ভ্যাকুয়াম চক এবং ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চাকের মধ্যে পার্থক্য

সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিং এর অপরিহার্য মূল লিঙ্ক হিসাবে, ওয়েফার হোল্ডিং টেকনোলজির স্থায়িত্ব এবং নির্ভুলতা সরাসরি চিপ উত্পাদন দক্ষতা এবং সমাপ্ত ডিভাইসের গুণমানকে প্রভাবিত করে। ভ্যাকুয়াম চক এবং ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চাকগুলি সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনের জন্য দুটি মূলধারার ওয়েফার হোল্ডিং সলিউশন। যদিও উভয়ই ওয়েফার চাকের অন্তর্গত, তারা গঠন, কর্মক্ষমতা বৈশিষ্ট্য এবং প্রযোজ্য পরিস্থিতিতে ব্যাপকভাবে পৃথক।

1. বিভিন্ন কাজের নীতি

ভ্যাকুয়াম চকওয়েফারগুলিকে জায়গায় রাখার জন্য নেতিবাচক চাপের উপর নির্ভর করুন। ভ্যাকুয়াম পাম্পের সাথে সংযুক্ত পাইপলাইনগুলির মাধ্যমে বায়ু নিষ্কাশন করা হয়, যা ওয়েফারের নীচে নেতিবাচক চাপ তৈরি করে চক পৃষ্ঠের সাথে দৃঢ়ভাবে ওয়েফার বা সাবস্ট্রেট সংযুক্ত করতে। চাকের ভিত্তিটি সিরামিক বা ধাতু থেকে সূক্ষ্ম-মেশিন করা হয় এবং এর শোষণ পৃষ্ঠে একটি ছিদ্রযুক্ত সিরামিক প্লেট থাকে যা ভিত্তির একটি কাউন্টারবোরে লাগানো থাকে, যার পরিধি বন্ধন করা হয় এবং বেসের সাথে সিল করা হয়।  সিরামিক প্লেটের অভ্যন্তরীণ মাইক্রোপোরাস চ্যানেলের মাধ্যমে একটি ভ্যাকুয়াম পাম্পের সাথে সংযুক্ত, চক বায়ুমণ্ডলীয় চাপের অনেক নীচে একটি ভ্যাকুয়াম জোন তৈরি করে, এইভাবে ওয়েফারটিকে শক্তভাবে সুরক্ষিত করে।

ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চকগুলি একটি উচ্চ-কার্যকারিতা সিরামিক ডাইলেক্ট্রিক স্তর দ্বারা আবৃত একটি ধাতব বেসের ভিতরে ইলেক্ট্রোড যুক্ত একটি মূল কাঠামো গ্রহণ করে। তারা ওয়ার্কপিসগুলিতে বৈদ্যুতিক চার্জ প্ররোচিত করার জন্য তাদের পৃষ্ঠে একটি ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক ক্ষেত্র তৈরি করে, ওয়েফার বা সাবস্ট্রেটগুলিকে ক্ল্যাম্প করার জন্য ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক আকর্ষণ তৈরি করে। ভোল্টেজ প্রয়োগ করা হলে, ইলেক্ট্রোড, সিরামিক ডাইলেকট্রিক এবং এর মধ্যে একটি শক্তিশালী ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক ক্ষেত্র তৈরি হয়ওয়েফার, স্থিতিশীল ওয়েফার ফিক্সেশনের জন্য কয়েক হাজার থেকে হাজার হাজার প্যাসকেলের হোল্ডিং ফোর্স সরবরাহ করে।

2. বিভিন্ন কর্মক্ষমতা সুবিধা

ভ্যাকুয়াম চকগুলি বিভিন্ন মাত্রার ওয়েফারের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ এবং বিভিন্ন প্রসেস ওয়ার্কফ্লো, প্রক্রিয়াকরণের সময় ওয়েফারগুলির স্থিতিশীল স্থির প্রদান করে। ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চকগুলির সাথে তুলনা করে, তারা তুলনামূলকভাবে সহজ অভ্যন্তরীণ কাঠামোর কারণে কম উত্পাদন এবং রক্ষণাবেক্ষণ খরচ করে।

যাইহোক, যখন ওয়েফারগুলি ভ্যাকুয়াম বা নিম্ন-চাপের পরিবেশে অপারেশনের প্রয়োজন হয়, যেমন রাসায়নিক বাষ্প জমা হয়, তখন চাপের পার্থক্যের উপর নির্ভর করে ভ্যাকুয়াম চাকগুলি প্রক্রিয়ার প্রয়োজনীয়তাগুলি পূরণ করতে পারে না। অধিকন্তু, যখন ভ্যাকুয়াম চক দ্বারা ওয়েফারগুলি জায়গায় রাখা হয়, তখন বায়ুর চাপ ওয়েফারটিকে বিকৃত করতে পারে, যার ফলে প্রক্রিয়াকরণের পরে একটি রিবাউন্ড হয়। এটি একটি তরঙ্গায়িত পৃষ্ঠ, দুর্বল সমতলতা এবং প্রক্রিয়াকৃত ওয়েফারে যন্ত্রের নির্ভুলতা হ্রাস করতে পারে।

ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চকযোগাযোগহীন শোষণ গ্রহণ করুন, সামঞ্জস্যপূর্ণ, সমানভাবে বিতরণ করা ক্ল্যাম্পিং বল প্রদান করে। এটি কার্যকরভাবে ওয়েফার ওয়ারিং, বিকৃতি এবং ক্ষতি প্রতিরোধ করে, উচ্চতর মেশিনিং নির্ভুলতার জন্য চমৎকার সমতলতা সংরক্ষণ করে। অভিন্ন তাপমাত্রা বিতরণের জন্য হিলিয়াম ব্যাকসাইড কুলিং দিয়ে সজ্জিত, ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চকগুলি সঠিক ওয়েফার তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণকে সমর্থন করে।

নেতিবাচক দিক থেকে, ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চকগুলির পৃষ্ঠের সমতলতা, মসৃণতা এবং মাইক্রোন-স্কেল মাইক্রোস্ট্রাকচারের জন্য অত্যন্ত কঠোর মান সহ জটিল কাঠামো রয়েছে। মাইক্রো-বৈশিষ্ট্যের জন্য মাইক্রোন-স্তরের নির্ভুলতা কাঁচামাল গঠন, সিন্টারিং এবং পৃষ্ঠের সমাপ্তিতে উচ্চ প্রযুক্তিগত বাধা তৈরি করে। তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ একটি মূল প্রযুক্তিগত চ্যালেঞ্জ অবশেষ; বর্ধিত তাপ অপচয়ের জন্য অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড (AlN) ডাইলেকট্রিক ESC গুলি আরও জটিল উত্পাদন প্রক্রিয়া জড়িত। কঠোর বহুমাত্রিক প্রযুক্তিগত প্রয়োজনীয়তা পণ্যের দাম বাড়িয়ে দেয় এবং স্থিতিশীল অপারেশনের নিশ্চয়তা দিতে ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক সিস্টেমের নিয়মিত পরিদর্শন এবং রক্ষণাবেক্ষণ বাধ্যতামূলক।

3. বিভিন্ন প্রধান অ্যাপ্লিকেশন ক্ষেত্র

উচ্চ সমতলতা, উচ্চতর সমান্তরালতা, ঘন ইউনিফর্ম টেক্সচার, উচ্চ যান্ত্রিক শক্তি, অভিন্ন বায়ু ব্যাপ্তিযোগ্যতা এবং সহজ রিকন্ডিশনিং সহ, ভ্যাকুয়াম চকগুলি ফ্ল্যাট, ভাল-সিল করা ওয়ার্কপিস যেমন ধাতব শীট এবং প্লাস্টিকের সাবস্ট্রেটগুলিকে ঠিক করতে এবং পরিবহন করতে ব্যবহৃত হয়। সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনের মধ্যে, তারা ওয়েফার পাতলা করা, ডাইসিং, গ্রাইন্ডিং, পরিষ্কার এবং অন্যান্য ওয়েফার চিকিত্সা প্রক্রিয়াগুলি পরিবেশন করে, কার্যকরভাবে ওয়েফার ইনডেন্টেশন, চিপগুলির ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক ভাঙ্গন এবং কণা দূষণ সহ সাধারণ সমস্যাগুলি সমাধান করে।

ফ্ল্যাট, অ-পরিবাহী ওয়ার্কপিসগুলির জন্য ডিজাইন করা, ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চাকগুলি ভ্যাকুয়াম এবং প্লাজমা পরিবেশে নিবেদিত অতি-পরিষ্কার ওয়েফার ক্যারিয়ার। এগুলি প্লাজমা এবং ভ্যাকুয়াম সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যাপকভাবে মোতায়েন করা হয়, যার মধ্যে রয়েছে ড্রাই এচিং, পিইসিভিডি, তাপীয় সিভিডি, শারীরিক বাষ্প জমা (পিভিডি), আয়ন ইমপ্লান্টেশন এবং চরম আল্ট্রাভায়োলেট লিথোগ্রাফি (ইইউভিএল)।