SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট সাসেপ্টর কি?

পরিচয় করিয়ে দেওয়ার জন্যSiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট রিসিভার, এটার প্রয়োগ বোঝা গুরুত্বপূর্ণ। ডিভাইস তৈরি করার সময়, কিছু ওয়েফার সাবস্ট্রেটে আরও এপিটাক্সিয়াল স্তরগুলি তৈরি করা প্রয়োজন। উদাহরণস্বরূপ, LED আলো-নিঃসরণকারী ডিভাইসগুলির জন্য সিলিকন সাবস্ট্রেটগুলিতে GaAs এপিটাক্সিয়াল স্তরগুলির প্রস্তুতির প্রয়োজন হয়; যখন SiC সাবস্ট্রেটগুলিতে SiC স্তর বৃদ্ধির প্রয়োজন হয়, তখন এপিটাক্সিয়াল স্তরটি উচ্চ ভোল্টেজ এবং উচ্চ কারেন্টের মতো শক্তি প্রয়োগের জন্য ডিভাইস তৈরি করতে সাহায্য করে, উদাহরণস্বরূপ SBD, MOSFET ইত্যাদি। বিপরীতভাবে, GaN এপিটাক্সিয়াল স্তরটি আধা-অন্তরক SiC-এর উপর নির্মিত হয়। যোগাযোগের মতো রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি অ্যাপ্লিকেশনের জন্য HEMT-এর মতো ডিভাইস আরও নির্মাণের জন্য সাবস্ট্রেট। এটি করার জন্য, কসিভিডি সরঞ্জাম(অন্যান্য প্রযুক্তিগত পদ্ধতির মধ্যে) প্রয়োজন। এই সরঞ্জামটি III এবং II গ্রুপের উপাদান এবং V এবং VI গ্রুপের উপাদানগুলিকে সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠে বৃদ্ধির উত্স উপকরণ হিসাবে জমা করতে পারে।

ভিতরেসিভিডি সরঞ্জাম, সাবস্ট্রেটটি সরাসরি ধাতুর উপর স্থাপন করা যায় না বা কেবলমাত্র এপিটাক্সিয়াল ডিপোজিশনের জন্য বেসের উপর স্থাপন করা যায় না। এর কারণ হল গ্যাস প্রবাহের দিক (অনুভূমিক, উল্লম্ব), তাপমাত্রা, চাপ, স্থিরকরণ, দূষিত পদার্থের নির্গমন, ইত্যাদি সমস্ত কারণ যা প্রক্রিয়াটিকে প্রভাবিত করতে পারে। অতএব, একটি সাসেপ্টর প্রয়োজন যেখানে সাবস্ট্রেটটি ডিস্কে স্থাপন করা হয় এবং তারপরে সিভিডি প্রযুক্তিটি সাবস্ট্রেটের উপর এপিটাক্সিয়াল ডিপোজিশন সঞ্চালনের জন্য ব্যবহার করা হয়। এই সাসেপ্টর হল একটি SiC-কোটেড গ্রাফাইট সাসেপ্টর (এটি একটি ট্রে নামেও পরিচিত)।

দ্যগ্রাফাইট রিসিভারমধ্যে একটি গুরুত্বপূর্ণ উপাদানMOCVD সরঞ্জাম. এটি সাবস্ট্রেটের বাহক এবং গরম করার উপাদান হিসাবে কাজ করে। এর তাপীয় স্থায়িত্ব, অভিন্নতা এবং অন্যান্য কর্মক্ষমতা পরামিতিগুলি গুরুত্বপূর্ণ কারণ যা এপিটাক্সিয়াল উপাদান বৃদ্ধির গুণমান নির্ধারণ করে এবং পাতলা ফিল্ম উপাদানের অভিন্নতা এবং বিশুদ্ধতাকে সরাসরি প্রভাবিত করে। অতএব, এর গুণমানগ্রাফাইট রিসিভারএপিটাক্সিয়াল ওয়েফারের প্রস্তুতিতে এটি গুরুত্বপূর্ণ। যাইহোক, সাসেপ্টরের ভোগ্য প্রকৃতি এবং পরিবর্তিত কাজের অবস্থার কারণে, এটি সহজেই হারিয়ে যায়।

গ্রাফাইটের চমৎকার তাপ পরিবাহিতা এবং স্থায়িত্ব রয়েছে, এটি একটি আদর্শ বেস উপাদান তৈরি করেMOCVD সরঞ্জাম. যাইহোক, বিশুদ্ধ গ্রাফাইট কিছু চ্যালেঞ্জের সম্মুখীন হয়। উৎপাদনের সময়, অবশিষ্ট ক্ষয়কারী গ্যাস এবং ধাতব জৈব পদার্থ সাসেপ্টরকে ক্ষয় এবং পাউডার দূরে সরিয়ে দিতে পারে, যার ফলে এর পরিষেবা জীবনকে ব্যাপকভাবে হ্রাস করে। উপরন্তু, পতনশীল গ্রাফাইট পাউডার চিপে দূষণের কারণ হতে পারে। সুতরাং, বেস তৈরির প্রক্রিয়া চলাকালীন এই সমস্যাগুলি সমাধান করা দরকার।

আবরণ প্রযুক্তি এমন একটি প্রক্রিয়া যা পৃষ্ঠগুলিতে পাউডার ঠিক করতে, তাপ পরিবাহিতা বাড়াতে এবং সমানভাবে তাপ বিতরণ করতে ব্যবহার করা যেতে পারে। এই প্রযুক্তি এই সমস্যা সমাধানের প্রাথমিক উপায় হয়ে উঠেছে। গ্রাফাইট বেসের প্রয়োগের পরিবেশ এবং ব্যবহারের প্রয়োজনীয়তার উপর নির্ভর করে, পৃষ্ঠের আবরণের নিম্নলিখিত বৈশিষ্ট্যগুলি থাকা উচিত:

1. উচ্চ ঘনত্ব এবং সম্পূর্ণ মোড়ক: গ্রাফাইট বেস একটি উচ্চ-তাপমাত্রা, ক্ষয়কারী কাজের পরিবেশে রয়েছে এবং পৃষ্ঠটি সম্পূর্ণরূপে আবৃত করা আবশ্যক। ভাল সুরক্ষা প্রদানের জন্য আবরণের অবশ্যই ভাল ঘনত্ব থাকতে হবে।

2. ভাল পৃষ্ঠ সমতলতা: যেহেতু একক ক্রিস্টাল বৃদ্ধির জন্য ব্যবহৃত গ্রাফাইট বেসের জন্য একটি উচ্চ পৃষ্ঠের সমতলতা প্রয়োজন, তাই আবরণ প্রস্তুত করার পরে ভিত্তিটির মূল সমতলতা বজায় রাখতে হবে। এর মানে হল আবরণ পৃষ্ঠ অভিন্ন হতে হবে।

3. ভাল বন্ধন শক্তি: গ্রাফাইট বেস এবং আবরণ উপাদানের মধ্যে তাপ সম্প্রসারণ সহগ পার্থক্য কমিয়ে কার্যকরভাবে উভয়ের মধ্যে বন্ধন শক্তি উন্নত করতে পারে। উচ্চ এবং নিম্ন তাপমাত্রার তাপচক্রের অভিজ্ঞতার পরে, আবরণটি ফাটল সহজ নয়।

4. উচ্চ তাপ পরিবাহিতা: উচ্চ-মানের চিপ বৃদ্ধির জন্য গ্রাফাইট বেস থেকে দ্রুত এবং অভিন্ন তাপ প্রয়োজন। অতএব, আবরণ উপাদান উচ্চ তাপ পরিবাহিতা থাকা উচিত।

5. উচ্চ গলনাঙ্ক, অক্সিডেশনের উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধ এবং জারা প্রতিরোধের: আবরণটি উচ্চ-তাপমাত্রা এবং ক্ষয়কারী কাজের পরিবেশে স্থিরভাবে কাজ করতে সক্ষম হওয়া উচিত।

বর্তমানে,সিলিকন কার্বাইড (SiC)উচ্চ-তাপমাত্রা এবং ক্ষয়কারী গ্যাস পরিবেশে এর ব্যতিক্রমী কর্মক্ষমতার কারণে গ্রাফাইটের আবরণের জন্য এটি পছন্দের উপাদান। অধিকন্তু, গ্রাফাইটের সাথে এর ঘনিষ্ঠ তাপীয় সম্প্রসারণ সহগ তাদের শক্তিশালী বন্ধন তৈরি করতে সক্ষম করে। উপরন্তু,ট্যানটালাম কার্বাইড (TaC) আবরণএছাড়াও একটি ভাল পছন্দ, এবং এটি আরো উচ্চ তাপমাত্রা (>2000℃) পরিবেশে দাঁড়াতে পারে।

সেমিকোরেক্স উচ্চ মানের অফার করেSiCএবংTaC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট সাসেপ্টর. আপনার যদি কোনো জিজ্ঞাসা থাকে বা অতিরিক্ত বিবরণের প্রয়োজন হয়, তাহলে অনুগ্রহ করে আমাদের সাথে যোগাযোগ করতে দ্বিধা করবেন না।

যোগাযোগের ফোন # +86-13567891907

ইমেইল: sales@semicorex.com