উল্লম্ব চুল্লি কেন মূলধারার পছন্দে পরিণত হয়েছে？

উল্লম্ব চুল্লিগুলি হল উল্লম্বভাবে স্থাপন করা উচ্চ-তাপমাত্রা গরম করার যন্ত্রগুলি বিশেষভাবে সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনের তাপ চিকিত্সার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। সম্পূর্ণ উল্লম্ব চুল্লি সিস্টেম উচ্চ-তাপমাত্রা প্রতিরোধী গঠিত হয়চুল্লি নল, গরম করার উপাদান, তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা, গ্যাস নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা এবং ওয়েফার সমর্থন কাঠামো। উল্লম্ব চুল্লিগুলি উচ্চ তাপমাত্রার পরিস্থিতিতে বিশেষ গ্যাসের (যেমন অক্সিজেন, হাইড্রোজেন, নাইট্রোজেন ইত্যাদি) প্রবর্তনের মাধ্যমে সিলিকন অক্সিডেশন, ডিফিউশন, অ্যানিলিং এবং পারমাণবিক স্তর জমা (ALD) সহ জটিল অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াগুলিকে সহজতর করতে পারে।

সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনে তাপ চিকিত্সা সরঞ্জামের বিবর্তনে, উল্লম্ব চুল্লিগুলি তাদের তিনটি মূল সুবিধার কারণে তাপ চিকিত্সা প্রক্রিয়াগুলির জন্য মূলধারার পছন্দ হয়ে উঠেছে।

1. স্থান ব্যবহারের দৃষ্টিকোণ থেকে, উল্লম্ব চুল্লিগুলি উল্লম্ব টিউব এবং উল্লম্ব ওয়েফার বোটের সমন্বয় নকশা গ্রহণ করে। একই প্রক্রিয়াকরণ ক্ষমতার অধীনে, তাদের মেঝে স্থানের প্রয়োজন অনুভূমিক চুল্লিগুলির তুলনায় মাত্র 50%-60%, বিশেষত 450 মিমি ওয়েফার প্রসারণের প্রবণতার অধীনে ক্লিনরুমের প্রতি ইউনিট এলাকায় উত্পাদন ক্ষমতা ঘনত্ব বাড়ানোর জন্য উপযুক্ত। মডুলার উল্লম্ব স্ট্যাকিংয়ের মাধ্যমে, একটি একক ডিভাইস পরিচালনা করতে পারে এমন ওয়েফারের সংখ্যা 40% বৃদ্ধি পেয়েছে এবং প্রতি ইউনিট এলাকায় আউটপুট দক্ষতা অনুভূমিক চুল্লির তুলনায় উল্লেখযোগ্যভাবে ভাল।

2. উল্লম্ব চুল্লি তিন-পয়েন্ট খাঁজ সমর্থনের মাধ্যমে অনুভূমিক ওয়েফার অবস্থান অর্জন করে। উল্লম্ব বায়ুপ্রবাহের সাথে মিলিত, এই কনফিগারেশনটি আরও অভিন্ন তাপমাত্রা গ্রেডিয়েন্ট এবং চুল্লির মধ্যে প্রতিসাম্য তাপীয় চাপ বিতরণ সরবরাহ করে, ওয়েফার ওয়ারপেজের ঝুঁকি 30% এর বেশি হ্রাস করে। এটি তাপ সংবেদনশীল প্রক্রিয়াগুলির জন্য বিশেষভাবে উপযুক্ত, যেমন উচ্চ-কে ডাইলেট্রিক ডিপোজিশন এবং আয়ন ইমপ্লান্টেশন অ্যানিলিং। বিপরীতভাবে, অনুভূমিক চুল্লিগুলির উল্লম্ব বসানো ওয়েফার প্রান্তে তাপমাত্রার তারতম্য ঘটায় এবং স্থানীয় চাপের ঘনত্বের ঝুঁকি বাড়ায়।

3. স্বয়ংক্রিয় ওয়েফার পরিচালনার সুবিধা হল উল্লম্ব চুল্লিগুলির আরেকটি গুরুত্বপূর্ণ সুবিধা। অনুভূমিক চুল্লিগুলি তোলার জন্য রোবোটিক অস্ত্রের প্রয়োজন হয়ওয়েফারএকটি উল্লম্ব অভিযোজনে, যা অবস্থান নির্ভুলতা এবং ক্ল্যাম্পিং বল নিয়ন্ত্রণের উপর কঠোর প্রয়োজনীয়তা দাবি করে। তারা অপারেশনাল অসঙ্গতির কারণে ওয়েফার ভাঙার ঝুঁকি বাড়ায়। উল্লম্ব চুল্লিতে, ওয়েফারগুলি অনুভূমিকভাবে স্থাপন করা হয়। রোবোটিক আর্ম ভ্যাকুয়াম শোষণের মাধ্যমে যোগাযোগ-মুক্ত হ্যান্ডলিং অর্জন করতে পারে। ভিজ্যুয়াল পজিশনিং সিস্টেমের সাথে মিলিত, হ্যান্ডলিং নির্ভুলতা ±0.1 মিমিতে উন্নত করা হয়েছে, যা অটোমেশনের সামগ্রিক স্তরকে ব্যাপকভাবে বৃদ্ধি করে।