা ওয়েফারের মধ্যে তাপমাত্রার পার্থক্য কমাতে সাহায্য করে, যার ফলে প্রক্রিয়ার সামঞ্জস্যতা উন্নত হয়।

3. তাপীয় সম্প্রসারণের নিম্ন গুণাঙ্ক: সিলিকন কার্বাইডের তাপ সম্প্রসারণের একটি কম গুণাঙ্ক রয়েছে, যা গরম এবং শীতল করার প্রক্রিয়ার সময় ওয়েফারের উপর তাপীয় চাপের প্রভাবকে হ্রাস করে।

4. রাসায়নিক স্থিতিশীলতা: সিলিকন কার্বাইড বিভিন্ন বায়ুমণ্ডলে ভাল রাসায়নিক স্থিতিশীলতা প্রদর্শন করে, যার মধ্যে রয়েছে অক্সিডাইজিং এবং বায়ুমণ্ডল হ্রাস করা। যাইহোক, এটি এখনও উচ্চ-তাপমাত্রা অক্সিজেন পরিবেশে একটি ধীর জারণ প্রতিক্রিয়া সহ্য করবে, একটি সিলিকন ডাই অক্সাইড প্রতিরক্ষামূলক স্তর গঠন করবে।

5. উপাদানের বিশুদ্ধতা এবং দূষণ নিয়ন্ত্রণ: সেমিকন্ডাক্টর-গ্রেডের সিলিকন কার্বাইড সাধারণত ওয়েফার পৃষ্ঠে দূষণের ঝুঁকি কমাতে অশুদ্ধতা সামগ্রীকে কঠোরভাবে নিয়ন্ত্রণ করে। বিভিন্ন প্রক্রিয়া গ্রেডে ব্যবহৃত উপকরণগুলির মধ্যে উল্লেখযোগ্য পার্থক্য রয়েছে।

04 আবেদন ক্ষেত্র

সিলিকন কার্বাইড বোটগুলি বর্তমানে একাধিক ক্ষেত্রে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়, যার মধ্যে রয়েছে:

- ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট উত্পাদন তাপ প্রক্রিয়াকরণ

- পাওয়ার সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস ম্যানুফ্যাকচারিং (যেমন, SiC ডিভাইস)

- ফটোভোলটাইক সিলিকন ওয়েফারের উচ্চ-তাপমাত্রা প্রক্রিয়াকরণ

- সেমিকন্ডাক্টর উপাদান এবং প্রক্রিয়া গবেষণা এবং উন্নয়ন

উচ্চ তাপমাত্রা, শক্তিশালী ক্ষয় বা উচ্চ পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজন হয় এমন পরিস্থিতিতে এর সুবিধাগুলি আরও বেশি স্পষ্ট।

সেমিকোরেক্স অফারSiC ওয়েফার নৌকা, চুল্লি টিউব, ক্যান্টিলিভার প্যাডেল, ইত্যাদি উচ্চ-তাপমাত্রার চুল্লিতে। আপনার যদি কোনো জিজ্ঞাসা থাকে বা অতিরিক্ত বিবরণের প্রয়োজন হয়, তাহলে অনুগ্রহ করে আমাদের সাথে যোগাযোগ করতে দ্বিধা করবেন না।

যোগাযোগের ফোন # +86-13567891907

ইমেইল: sales@semicorex.com