আয়ন ইমপ্লান্ট এবং ডিফিউশন প্রক্রিয়া

আয়ন ইমপ্লান্টেশন হল সেমিকন্ডাক্টর ডোপিংয়ের একটি পদ্ধতি এবং সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনের অন্যতম প্রধান প্রক্রিয়া।

কেন ডোপিং?

বিশুদ্ধ সিলিকন/অভ্যন্তরীণ সিলিকনের ভিতরে কোন মুক্ত বাহক (ইলেক্ট্রন বা গর্ত) নেই এবং এর পরিবাহিতা দুর্বল। সেমিকন্ডাক্টর প্রযুক্তিতে, ডোপিং হল সিলিকনের বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্যগুলিকে পরিবর্তন করতে ইচ্ছাকৃতভাবে অভ্যন্তরীণ সিলিকনে খুব অল্প পরিমাণে অপরিষ্কার পরমাণু যোগ করা, এটিকে আরও পরিবাহী করে তোলে এবং এইভাবে বিভিন্ন সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস তৈরিতে ব্যবহার করা যায়। ডোপিং এন-টাইপ ডোপিং বা পি-টাইপ ডোপিং হতে পারে। n-টাইপ ডোপিং: সিলিকনে পেন্টাভ্যালেন্ট উপাদান (যেমন ফসফরাস, আর্সেনিক ইত্যাদি) ডোপ করে অর্জন করা হয়; পি-টাইপ ডোপিং: সিলিকনে ট্রাইভ্যালেন্ট উপাদান (যেমন বোরন, অ্যালুমিনিয়াম ইত্যাদি) ডোপ করে অর্জন করা হয়। ডোপিং পদ্ধতির মধ্যে সাধারণত থার্মাল ডিফিউশন এবং আয়ন ইমপ্লান্টেশন অন্তর্ভুক্ত থাকে।

তাপ বিস্তার পদ্ধতি

থার্মাল ডিফিউশন হল অপবিত্রতা উপাদানগুলিকে উত্তপ্ত করে সিলিকনে স্থানান্তর করা। এই পদার্থের স্থানান্তর কম ঘনত্বের সিলিকন সাবস্ট্রেটের দিকে উচ্চ-ঘনত্বের অপরিচ্ছন্নতা গ্যাসের কারণে ঘটে এবং এর স্থানান্তর মোড ঘনত্বের পার্থক্য, তাপমাত্রা এবং প্রসারণ সহগ দ্বারা নির্ধারিত হয়। এর ডোপিং নীতি হল যে উচ্চ তাপমাত্রায়, সিলিকন ওয়েফারের পরমাণু এবং ডোপিং উত্সের পরমাণুগুলি সরানোর জন্য পর্যাপ্ত শক্তি পাবে। ডোপিং উত্সের পরমাণুগুলি প্রথমে সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠে শোষিত হয় এবং তারপরে এই পরমাণুগুলি সিলিকন ওয়েফারের পৃষ্ঠের স্তরে দ্রবীভূত হয়। উচ্চ তাপমাত্রায়, ডোপিং পরমাণু সিলিকন ওয়েফারের জালির ফাঁক দিয়ে ভিতরের দিকে ছড়িয়ে পড়ে বা সিলিকন পরমাণুর অবস্থান প্রতিস্থাপন করে। অবশেষে, ডোপিং পরমাণু ওয়েফারের ভিতরে একটি নির্দিষ্ট বন্টন ভারসাম্যে পৌঁছে। থার্মাল ডিফিউশন পদ্ধতিতে কম খরচ এবং পরিপক্ক প্রক্রিয়া রয়েছে। যাইহোক, এর কিছু সীমাবদ্ধতাও রয়েছে, যেমন ডোপিং গভীরতা এবং ঘনত্ব নিয়ন্ত্রণ আয়ন ইমপ্লান্টেশনের মতো সুনির্দিষ্ট নয় এবং উচ্চ তাপমাত্রার প্রক্রিয়া জালির ক্ষতি প্রবর্তন করতে পারে ইত্যাদি।

আয়ন ইমপ্লান্টেশন:

এটি ডোপিং উপাদানগুলির আয়নকরণ এবং একটি আয়ন রশ্মি গঠনকে বোঝায়, যা সিলিকন স্তরের সাথে সংঘর্ষের জন্য উচ্চ ভোল্টেজের মাধ্যমে একটি নির্দিষ্ট শক্তিতে (keV~MeV স্তর) ত্বরান্বিত হয়। ডোপিং আয়নগুলি পদার্থের ডোপড এলাকার শারীরিক বৈশিষ্ট্য পরিবর্তন করতে সিলিকনে শারীরিকভাবে রোপণ করা হয়।

আয়ন ইমপ্লান্টেশনের সুবিধা:

এটি একটি নিম্ন-তাপমাত্রার প্রক্রিয়া, ইমপ্লান্টেশন পরিমাণ/ডোপিং পরিমাণ নিরীক্ষণ করা যেতে পারে, এবং অপরিচ্ছন্নতা বিষয়বস্তু সুনির্দিষ্টভাবে নিয়ন্ত্রণ করা যেতে পারে; অমেধ্য ইমপ্লান্টেশন গভীরতা সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রণ করা যেতে পারে; অপবিত্রতা অভিন্নতা ভাল; হার্ড মাস্ক ছাড়াও, ফটোরেসিস্ট একটি মুখোশ হিসাবে ব্যবহার করা যেতে পারে; এটি সামঞ্জস্য দ্বারা সীমাবদ্ধ নয় (তাপীয় প্রসারণ ডোপিংয়ের কারণে সিলিকন স্ফটিকগুলিতে অপরিষ্কার পরমাণুর দ্রবীভূতকরণ সর্বাধিক ঘনত্ব দ্বারা সীমিত, এবং একটি সুষম দ্রবীভূত সীমা রয়েছে, যখন আয়ন ইমপ্লান্টেশন একটি অ-ভারসাম্যহীন শারীরিক প্রক্রিয়া। অপরিষ্কার পরমাণুগুলিকে ইনজেকশন দেওয়া হয়। উচ্চ শক্তি সহ সিলিকন স্ফটিকগুলিতে, যা সিলিকন স্ফটিকের অমেধ্যগুলির প্রাকৃতিক দ্রবীভূত সীমা অতিক্রম করতে পারে একটি জিনিসগুলিকে নীরবে আর্দ্র করা, এবং অন্যটি হল নমকে জোর করে।)

আয়ন ইমপ্লান্টেশনের নীতি:

প্রথমত, অপরিষ্কার গ্যাসের পরমাণুগুলি আয়ন উৎসে ইলেকট্রন দ্বারা আঘাত করে আয়ন তৈরি করে। আয়নযুক্ত আয়নগুলি একটি আয়ন মরীচি তৈরি করতে সাকশন উপাদান দ্বারা নিষ্কাশিত হয়। চৌম্বকীয় বিশ্লেষণের পরে, বিভিন্ন ভর-থেকে-চার্জ অনুপাত সহ আয়নগুলিকে প্রতিবিম্বিত করা হয় (কারণ সামনের অংশে গঠিত আয়ন রশ্মিতে কেবলমাত্র লক্ষ্যবস্তুর অশুদ্ধতার আয়ন রশ্মিই থাকে না, তবে অন্যান্য উপাদানের আয়ন রশ্মিও থাকে, যা অবশ্যই ফিল্টার করা উচিত। আউট), এবং বিশুদ্ধ অপরিষ্কার উপাদান আয়ন রশ্মি যা প্রয়োজনীয়তাগুলি পূরণ করে আলাদা করা হয়, এবং তারপর এটি উচ্চ ভোল্টেজ দ্বারা ত্বরান্বিত হয়, শক্তি বৃদ্ধি করা হয় এবং এটি ফোকাস করা হয় এবং ইলেকট্রনিকভাবে স্ক্যান করা হয় এবং অবশেষে ইমপ্লান্টেশন অর্জনের লক্ষ্যে আঘাত করা হয়।

আয়ন দ্বারা ইমপ্লান্ট করা অমেধ্যগুলি চিকিত্সা ছাড়াই বৈদ্যুতিকভাবে নিষ্ক্রিয় থাকে, তাই আয়ন ইমপ্লান্টেশনের পরে, তারা সাধারণত উচ্চ-তাপমাত্রার অ্যানেলিংয়ের শিকার হয় যাতে অপরিষ্কার আয়নগুলি সক্রিয় হয় এবং উচ্চ তাপমাত্রা আয়ন ইমপ্লান্টেশনের ফলে সৃষ্ট জালির ক্ষতি মেরামত করতে পারে।

সেমিকোরেক্স উচ্চ মানের অফার করেSiC অংশআয়ন ইমপ্লান্ট এবং প্রসারণ প্রক্রিয়ায়। আপনার যদি কোন জিজ্ঞাসা থাকে বা অতিরিক্ত বিবরণ প্রয়োজন, আমাদের সাথে যোগাযোগ করতে দ্বিধা করবেন না দয়া করে.

যোগাযোগের ফোন # +86-13567891907

ইমেইল: sales@semicorex.com