কিভাবে সিরামিক ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক আসলে উত্পাদিত হয়?

প্রথাগত ওয়েফার ক্ল্যাম্পিং পদ্ধতির মধ্যে রয়েছে যান্ত্রিক ক্ল্যাম্পিং যা সাধারণত প্রচলিত যান্ত্রিক শিল্পে ব্যবহৃত হয় এবং মোম বন্ধন, উভয়ই সহজেই ওয়েফারের ক্ষতি করতে পারে, ওয়ারিং ঘটাতে পারে এবং এটিকে দূষিত করতে পারে, প্রক্রিয়াকরণের নির্ভুলতাকে উল্লেখযোগ্যভাবে প্রভাবিত করে।

ভ্যাকুয়াম চকগুলি কীভাবে বিবর্তিত হয়েছিল এবং কেন?সিরামিক ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চকপছন্দের?

সময়ের সাথে সাথে, ছিদ্রযুক্ত সিরামিক থেকে তৈরি ভ্যাকুয়াম চাকগুলি তৈরি করা হয়েছিল। এই চকগুলি ওয়েফারকে ধরে রাখতে সিলিকন ওয়েফার এবং সিরামিক পৃষ্ঠের মধ্যে গঠিত নেতিবাচক চাপ ব্যবহার করে, যা স্থানীয় বিকৃতি ঘটাতে পারে এবং সমতলতাকে প্রভাবিত করতে পারে। অতএব, সাম্প্রতিক বছরগুলিতে,সিরামিক ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক, যা স্থিতিশীল এবং অভিন্ন শোষণ শক্তি প্রদান করে, ওয়েফার দূষণ প্রতিরোধ করে এবং কার্যকরভাবে সিলিকন ওয়েফার তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করে, অতি-পাতলা ওয়েফারের জন্য আদর্শ ক্ল্যাম্পিং টুল হয়ে উঠেছে।

কিভাবে উত্পাদন প্রক্রিয়া হয়সিরামিক ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চকবাহিত?

সাধারণত, মাল্টিলেয়ার সিরামিক কো-ফায়ারিং প্রযুক্তি ব্যবহার করা হয়, যার মধ্যে রয়েছে টেপ কাস্টিং, স্লাইসিং, স্ক্রিন প্রিন্টিং, ল্যামিনেশন, হট প্রেসিং এবং সিন্টারিং এর মতো প্রক্রিয়া।

Coulomb-টাইপের জন্যইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক, অস্তরক স্তর পরিবাহী উপকরণ ধারণ করে না. এটি একটি স্থিতিশীল স্লারি তৈরি করতে সিরামিক পাউডার, দ্রাবক, বিচ্ছুরণকারী, বাইন্ডার, প্লাস্টিকাইজার এবং সিন্টারিং এইডগুলিকে মিশ্রিত করে। এই স্লারিটি তারপর একটি ডাক্তার ব্লেড ব্যবহার করে প্রলেপ দেওয়া হয়, শুকানো হয় এবং একটি নির্দিষ্ট বেধের সিরামিক সবুজ শীট তৈরি করতে কাটা হয়। JR-টাইপের জন্যইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক, অতিরিক্ত প্রতিরোধক সামঞ্জস্যকারী (পরিবাহী পদার্থ) মিশ্রিত করা হয় J-R স্তরের প্রয়োজনীয় প্রতিরোধ অর্জনের জন্য, তারপরে সবুজ শীট গঠনের জন্য টেপ ঢালাই করা হয়।

স্ক্রীন প্রিন্টিং প্রাথমিকভাবে ইলেক্ট্রোড স্তর প্রস্তুত করার জন্য ব্যবহৃত হয়। পরিবাহী পেস্ট প্রথমে স্ক্রিন প্রিন্টিং প্লেটের এক প্রান্তে ঢেলে দেওয়া হয়। স্ক্রিন প্রিন্টারে স্কুইজির কর্মের অধীনে, পরিবাহী পেস্ট স্ক্রিন প্লেটের জাল খোলার মধ্য দিয়ে যায় এবং সাবস্ট্রেটের উপর জমা হয়। প্রিন্টিং প্রক্রিয়া সম্পন্ন হয় যখন স্কুইজি স্ক্রীন মেশের মাধ্যমে সমানভাবে সিলভার পেস্ট ছড়িয়ে দেয়।

সবুজ সিরামিক শীটগুলি প্রয়োজনীয় ক্রমে (সাবস্ট্রেট স্তর, ইলেক্ট্রোড স্তর, অস্তরক স্তর) এবং স্তরগুলির সংখ্যায় স্ট্যাক করা হয়। তারপরে নির্দিষ্ট তাপমাত্রা এবং চাপের পরিস্থিতিতে এগুলিকে একসাথে চেপে একটি সম্পূর্ণ সবুজ দেহ তৈরি করা হয়। সংকোচনের সময় অভিন্ন সংকোচনের গ্যারান্টি দেওয়ার জন্য সবুজ দেহের সমগ্র পৃষ্ঠ জুড়ে চাপটি সমানভাবে বিতরণ করা হয়েছে তা নিশ্চিত করা অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ।

অবশেষে, সম্পূর্ণ সবুজ শরীর একটি চুল্লিতে সমন্বিত সিন্টারিংয়ের মধ্য দিয়ে যায়। সিন্টারিং প্রক্রিয়া চলাকালীন সমতলতা এবং সংকোচনের উপর নিয়ন্ত্রণ নিশ্চিত করার জন্য একটি উপযুক্ত তাপমাত্রা প্রোফাইল স্থাপন করা আবশ্যক। জানা গেছে যে জাপানের NGK সিন্টারিংয়ের সময় পাউডারের সংকোচনের হার প্রায় 10% নিয়ন্ত্রণ করতে পারে, যখন বেশিরভাগ দেশীয় নির্মাতারা এখনও 20% বা তার বেশি সংকোচনের হার রয়েছে।**

সেমিকোরেক্সে আমরা এর সমাধান প্রদানে অভিজ্ঞ সিরামিক ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চকএবংঅন্যান্য সিরামিক উপকরণসেমিকন্ডাক্টর এবং পিভি সেক্টরে প্রয়োগ করা হয়েছে, যদি আপনার কোন জিজ্ঞাসা থাকে বা অতিরিক্ত বিবরণের প্রয়োজন হয়, অনুগ্রহ করে আমাদের সাথে যোগাযোগ করতে দ্বিধা করবেন না।

যোগাযোগের ফোন: +86-13567891907

ইমেইল: sales@semicorex.com