ওয়েফার হ্যান্ডলিংয়ে ডিমিস্টিফাইং ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক (ESC) প্রযুক্তি

1. একটি ESC কি?

একটি ESC প্রক্রিয়াকরণ সরঞ্জামের ভ্যাকুয়াম পরিবেশের মধ্যে নিরাপদে ওয়েফার বা সাবস্ট্রেটগুলিকে ধরে রাখতে ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক শক্তি ব্যবহার করে। এই পদ্ধতিটি ঐতিহ্যগত যান্ত্রিক ক্ল্যাম্পিং পদ্ধতির সাথে সম্পর্কিত ক্ষতির সম্ভাবনাকে দূর করে, যা সূক্ষ্ম পৃষ্ঠগুলিকে আঁচড় দিতে পারে বা স্ট্রেস ফ্র্যাকচারকে প্ররোচিত করতে পারে। ভ্যাকুয়াম চাকের বিপরীতে, ESC চাপের পার্থক্যের উপর নির্ভর করে না, ওয়েফার পরিচালনায় বৃহত্তর নিয়ন্ত্রণ এবং নমনীয়তা সক্ষম করে।

2. ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক আনুগত্যের তিনটি নীতি

একটি ESC দ্বারা উত্পন্ন আকর্ষণীয় বল সাধারণত তিনটি ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক নীতির সংমিশ্রণ থেকে উদ্ভূত হয়: কুলম্ব বল, জনসন-রাহবেক বল এবং গ্রেডিয়েন্ট ফোর্স। যদিও এই বাহিনীগুলি স্বতন্ত্রভাবে কাজ করতে পারে, তারা প্রায়শই একটি সুরক্ষিত হোল্ড তৈরি করতে সমন্বিতভাবে কাজ করে।

কুলম্ব ফোর্স:এই মৌলিক ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক বলটি আধানযুক্ত কণার মধ্যে মিথস্ক্রিয়া থেকে উদ্ভূত হয়। ESC-তে, চক ইলেক্ট্রোডগুলিতে প্রয়োগ করা ভোল্টেজ একটি বৈদ্যুতিক ক্ষেত্র তৈরি করে, যা ওয়েফার এবং চক পৃষ্ঠের বিপরীত চার্জ প্ররোচিত করে। ফলস্বরূপ কুলম্ব আকর্ষণ দৃঢ়ভাবে ওয়েফারকে জায়গায় রাখে।

জনসন-রাহবেক বাহিনী:যখন ওয়েফার এবং চক পৃষ্ঠের মধ্যে এক মিনিটের ব্যবধান থাকে, তখন জনসন-রাহবেক বাহিনী খেলায় আসে। এই বল, প্রয়োগকৃত ভোল্টেজ এবং ফাঁক দূরত্বের উপর নির্ভরশীল, চার্জযুক্ত পৃষ্ঠগুলির সাথে এই মাইক্রো-গ্যাপের মধ্যে পরিবাহী কণার মিথস্ক্রিয়া থেকে উদ্ভূত হয়। এই মিথস্ক্রিয়াটি একটি আকর্ষণীয় শক্তি তৈরি করে যা ওয়েফারটিকে চাকের সাথে ঘনিষ্ঠ যোগাযোগে টানে।

গ্রেডিয়েন্ট ফোর্স:একটি নন-ইউনিফর্ম বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রে, বস্তুগুলি ক্ষেত্রের শক্তি বৃদ্ধির দিকে একটি নেট বল অনুভব করে। গ্রেডিয়েন্ট ফোর্স নামে পরিচিত এই নীতিটিকে ESC-তে কৌশলগতভাবে ইলেক্ট্রোড জ্যামিতি ডিজাইন করে একটি অ-ইনিফর্ম ফিল্ড ডিস্ট্রিবিউশন তৈরি করে ব্যবহার করা যেতে পারে। এই বলটি ওয়েফারটিকে সর্বোচ্চ ক্ষেত্রের তীব্রতার অঞ্চলের দিকে টানে, নিরাপদ এবং সুনির্দিষ্ট অবস্থান নিশ্চিত করে।

3. ESC কাঠামো

একটি সাধারণ ESC চারটি মূল উপাদান নিয়ে গঠিত:

ডিস্ক:ডিস্কটি ওয়েফারের জন্য প্রাথমিক যোগাযোগের পৃষ্ঠ হিসাবে কাজ করে, সর্বোত্তম আনুগত্যের জন্য একটি সমতল, মসৃণ ইন্টারফেস নিশ্চিত করার জন্য অবিকল মেশিনযুক্ত।

ইলেকট্রোড:এই পরিবাহী উপাদানগুলি ওয়েফার আকর্ষণের জন্য প্রয়োজনীয় ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক শক্তি তৈরি করে। একটি নিয়ন্ত্রিত ভোল্টেজ প্রয়োগ করে, ইলেক্ট্রোডগুলি বৈদ্যুতিক ক্ষেত্র তৈরি করে যা ওয়েফারের সাথে যোগাযোগ করে।

হিটার:ESC-এর মধ্যে ইন্টিগ্রেটেড হিটারগুলি সুনির্দিষ্ট তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ প্রদান করে, যা অনেক সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণ ধাপে একটি গুরুত্বপূর্ণ দিক। এটি প্রক্রিয়াকরণের সময় ওয়েফারের সুনির্দিষ্ট তাপ ব্যবস্থাপনা সক্ষম করে।

বেসপ্লেট:বেসপ্লেট সমগ্র ESC সমাবেশের জন্য কাঠামোগত সহায়তা প্রদান করে, সমস্ত উপাদানের যথাযথ প্রান্তিককরণ এবং স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করে।**