ফোকাস রিং এর কাজ কি?

সেমিকন্ডাক্টর এচিং প্রক্রিয়াগুলির অভিন্নতা এবং স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করার জন্য ফোকাস রিংগুলি অপরিহার্য উপাদান। বৈদ্যুতিক এবং তাপীয় ক্ষেত্রের সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণের মাধ্যমে, ফোকাস রিংগুলি ওয়েফার পৃষ্ঠের উপর প্লাজমাকে কেন্দ্রীভূত করতে পারে, ওয়েফারের সমস্ত অবস্থান জুড়ে সুসংগত এচিং ফলাফল নিশ্চিত করে।

ফোকাস রিং ফাংশন

1. এচিং অভিন্নতা উন্নত করুন

এচিং প্রক্রিয়ায়, ফোকাস রিংগুলি প্লাজমাকে কেন্দ্রীভূত করতে পারেওয়েফারপৃষ্ঠ, যা কার্যকরভাবে ওয়েফার প্রান্ত এবং কেন্দ্র উভয় অঞ্চল জুড়ে অভিন্ন প্লাজমা ঘনত্ব, আয়ন বোমাবাজি কোণ এবং শক্তি স্তরের গ্যারান্টি দেয়। তারা ওয়েফার প্রান্তে বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের বন্টনকে সংশোধন করে, এজিং রেট, সমালোচনামূলক মাত্রা এবং প্রান্তের প্রভাবের কারণে সৃষ্ট রূপবিদ্যার ভিন্নতা হ্রাস করে, এইভাবে সমগ্র ওয়েফার পৃষ্ঠ জুড়ে এচিং সামঞ্জস্যতা নিশ্চিত করে। যদি ফোকাসিং রিং অত্যধিক পরিধান করা হয় বা কোন ফোকাল রিং না থাকে তবে প্লাজমা ওয়েফার প্রান্ত থেকে ছড়িয়ে পড়বে, শেষ পর্যন্ত প্রান্ত এবং কেন্দ্র অঞ্চলের মধ্যে লাইন প্রস্থে অ-সঙ্গত বিচ্যুতি ঘটাবে।

2. ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক রক্ষা করুন

ফোকাস রিংগুলি সাধারণত ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চাকের ওয়েফার ক্যারিয়ার পৃষ্ঠের বাইরে ইনস্টল করা হয়, যা সরাসরি প্লাজমা বোমাবাজি এবং ক্ষয়ের সংস্পর্শে আসে। এচিং প্রক্রিয়ার সময় প্লাজমাকে ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চকগুলির সাথে যোগাযোগ করা থেকে রক্ষা করার জন্য এই কিস্তি সেটআপটি শারীরিক বাধা হিসাবে সেবা করে, যার ফলে প্লাজমা ক্ষতির ঝুঁকি উল্লেখযোগ্যভাবে হ্রাস পায়। ফোকাস রিংগুলি এচিং প্রক্রিয়া চলাকালীন উত্পন্ন উপজাতগুলিকে ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চাকের সাথে লেগে থাকা থেকে প্রতিরোধ করতে পারে, এইভাবে চক দূষণ এবং আটকে থাকার কারণে কর্মক্ষমতা হ্রাস এড়াতে পারে। এটি ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চাকের রক্ষণাবেক্ষণ চক্র এবং জীবনকালকে ব্যাপকভাবে প্রসারিত করে, সরঞ্জাম রক্ষণাবেক্ষণ এবং প্রতিস্থাপনের খরচ হ্রাস করে।

ফোকাস রিং সাধারণত উচ্চ-বিশুদ্ধতা থেকে তৈরি করা হয়কোয়ার্টজ, সিলিকনএবংসিলিকন কার্বাইডউপকরণ তাদের চমৎকার ব্যাপক কর্মক্ষমতার জন্য ধন্যবাদ, সিলিকন কার্বাইড উপাদানগুলি ধীরে ধীরে অত্যাধুনিক এচিং প্রক্রিয়ার মূলধারার বিকল্প হয়ে ওঠে। চীনে একটি বিশ্বস্ত সেমিকন্ডাক্টর ফোকাস রিং সরবরাহকারী হিসাবে, সেমিকোরেক্স উচ্চ মানের অফার করেসিলিকন কার্বাইড ফোকাস রিংএচিং সরঞ্জামের বিভিন্ন প্রয়োজনীয়তা মেলে বিভিন্ন আকারের। সেমিকোরেক্স যেকোনো সময় আপনার অনুসন্ধান এবং ক্রয়কে স্বাগত জানায়।