2024-06-24
সিলিকন কার্বাইড একক ক্রিস্টাল প্রস্তুতির জন্য সাধারণত ব্যবহৃত পদ্ধতি হল PVT (ফিজিক্যাল বাষ্প পরিবহন) পদ্ধতি, যেখানে নীতিটি উচ্চ-তাপমাত্রার অঞ্চলে কাঁচামাল স্থাপন করে, যেখানে বীজ স্ফটিক তুলনামূলকভাবে নিম্ন-তাপমাত্রার এলাকায় থাকে। উচ্চ তাপমাত্রায় কাঁচামাল পচে যায়, তরল পর্যায়ে না গিয়ে সরাসরি গ্যাসীয় পদার্থ তৈরি করে। অক্ষীয় তাপমাত্রার গ্রেডিয়েন্ট দ্বারা চালিত এই বায়বীয় পদার্থগুলিকে বীজ স্ফটিকেতে স্থানান্তরিত করা হয়, যেখানে নিউক্লিয়েশন এবং বৃদ্ধি ঘটে, যার ফলে সিলিকন কার্বাইড একক স্ফটিকের স্ফটিককরণ হয়। বর্তমানে, বিদেশী কোম্পানি যেমন ক্রি, II-VI, SiCrystal, Dow এবং Tianyue Advanced, Tianke Heida এবং Century Jingxin-এর মতো দেশীয় কোম্পানিগুলি এই পদ্ধতি ব্যবহার করে।
সিলিকন কার্বাইডের 200 টিরও বেশি ক্রিস্টাল প্রকার রয়েছে এবং কাঙ্খিত একক ক্রিস্টাল টাইপ (প্রধানত 4H ক্রিস্টাল টাইপ) তৈরি করতে সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণ প্রয়োজন। Tianyue Advanced-এর IPO প্রকাশ অনুযায়ী, 2018 থেকে H1 2021 পর্যন্ত ক্রিস্টাল রডের ফলনের হার ছিল 41%, 38.57%, 50.73%, এবং 49.90%, যেখানে সাবস্ট্রেটের ফলনের হার ছিল 72.61%, 57%, 47%, 57%, 47%, 49.90%। বর্তমানে শুধুমাত্র 37.7% সামগ্রিক ফলন হার। একটি উদাহরণ হিসাবে মূলধারার PVT পদ্ধতি ব্যবহার করে, কম ফলন হার প্রধানত SiC সাবস্ট্রেট প্রস্তুতিতে নিম্নলিখিত অসুবিধাগুলির কারণে:
কঠিন তাপমাত্রা ক্ষেত্র নিয়ন্ত্রণ: SiC ক্রিস্টাল রডগুলি 2500°C এ উত্পাদিত করা প্রয়োজন, যেখানে সিলিকন স্ফটিকগুলির জন্য শুধুমাত্র 1500°C প্রয়োজন, বিশেষ একক স্ফটিক চুল্লির প্রয়োজন। উত্পাদনের সময় সুনির্দিষ্ট তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ উল্লেখযোগ্য চ্যালেঞ্জ তৈরি করে।
ধীর উত্পাদন গতি: ঐতিহ্যগত সিলিকন উপাদান প্রতি ঘন্টায় 300 মিলিমিটার হারে বৃদ্ধি পায়, যেখানে সিলিকন কার্বাইড একক স্ফটিক শুধুমাত্র 400 মাইক্রোমিটার প্রতি ঘন্টায় বৃদ্ধি পেতে পারে, প্রায় 800 গুণ ধীর।
উচ্চ-মানের প্যারামিটারের প্রয়োজন, ব্ল্যাক বক্সের ফলন হারের রিয়েল-টাইম নিয়ন্ত্রণে অসুবিধা: SiC ওয়েফারের মূল পরামিতিগুলির মধ্যে রয়েছে মাইক্রোটিউব ঘনত্ব, স্থানচ্যুতি ঘনত্ব, প্রতিরোধ ক্ষমতা, বক্রতা, পৃষ্ঠের রুক্ষতা ইত্যাদি। স্ফটিক বৃদ্ধির সময়, সিলিকন-এর সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণ। কার্বন অনুপাত, বৃদ্ধির তাপমাত্রা গ্রেডিয়েন্ট, স্ফটিক বৃদ্ধির হার, বায়ুপ্রবাহের চাপ ইত্যাদি, পলিক্রিস্টালাইন দূষণ এড়াতে অপরিহার্য, যার ফলে অযোগ্য স্ফটিক হয়। গ্রাফাইট ক্রুসিবলের ব্ল্যাক বক্সে স্ফটিক বৃদ্ধির রিয়েল-টাইম পর্যবেক্ষণ সম্ভব নয়, এর জন্য সুনির্দিষ্ট তাপীয় ক্ষেত্র নিয়ন্ত্রণ, উপাদানের মিল এবং সঞ্চিত অভিজ্ঞতা প্রয়োজন।
স্ফটিক ব্যাস সম্প্রসারণে অসুবিধা: গ্যাস-ফেজ পরিবহন পদ্ধতির অধীনে, SiC ক্রিস্টাল বৃদ্ধির জন্য সম্প্রসারণ প্রযুক্তি উল্লেখযোগ্য চ্যালেঞ্জ তৈরি করে, স্ফটিক আকার বৃদ্ধির সাথে সাথে বৃদ্ধির অসুবিধা জ্যামিতিকভাবে বৃদ্ধি পায়।
সাধারণত কম ফলনের হার: কম ফলনের হারে দুটি লিঙ্ক থাকে - (1) ক্রিস্টাল রড ফলন হার = সেমিকন্ডাক্টর-গ্রেড ক্রিস্টাল রড আউটপুট / (সেমিকন্ডাক্টর-গ্রেড ক্রিস্টাল রড আউটপুট + নন-সেমিকন্ডাক্টর-গ্রেড ক্রিস্টাল রড আউটপুট) × 100%; (2) সাবস্ট্রেট ইল্ড রেট = যোগ্য সাবস্ট্রেট আউটপুট / (যোগ্য সাবস্ট্রেট আউটপুট + অযোগ্য সাবস্ট্রেট আউটপুট) × 100%।
উচ্চ-মানের, উচ্চ-ফলনশীল সিলিকন কার্বাইড সাবস্ট্রেট প্রস্তুত করতে, সুনির্দিষ্ট তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের জন্য একটি ভাল তাপ ক্ষেত্রের উপাদান অপরিহার্য। বর্তমান থার্মাল ফিল্ড ক্রুসিবল কিটগুলিতে প্রধানত উচ্চ-বিশুদ্ধ গ্রাফাইট কাঠামোগত উপাদান রয়েছে, যেগুলি গরম করার জন্য, কার্বন পাউডার এবং সিলিকন পাউডার গলানোর জন্য এবং নিরোধকের জন্য ব্যবহৃত হয়। গ্রাফাইট উপাদানগুলির উচ্চতর নির্দিষ্ট শক্তি এবং নির্দিষ্ট মডুলাস, তাপীয় শক এবং ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা ইত্যাদি রয়েছে৷ তবে, উচ্চ-তাপমাত্রার অক্সিজেন পরিবেশে অক্সিডেশন, অ্যামোনিয়া এবং স্ক্র্যাচিংয়ের দুর্বল প্রতিরোধের মতো ত্রুটিগুলি রয়েছে, যার ফলে তারা ক্রমবর্ধমান কঠোরতা পূরণ করতে পারে না। সিলিকন কার্বাইড একক ক্রিস্টাল বৃদ্ধি এবং এপিটাক্সিয়াল ওয়েফার উৎপাদনে গ্রাফাইট উপকরণের প্রয়োজনীয়তা। তাই, উচ্চ-তাপমাত্রার আবরণ পছন্দ করেট্যানটালাম কার্বাইডজনপ্রিয়তা অর্জন করছে।
1. এর বৈশিষ্ট্যট্যানটালাম কার্বাইড লেপ
ট্যানটালাম কার্বাইড (TaC) সিরামিকের উচ্চ গলনাঙ্ক রয়েছে 3880°C, উচ্চ কঠোরতা সহ (Mohs কঠোরতা 9-10), উল্লেখযোগ্য তাপ পরিবাহিতা (22W·m-1·K−1), উচ্চ নমনীয় শক্তি (340-400MPa) ), এবং একটি নিম্ন তাপ সম্প্রসারণ সহগ (6.6×10−6K−1)। এটি গ্রাফাইটের সাথে ভাল রাসায়নিক এবং যান্ত্রিক সামঞ্জস্য সহ চমৎকার তাপ এবং রাসায়নিক স্থিতিশীলতা এবং অসামান্য শারীরিক বৈশিষ্ট্য প্রদর্শন করে,C/C যৌগিক উপকরণ, ইত্যাদি তাই, TaC আবরণ ব্যাপকভাবে মহাকাশ তাপ সুরক্ষা, একক স্ফটিক বৃদ্ধি, শক্তি ইলেকট্রনিক্স, চিকিৎসা ডিভাইস এবং অন্যান্য ক্ষেত্রে ব্যবহৃত হয়।
গ্রাফাইটের উপর TaC আবরণবেয়ার গ্রাফাইট বা তুলনায় ভাল রাসায়নিক জারা প্রতিরোধের আছেSiC- প্রলিপ্ত গ্রাফাইট, এবং অনেক ধাতব উপাদানের সাথে প্রতিক্রিয়া ছাড়াই 2600°C পর্যন্ত উচ্চ তাপমাত্রায় স্থিরভাবে ব্যবহার করা যেতে পারে। এটি তৃতীয় প্রজন্মের সেমিকন্ডাক্টর সিঙ্গেল ক্রিস্টাল গ্রোথ এবং ওয়েফার এচিংয়ের জন্য সর্বোত্তম আবরণ হিসাবে বিবেচিত হয়, প্রক্রিয়ায় তাপমাত্রা এবং অপরিচ্ছন্নতা নিয়ন্ত্রণকে উল্লেখযোগ্যভাবে উন্নত করে, যার ফলে উচ্চ-মানের সিলিকন কার্বাইড ওয়েফার এবং এর সাথে সম্পর্কিতএপিটাক্সিয়াল ওয়েফার. এটা বিশেষ করে GaN বা MOCVD সরঞ্জাম বৃদ্ধির জন্য উপযুক্তAlN একক স্ফটিকএবং PVT সরঞ্জাম SiC একক স্ফটিক বৃদ্ধি, উল্লেখযোগ্যভাবে বর্ধিত স্ফটিক গুণমান.
2. এর সুবিধাট্যানটালাম কার্বাইড লেপ
ডিভাইস ব্যবহারট্যানটালাম কার্বাইড (TaC) আবরণস্ফটিক প্রান্তের ত্রুটির সমস্যাগুলি সমাধান করতে পারে, স্ফটিক বৃদ্ধির গুণমান উন্নত করতে পারে এবং "দ্রুত বৃদ্ধি, পুরু বৃদ্ধি, বড় বৃদ্ধি" এর মূল প্রযুক্তিগুলির মধ্যে একটি। শিল্প গবেষণা আরও দেখিয়েছে যে TaC-কোটেড গ্রাফাইট ক্রুসিবলগুলি আরও অভিন্ন গরম করতে পারে, SiC একক স্ফটিক বৃদ্ধির জন্য চমৎকার প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ প্রদান করে, যার ফলে SiC স্ফটিক প্রান্তগুলি পলিক্রিস্টাল গঠনের সম্ভাবনা উল্লেখযোগ্যভাবে হ্রাস করে। উপরন্তু,TaC- প্রলিপ্ত গ্রাফাইট ক্রুসিবলদুটি প্রধান সুবিধা অফার:
(1) SiC ত্রুটি হ্রাস SiC একক ক্রিস্টাল ত্রুটি নিয়ন্ত্রণে, সাধারণত তিনটি গুরুত্বপূর্ণ উপায় রয়েছে, যেমন, বৃদ্ধির পরামিতিগুলি অপ্টিমাইজ করা এবং উচ্চ-মানের উত্স উপকরণ ব্যবহার করা (যেমনSiC উৎস পাউডার) এবং গ্রাফাইট ক্রুসিবল প্রতিস্থাপনTaC- প্রলিপ্ত গ্রাফাইট ক্রুসিবলভাল স্ফটিক গুণমান অর্জন করতে।
প্রচলিত গ্রাফাইট ক্রুসিবল (a) এবং TaC-কোটেড ক্রুসিবল (b) এর পরিকল্পিত চিত্র
কোরিয়ার ইস্টার্ন ইউরোপিয়ান ইউনিভার্সিটির গবেষণা অনুসারে, SiC স্ফটিক বৃদ্ধিতে প্রাথমিক অশুদ্ধতা হল নাইট্রোজেন।TaC- প্রলিপ্ত গ্রাফাইট ক্রুসিবলকার্যকরভাবে SiC স্ফটিকের মধ্যে নাইট্রোজেন সংযোজন সীমিত করতে পারে, যার ফলে মাইক্রোটিউবের মতো ত্রুটির গঠন হ্রাস করে, স্ফটিকের গুণমান উন্নত করে। গবেষণায় দেখা গেছে যে একই অবস্থার অধীনে, বাহক ঘনত্ব মধ্যেSiC ওয়েফারপ্রচলিত গ্রাফাইট ক্রুসিবলে জন্মায় এবংTaC- প্রলিপ্ত cruciblesপ্রায় 4.5×1017/সেমি এবং 7.6×1015/সেমি, যথাক্রমে।
প্রচলিত গ্রাফাইট ক্রুসিবল (a) এবং TaC-কোটেড ক্রুসিবল (b) এর মধ্যে SiC একক স্ফটিক বৃদ্ধির ত্রুটির তুলনা
(2) গ্রাফাইট ক্রুসিবলের আয়ু দীর্ঘায়িত করা বর্তমানে, SiC স্ফটিকের দাম বেশি থাকে, গ্রাফাইট ব্যবহার্য সামগ্রী খরচের প্রায় 30% জন্য দায়ী। গ্রাফাইট ব্যবহারযোগ্য খরচ কমানোর মূল চাবিকাঠি তাদের পরিষেবা জীবন বাড়ানোর মধ্যে নিহিত। একটি ব্রিটিশ গবেষণা দলের তথ্য অনুসারে, ট্যানটালাম কার্বাইড আবরণ গ্রাফাইট উপাদানগুলির পরিষেবা জীবন 30-50% বাড়িয়ে দিতে পারে। TaC-কোটেড গ্রাফাইট ব্যবহার করে, প্রতিস্থাপনের মাধ্যমে SiC ক্রিস্টালের খরচ 9%-15% কমানো যেতে পারে।TaC-কোটেড গ্রাফাইটএকা
3. ট্যানটালাম কার্বাইড আবরণ প্রক্রিয়া
এর প্রস্তুতিTaC আবরণতিনটি বিভাগে শ্রেণীবদ্ধ করা যেতে পারে: সলিড-ফেজ পদ্ধতি, তরল-ফেজ পদ্ধতি এবং গ্যাস-ফেজ পদ্ধতি। সলিড-ফেজ পদ্ধতিতে প্রধানত হ্রাস পদ্ধতি এবং যৌগিক পদ্ধতি অন্তর্ভুক্ত থাকে; তরল-ফেজ পদ্ধতির মধ্যে রয়েছে গলিত লবণ পদ্ধতি, সল-জেল পদ্ধতি, স্লারি-সিন্টারিং পদ্ধতি, প্লাজমা স্প্রে করার পদ্ধতি; গ্যাস-ফেজ পদ্ধতির মধ্যে রয়েছে রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD), রাসায়নিক বাষ্প অনুপ্রবেশ (CVI), এবং শারীরিক বাষ্প জমা (PVD) পদ্ধতি ইত্যাদি। প্রতিটি পদ্ধতির সুবিধা এবং অসুবিধা রয়েছে, যার মধ্যে CVD হল সবচেয়ে পরিপক্ক এবং ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত পদ্ধতি। TaC আবরণ প্রস্তুত করা হচ্ছে। ক্রমাগত প্রক্রিয়া উন্নতির সাথে, নতুন কৌশল যেমন গরম তারের রাসায়নিক বাষ্প জমা এবং আয়ন মরীচি-সহায়ক রাসায়নিক বাষ্প জমা করার মতো নতুন কৌশলগুলি তৈরি করা হয়েছে।
TaC আবরণ-পরিবর্তিত কার্বন-ভিত্তিক উপকরণগুলির মধ্যে প্রধানত গ্রাফাইট, কার্বন ফাইবার এবং কার্বন/কার্বন যৌগিক পদার্থ অন্তর্ভুক্ত। প্রস্তুতির জন্য পদ্ধতিগ্রাফাইটের উপর TaC আবরণপ্লাজমা স্প্রে করা, সিভিডি, স্লারি-সিন্টারিং ইত্যাদি অন্তর্ভুক্ত।
সিভিডি পদ্ধতির সুবিধা: এর প্রস্তুতিTaC আবরণCVD এর উপর ভিত্তি করেট্যানটালাম হ্যালাইডস (TaX5) ট্যান্টালাম উৎস হিসেবে এবং হাইড্রোকার্বন (CnHm) কার্বন উৎস হিসেবে. নির্দিষ্ট অবস্থার অধীনে, এই পদার্থগুলি Ta এবং C তে পচে যায়, যা গঠনে প্রতিক্রিয়া জানায়TaC আবরণ. কম তাপমাত্রায় সিভিডি করা যেতে পারে, যার ফলে উচ্চ-তাপমাত্রার আবরণ তৈরি বা চিকিত্সার সময় দেখা দিতে পারে এমন ত্রুটি এবং কম যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্যগুলি এড়ানো যায়। আবরণের গঠন এবং গঠন উচ্চ বিশুদ্ধতা, উচ্চ ঘনত্ব এবং অভিন্ন বেধ প্রদান করে সিভিডি দিয়ে নিয়ন্ত্রণ করা যায়। আরও গুরুত্বপূর্ণ, CVD উচ্চ-মানের TaC আবরণ প্রস্তুত করার জন্য একটি পরিপক্ক এবং ব্যাপকভাবে গৃহীত পদ্ধতি প্রদান করে।সহজে নিয়ন্ত্রণযোগ্য রচনা এবং গঠন.
প্রক্রিয়ার মূল প্রভাবক কারণগুলির মধ্যে রয়েছে:
(1) গ্যাস প্রবাহের হার (ট্যান্টালম উত্স, কার্বন উত্স হিসাবে হাইড্রোকার্বন গ্যাস, ক্যারিয়ার গ্যাস, তরল গ্যাস Ar2, গ্যাস H2 হ্রাস):গ্যাস প্রবাহের হারের পরিবর্তনগুলি প্রতিক্রিয়া চেম্বারের তাপমাত্রা, চাপ এবং গ্যাস প্রবাহ ক্ষেত্রকে উল্লেখযোগ্যভাবে প্রভাবিত করে, যার ফলে আবরণের গঠন, গঠন এবং বৈশিষ্ট্যে পরিবর্তন হয়। Ar ফ্লো বাড়ালে আবরণের বৃদ্ধির হার কমে যাবে এবং শস্যের আকার কমবে, যখন TaCl5, H2, এবং C3H6 এর মোলার ভর অনুপাত আবরণ গঠনকে প্রভাবিত করে। H2 থেকে TaCl5 এর মোলার অনুপাত (15-20):1 এ সবচেয়ে উপযুক্ত এবং TaCl5 থেকে C3H6 এর মোলার অনুপাত আদর্শভাবে 3:1 এর কাছাকাছি। অত্যধিক TaCl5 বা C3H6 এর ফলে Ta2C বা ফ্রি কার্বন তৈরি হতে পারে, যা ওয়েফারের গুণমানকে প্রভাবিত করে।
(2) জমা তাপমাত্রা:উচ্চতর জমা তাপমাত্রা দ্রুত জমার হার, বড় শস্যের আকার এবং রুক্ষ আবরণের দিকে পরিচালিত করে। অতিরিক্তভাবে, হাইড্রোকার্বনের C এবং TaCl5 থেকে Ta-তে পচনশীল তাপমাত্রা এবং হার ভিন্ন হয়, যা Ta2C এর সহজ গঠনের দিকে পরিচালিত করে। তাপমাত্রা TaC আবরণ-সংশোধিত কার্বন উপাদানের উপর একটি উল্লেখযোগ্য প্রভাব ফেলে, উচ্চ তাপমাত্রার ফলে জমা হওয়ার হার, শস্যের আকার, গোলাকার থেকে পলিহেড্রাল আকারে পরিবর্তিত হয়। অধিকন্তু, উচ্চ তাপমাত্রা TaCl5 পচনকে ত্বরান্বিত করে, মুক্ত কার্বন হ্রাস করে, আবরণে অভ্যন্তরীণ চাপ বাড়ায় এবং ক্র্যাকিং হতে পারে। যাইহোক, নিম্ন জমার তাপমাত্রা আবরণ জমা করার দক্ষতা কমাতে পারে, জমা করার সময়কে দীর্ঘায়িত করতে পারে এবং কাঁচামালের খরচ বাড়াতে পারে।
(3) জমা চাপ:জমা চাপ পদার্থের পৃষ্ঠের মুক্ত শক্তির সাথে ঘনিষ্ঠভাবে সম্পর্কিত এবং প্রতিক্রিয়া চেম্বারে গ্যাসের বসবাসের সময়কে প্রভাবিত করে, যার ফলে নিউক্লিয়েশন হার এবং আবরণের শস্যের আকারকে প্রভাবিত করে। জমার চাপ বাড়ার সাথে সাথে গ্যাসের বসবাসের সময় দীর্ঘ হয়, বিক্রিয়কদের নিউক্লিয়েশন বিক্রিয়ার জন্য আরও সময় দেয়, বিক্রিয়ার হার বৃদ্ধি করে, দানা বড় হয় এবং আবরণ ঘন হয়। বিপরীতভাবে, জমার চাপ কমিয়ে গ্যাসের বসবাসের সময় হ্রাস করে, প্রতিক্রিয়ার হার কমায়, শস্যের আকার হ্রাস করে, আবরণ পাতলা করে, কিন্তু জমা চাপের ক্রিস্টাল গঠন এবং আবরণের সংমিশ্রণে একটি ন্যূনতম প্রভাব পড়ে।
4. ট্যানটালাম কার্বাইড আবরণ উন্নয়নের প্রবণতা
TaC (6.6×10−6K−1) এর তাপীয় সম্প্রসারণ সহগ কার্বন-ভিত্তিক উপাদান যেমন গ্রাফাইট, কার্বন ফাইবার, C/C যৌগিক পদার্থের থেকে কিছুটা আলাদা, যার ফলে একক-ফেজ TaC আবরণগুলি সহজেই ক্র্যাক বা ডিলামিনেট হয়ে যায়। অক্সিডেশন প্রতিরোধের, উচ্চ-তাপমাত্রার যান্ত্রিক স্থিতিশীলতা এবং TaC আবরণের রাসায়নিক জারা প্রতিরোধের আরও উন্নতি করতে, গবেষকরা গবেষণা পরিচালনা করেছেনযৌগিক আবরণ, কঠিন সমাধান শক্তিশালীকরণ আবরণ, গ্রেডিয়েন্ট আবরণ, ইত্যাদি
যৌগিক আবরণ TaC এর পৃষ্ঠ বা অভ্যন্তরীণ স্তরগুলিতে অতিরিক্ত আবরণ প্রবর্তন করে, যৌগিক আবরণ ব্যবস্থা গঠন করে একক আবরণে ফাটল সীল করে। HfC, ZrC, ইত্যাদির মতো সলিড দ্রবণ শক্তিশালীকরণ সিস্টেমে TaC-এর মতোই মুখ-কেন্দ্রিক ঘন কাঠামো রয়েছে, যা দুটি কার্বাইডের মধ্যে অসীম পারস্পরিক দ্রবণীয়তাকে একটি কঠিন দ্রবণ কাঠামো তৈরি করতে সক্ষম করে। Hf(Ta)C আবরণগুলি ক্র্যাক-মুক্ত এবং C/C যৌগিক পদার্থের সাথে ভাল আনুগত্য প্রদর্শন করে। এই আবরণ চমৎকার পোড়া প্রতিরোধের প্রস্তাব. গ্রেডিয়েন্ট আবরণ বলতে আবরণের উপাদানগুলির বেধ বরাবর ক্রমাগত গ্রেডিয়েন্ট বন্টন সহ আবরণকে বোঝায়। এই কাঠামোটি অভ্যন্তরীণ চাপ কমাতে পারে, তাপ সম্প্রসারণ সহগ মিলের সমস্যাগুলি উন্নত করতে পারে এবং ফাটল গঠন প্রতিরোধ করতে পারে।
5. ট্যানটালাম কার্বাইড আবরণ ডিভাইস পণ্য
QYR (Hengzhou Bozhi) পরিসংখ্যান এবং পূর্বাভাস অনুসারে, বিশ্বব্যাপী বিক্রয়ট্যানটালাম কার্বাইড আবরণ2021 সালে 1.5986 মিলিয়ন USD-এ পৌঁছেছে (ক্রির স্ব-উত্পাদিত ট্যানটালাম কার্বাইড আবরণ ডিভাইস পণ্য ব্যতীত), ইঙ্গিত করে যে শিল্পটি এখনও বিকাশের প্রাথমিক পর্যায়ে রয়েছে।
(1) স্ফটিক বৃদ্ধির জন্য প্রসারিত রিং এবং ক্রুসিবল প্রয়োজন:প্রতি এন্টারপ্রাইজ 200 ক্রিস্টাল বৃদ্ধি চুল্লি উপর ভিত্তি করে গণনা, এর বাজার শেয়ারTaC আবরণ30টি ক্রিস্টাল গ্রোথ কোম্পানির প্রয়োজনীয় ডিভাইস প্রায় 4.7 বিলিয়ন আরএমবি।
(2) TaC ট্রে:প্রতিটি ট্রে 3টি ওয়েফার বহন করতে পারে, যার আয়ুষ্কাল 1 মাস প্রতি ট্রে। প্রতি 100টি ওয়েফার একটি ট্রে ব্যবহার করে। 3 মিলিয়ন ওয়েফারের জন্য 30,000 প্রয়োজনTaC ট্রে, প্রতিটি ট্রেতে প্রায় 20,000 টুকরা থাকে, যা বার্ষিক প্রায় 6 বিলিয়ন।
(3) অন্যান্য ডিকার্বনাইজেশন পরিস্থিতি।উচ্চ-তাপমাত্রার ফার্নেস লাইনিং, সিভিডি অগ্রভাগ, ফার্নেস পাইপ ইত্যাদির জন্য প্রায় 1 বিলিয়ন।**