সিলিকন ওয়েফারের সারফেস পলিশিং

সিলিকন ওয়েফারসারফেস পলিশিং সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে একটি গুরুত্বপূর্ণ প্রক্রিয়া। এর প্রাথমিক লক্ষ্য হল ক্ষুদ্র-ত্রুটি, স্ট্রেসের ক্ষতির স্তর এবং ধাতব আয়নগুলির মতো অমেধ্য থেকে দূষণ দূর করে পৃষ্ঠের সমতলতা এবং রুক্ষতার অত্যন্ত উচ্চ মান অর্জন করা। এটি নিশ্চিত করে যেসিলিকন ওয়েফারইন্টিগ্রেটেড সার্কিট (ICs) সহ মাইক্রোইলেক্ট্রনিক ডিভাইসের জন্য প্রস্তুতির প্রয়োজনীয়তা পূরণ করুন।

মসৃণতা নির্ভুলতা গ্যারান্টি,সিলিকন ওয়েফারপলিশিং প্রক্রিয়া দুই, তিন, এমনকি চারটি স্বতন্ত্র ধাপে সংগঠিত হতে পারে। প্রতিটি ধাপে চাপ, পলিশিং তরল রচনা, কণার আকার, ঘনত্ব, pH মান, কাপড়ের উপাদান, গঠন, কঠোরতা, তাপমাত্রা এবং প্রক্রিয়াকরণের পরিমাণ সহ বিভিন্ন প্রক্রিয়াকরণের অবস্থা নিযুক্ত করে।

এর সাধারণ পর্যায়সিলিকন ওয়েফারপলিশিং নিম্নরূপ:

1. **রুক্ষ পলিশিং**: এই পর্যায়ের লক্ষ্য হল পূর্বের প্রক্রিয়াকরণ থেকে পৃষ্ঠে অবশিষ্ট যান্ত্রিক স্ট্রেস ড্যামেজ লেয়ারকে সরিয়ে দেওয়া, প্রয়োজনীয় জ্যামিতিক মাত্রিক নির্ভুলতা অর্জন করা। রুক্ষ পলিশিং প্রক্রিয়াকরণের পরিমাণ সাধারণত 15-20μm অতিক্রম করে।

2. **সূক্ষ্ম পলিশিং**: এই পর্যায়ে, উচ্চ পৃষ্ঠের গুণমান নিশ্চিত করতে সিলিকন ওয়েফার পৃষ্ঠের স্থানীয় সমতলতা এবং রুক্ষতা আরও কম করা হয়। সূক্ষ্ম পলিশিংয়ের প্রক্রিয়াকরণের পরিমাণ প্রায় 5-8μm।

3. **"ডিফগিং" ফাইন পলিশিং**: এই পদক্ষেপটি পৃষ্ঠের ক্ষুদ্র ত্রুটিগুলি দূর করার এবং ওয়েফারের ন্যানো-মরফোলজি বৈশিষ্ট্যগুলিকে উন্নত করার উপর দৃষ্টি নিবদ্ধ করে। এই প্রক্রিয়ার সময় সরানো উপাদানের পরিমাণ প্রায় 1μm।

4. **চূড়ান্ত পলিশিং**: অত্যন্ত কঠোর লাইনউইথের প্রয়োজনীয়তা সহ IC চিপ প্রক্রিয়াগুলির জন্য (যেমন 0.13μm বা 28nm-এর চেয়ে ছোট চিপ), সূক্ষ্ম পলিশিং এবং "ডিফগিং" সূক্ষ্ম পলিশিংয়ের পরে একটি চূড়ান্ত পলিশিং পদক্ষেপ অপরিহার্য। এটি নিশ্চিত করে যে সিলিকন ওয়েফার ব্যতিক্রমী মেশিনিং নির্ভুলতা এবং ন্যানোস্কেল পৃষ্ঠের বৈশিষ্ট্যগুলি অর্জন করে।

এটি লক্ষ করা গুরুত্বপূর্ণ যে রাসায়নিক মেকানিক্যাল পলিশিং (সিএমপি) এরসিলিকন ওয়েফারআইসি প্রস্তুতিতে ওয়েফার পৃষ্ঠকে সমতল করার জন্য ব্যবহৃত CMP প্রযুক্তি থেকে পৃষ্ঠটি আলাদা। যদিও উভয় পদ্ধতিতে রাসায়নিক এবং যান্ত্রিক পলিশিংয়ের সংমিশ্রণ জড়িত, তাদের শর্ত, উদ্দেশ্য এবং প্রয়োগগুলি উল্লেখযোগ্যভাবে পৃথক।

সেমিকোরেক্স অফারউচ্চ মানের ওয়েফার. যদি আপনার কোন জিজ্ঞাসা থাকে বা অতিরিক্ত বিবরণ প্রয়োজন, আমাদের সাথে যোগাযোগ করতে দ্বিধা করবেন না দয়া করে.

যোগাযোগের ফোন # +86-13567891907

ইমেইল: sales@semicorex.com