কেন SiC-কোটেড গ্রাফাইট সাসেপ্টর নির্বাচন করবেন?

গ্রাফাইট সাসেপ্টরMOCVD সরঞ্জামগুলির মধ্যে একটি অপরিহার্য অংশ, ওয়েফার সাবস্ট্রেটের বাহক এবং হিটার। এর তাপীয় স্থিতিশীলতা এবং তাপীয় অভিন্নতার বৈশিষ্ট্যগুলি ওয়েফার এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধির গুণমানে একটি নিষ্পত্তিমূলক ভূমিকা পালন করে, যা সরাসরি স্তরের উপকরণগুলির অভিন্নতা এবং বিশুদ্ধতা নির্ধারণ করে, ফলস্বরূপ এর গুণমান সরাসরি এপিটাক্সির প্রস্তুতিকে প্রভাবিত করে। ইতিমধ্যে, ব্যবহারের সংখ্যা বৃদ্ধি এবং কাজের অবস্থার পরিবর্তনের সাথে, এটি হারানো খুব সহজ এবং ভোগ্য সামগ্রীর অন্তর্গত। গ্রাফাইটের চমৎকার তাপ পরিবাহিতা এবং স্থিতিশীলতা এটিকে একটি ভাল সুবিধা হিসাবে তৈরি করেMOCVD সরঞ্জামের জন্য একটি বেস উপাদান. তবে, শুধুমাত্র বিশুদ্ধ গ্রাফাইট ব্যবহার করা হলে, এটি কিছু সমস্যার সম্মুখীন হবে। উত্পাদন প্রক্রিয়ায় ক্ষয়কারী গ্যাস এবং ধাতব জৈব অবশিষ্টাংশ থাকবে এবং গ্রাফাইট বেস ক্ষয় করে পাউডারটি ফেলে দেবে, যা এর পরিষেবা জীবনকে ব্যাপকভাবে হ্রাস করে।গ্রাফাইট সাসেপ্টর, এবং পতিত গ্রাফাইট পাউডারও চিপে দূষণ ঘটাবে, তাই বেস তৈরির প্রক্রিয়াতেও বেস তৈরির সময় এই সমস্যাগুলি সমাধান করা প্রয়োজন। আবরণ প্রযুক্তি পৃষ্ঠের পাউডার ফিক্সেশন প্রদান করতে পারে, তাপ পরিবাহিতা বাড়াতে পারে এবং তাপ বিতরণকে সমান করতে পারে, যা এই সমস্যা সমাধানের প্রধান প্রযুক্তি হয়ে ওঠে। প্রধান প্রযুক্তি এই সমস্যা সমাধান করা হয়. আবেদন পরিবেশ এবং প্রয়োজনীয়তা অনুযায়ীগ্রাফাইট সাসেপ্টর, পৃষ্ঠ আবরণ নিম্নলিখিত বৈশিষ্ট্য থাকা উচিত.

উচ্চ ঘনত্ব এবং সম্পূর্ণ মোড়ানো: সামগ্রিকভাবে গ্রাফাইট বেস একটি উচ্চ তাপমাত্রা, ক্ষয়কারী কাজের পরিবেশে, পৃষ্ঠটি সম্পূর্ণরূপে আবৃত করা আবশ্যক, যখন আবরণ একটি ভাল প্রতিরক্ষামূলক ভূমিকা পালন করার জন্য ভাল ঘনত্ব থাকতে হবে।

ভাল পৃষ্ঠ সমতলতা: একক স্ফটিক বৃদ্ধির জন্য ব্যবহৃত গ্রাফাইট বেসটির জন্য খুব উচ্চ পৃষ্ঠের সমতলতা প্রয়োজন, লেপ প্রস্তুত করার পরে ভিত্তিটির মূল সমতলতা অবশ্যই বজায় রাখতে হবে, অর্থাৎ আবরণের পৃষ্ঠটি অভিন্ন হতে হবে।

ভাল বন্ধন শক্তি: গ্রাফাইট বেস এবং আবরণ উপাদানের মধ্যে তাপ সম্প্রসারণ সহগের পার্থক্য কমিয়ে কার্যকরভাবে তাদের মধ্যে বন্ধন শক্তি উন্নত করতে পারে এবং উচ্চ এবং নিম্ন তাপমাত্রার তাপচক্রের পরে আবরণটি ক্র্যাক করা সহজ নয়।

উচ্চ তাপ পরিবাহিতা: উচ্চ মানের চিপ বৃদ্ধির জন্য গ্রাফাইট বেস থেকে দ্রুত এবং অভিন্ন তাপ প্রয়োজন, তাই আবরণ উপাদানের উচ্চ তাপ পরিবাহিতা থাকা উচিত।

উচ্চ গলনাঙ্ক, উচ্চ তাপমাত্রা জারণ এবং জারা প্রতিরোধের: আবরণ উচ্চ তাপমাত্রা এবং ক্ষয়কারী কাজের পরিবেশে স্থিরভাবে কাজ করতে সক্ষম হওয়া উচিত।