শুষ্ক খোদাইয়ের সময় সাইডওয়াল কেন বাঁকে?

ড্রাই এচিং হল সাধারণত ভৌত এবং রাসায়নিক ক্রিয়াকে একত্রিত করার একটি প্রক্রিয়া, আয়ন বোমাবাজি হল একটি গুরুত্বপূর্ণ শারীরিক এচিং কৌশল। এচিংয়ের সময়, ঘটনা কোণ এবং আয়নগুলির শক্তি বিতরণ অসম হতে পারে।

সাইডওয়ালের বিভিন্ন লোক্যাট আয়নে আয়ন ঘটনা কোণ পরিবর্তিত হলে, এচিং প্রভাবও আলাদা হবে। বৃহত্তর আয়ন ঘটনা কোণ সহ এলাকায়, সাইডওয়ালের উপর আয়ন এচিং প্রভাব শক্তিশালী হয়, যার ফলে সেই এলাকায় আরও সাইডওয়াল এচিং হয় এবং সাইডওয়াল বাঁকানো হয়। তদ্ব্যতীত, অসম আয়ন শক্তি বন্টন একটি অনুরূপ প্রভাব উত্পাদন করে; উচ্চ-শক্তি আয়ন উপাদানগুলিকে আরও কার্যকরভাবে অপসারণ করে, যার ফলে সাইডওয়ালের বিভিন্ন স্থানে অসামঞ্জস্যপূর্ণ এচিং স্তর তৈরি হয়, যার ফলে সাইডওয়াল বাঁকানো হয়।

ফোটোরেসিস্ট শুষ্ক খোঁচায় মুখোশ হিসাবে কাজ করে, এমন জায়গাগুলিকে রক্ষা করে যেগুলি খোদাই করার প্রয়োজন নেই। যাইহোক, ফোটোরেসিস্ট প্লাজমা বোমাবাজি এবং এচিংয়ের সময় রাসায়নিক বিক্রিয়া দ্বারা প্রভাবিত হয় এবং এর বৈশিষ্ট্যগুলি পরিবর্তিত হতে পারে।

অসম ফটোরেসিস্ট বেধ, এচিং এর সময় অসামঞ্জস্যপূর্ণ খরচ হার, বা বিভিন্ন স্থানে ফটোরেসিস্ট এবং সাবস্ট্রেটের মধ্যে আনুগত্যের তারতম্য সবই এচিং এর সময় সাইডওয়ালের অসম সুরক্ষার দিকে নিয়ে যেতে পারে। উদাহরণস্বরূপ, পাতলা বা দুর্বল ফটোরেসিস্ট আনুগত্যযুক্ত অঞ্চলগুলি অন্তর্নিহিত উপাদানগুলিকে আরও সহজে খোদাই করার অনুমতি দিতে পারে, যা এই অবস্থানগুলিতে সাইডওয়াল বাঁকানোর দিকে পরিচালিত করে।

সাবস্ট্রেট উপাদান বৈশিষ্ট্য পার্থক্য

খোদাই করা সাবস্ট্রেট উপাদান বৈশিষ্ট্যগুলির মধ্যে পার্থক্য প্রদর্শন করতে পারে, যেমন বিভিন্ন অঞ্চলে বিভিন্ন স্ফটিক অভিযোজন এবং ডোপিং ঘনত্ব। এই পার্থক্যগুলি এচিং হার এবং নির্বাচনীতাকে প্রভাবিত করে।

স্ফটিক সিলিকনকে উদাহরণ হিসেবে নিলে, সিলিকন পরমাণুর বিন্যাস ক্রিস্টাল অভিযোজন জুড়ে আলাদা হয়, যার ফলে এচিং গ্যাস এবং এচিং হারের সাথে প্রতিক্রিয়াশীলতার তারতম্য ঘটে। এচিংয়ের সময়, উপাদান বৈশিষ্ট্যের এই পার্থক্যগুলি সাইডওয়ালের বিভিন্ন স্থানে অসামঞ্জস্যপূর্ণ এচিং গভীরতার দিকে পরিচালিত করে, যা শেষ পর্যন্ত সাইডওয়াল বাঁকানোর কারণ হয়।

ইকুইপমেন্ট-সম্পর্কিত ফ্যাক্টর

ফোটোরেসিস্ট শুষ্ক খোঁচায় মুখোশ হিসাবে কাজ করে, এমন জায়গাগুলিকে রক্ষা করে যেগুলি খোদাই করার প্রয়োজন নেই। যাইহোক, ফোটোরেসিস্ট প্লাজমা বোমাবাজি এবং এচিংয়ের সময় রাসায়নিক বিক্রিয়া দ্বারা প্রভাবিত হয় এবং এর বৈশিষ্ট্যগুলি পরিবর্তিত হতে পারে।

তদ্ব্যতীত, অসম তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ এবং গ্যাস প্রবাহের হারের সামান্য ওঠানামাও এচিং অভিন্নতাকে প্রভাবিত করতে পারে, সাইডওয়াল নমনে আরও অবদান রাখে।

boron nitritCVD SiC উপাদানএচিং জন্য যদি আপনার কোন জিজ্ঞাসা থাকে বা অতিরিক্ত বিবরণ প্রয়োজন, আমাদের সাথে যোগাযোগ করতে দ্বিধা করবেন না দয়া করে.

যোগাযোগের ফোন # +86-13567891907

ইমেইল: sales@semicorex.com